公开(公告)号：CN103703536B

公开(公告)日：2016-10-05

申请号：CN201280036744.8

申请日：2012-06-26

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： 哈什亚·沙德曼 ,  罗伯特·G·海恩斯 ,  克里斯多夫·M·西尔斯 ,  迈赫兰·纳赛尔-古德西

IPC: H01J37/06 ,  H01J37/10

CPC classification number: H01J37/141 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G21K1/093 ,  H01J37/14 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/2817

Abstract: 所揭示的一个实施例涉及一种设备，其包含电磁体，所述电磁体经布置以在区中提供大规模磁场。所述设备进一步包含使用穿过磁性材料的孔阵列在所述区中形成的多个电子束柱的阵列。另一实施例涉及一种产生电子束阵列的方法。使用至少两个磁极在区中产生大规模磁场。使用柱阵列产生电子束阵列，所述柱阵列是使用穿过定位于所述区中的磁性材料的孔形成的。还揭示其它实施例、方面和特征。

公开(公告)号：CN106165054B

公开(公告)日：2018-08-28

申请号：CN201580019322.3

申请日：2015-04-22

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 野间口恒典 ,  扬村寿英

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/12 ,  H01J37/141 ,  H01J37/145 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/04 ,  H01J37/065 ,  H01J37/09 ,  H01J37/12 ,  H01J37/14 ,  H01J37/141 ,  H01J37/145 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/04756 ,  H01J2237/14

Abstract: 电子线装置中，难以受到外部干扰的影响且兼得高空间分辨率和高亮度。电子线装置中，例如在产生电子线的电子源(101)与使电子线聚集在试料(114)上的物镜之间，在电子源(101)侧配置高电压的射线管(110)，并在低物镜侧配置低电压的射线管(112)。由此，即使是具备能动地向试料泄漏磁场的类型的物镜的SEM，也能够维持空间分辨率同时实现高亮度化。

公开(公告)号：CN107818904A

公开(公告)日：2018-03-20

申请号：CN201710789226.8

申请日：2017-09-05

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 麻畑达也

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/26 ,  G01N1/28

CPC classification number: H01J37/026 ,  H01J37/141 ,  H01J37/292 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/1405 ,  H05H3/00 ,  H01J37/28 ,  G01N1/28 ,  H01J37/261

Abstract: 提供复合射束装置，其在利用集束离子束对试样进行截面加工之后利用其他射束对截面进行精加工时，能够抑制来自电子束镜筒的电场或磁场的泄漏所造成的影响或充电所造成的影响的。复合射束装置(100)具有：电子束镜筒(10)，其用于对试样(200)照射电子束(10A)；集束离子束镜筒(20)，其用于对试样照射集束离子束(20A)而形成截面；以及中性粒子束镜筒(30)，其加速电压设定得比集束离子束镜筒低，用于对试样照射中性粒子束(30A)而对截面进行精加工，电子束镜筒、集束离子束镜筒以及中性粒子束镜筒配置为各自的各照射束在照射点P上交叉。

公开(公告)号：CN107204267A

公开(公告)日：2017-09-26

申请号：CN201710433947.5

申请日：2017-06-09

Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所

Inventor： 王超 ,  白永林 ,  王屹山 ,  尹飞 ,  赵卫 ,  田进寿 ,  曾健华 ,  王向林 ,  徐鹏

IPC: H01J37/141

CPC classification number: H01J37/141

Abstract: 本发明属于带电粒子光学成像技术领域，尤其涉及一种带电粒子圆磁透镜。包括通电线圈及环形铁壳，通电线圈位于环形铁壳中，环形铁壳上具有至少一个环形间隙，环形间隙位于环形铁壳的端面。通过在端面磁路引入环形间隙，解决了一些实验样品由于无法置于磁透镜内部而不能完成样品发射电子的聚焦成像等技术问题，突破了现有圆磁透镜技术瓶颈，实现了使透镜磁场区位于透镜所围空间外部的技术效果，因而具备更广的应用领域。

公开(公告)号：CN105308712A

公开(公告)日：2016-02-03

申请号：CN201480034491.X

申请日：2014-06-25

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 野间口恒典 ,  扬村寿英 ,  祖利胡默·亚森吉安

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/145

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/141 ,  H01J37/145 ,  H01J37/1471 ,  H01J37/22 ,  H01J37/226 ,  H01J37/285 ,  H01J2237/12 ,  H01J2237/14

Abstract: 在带电粒子束装置中，在尽可能地接近物镜内部的样品的位置高效地取得从样品释放的带电粒子。具备：带电粒子受光面(105)，其具有通过带电粒子而发光的闪烁器；光电探测器(107)，其对从闪烁器释放的光进行检测；反射镜(108)，其将从闪烁器释放的光引导至光电探测器(107)；以及物镜(100)，其用于将带电粒子束集束于样品，带电粒子受光面(105)与反射镜(108)的距离Lsm比光电探测器(107)与反射镜(108)的距离Lpm长，带电粒子受光面(105)、反射镜(108)以及光电探测器(107)被收纳在物镜(100)内部。

公开(公告)号：CN105023821A

公开(公告)日：2015-11-04

申请号：CN201510148556.X

申请日：2015-03-31

Applicant: 斯伊恩股份有限公司

Inventor： 椛泽光昭 ,  石川雅基 ,  上野勇介

IPC: H01J37/317 ,  H01L21/265

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/141 ,  H01J37/1471 ,  H01J37/1474 ,  H01J37/244 ,  H01J37/3045 ,  H01J2237/14 ,  H01J2237/15 ,  H01J2237/31701

Abstract: 本发明提供一种可减小向被处理物进行注入时的注入角度误差的离子注入装置及离子注入方法。离子注入装置(100)的射束线部具备转向电磁铁(30)、射束扫描器(34)及射束平行化器(36)。射束线部包含离子束的基准轨道，z方向表示沿基准轨道的方向，x方向表示与z方向正交的一个方向。转向电磁铁使离子束向x方向偏转。射束扫描器通过使离子束向x方向往复偏转，来扫描离子束。射束平行化器具备平行化透镜，该平行化透镜构成为使经扫描的离子束与z方向平行，平行化透镜在射束扫描器的扫描原点处具有焦点。控制部对转向电磁铁中x方向的偏转角度进行补正，以使偏转的离子束的实际轨道在xz面上于扫描原点处与基准轨道相交。

公开(公告)号：CN103365101A

公开(公告)日：2013-10-23

申请号：CN201210096470.3

申请日：2012-04-01

Applicant: 中国科学院物理研究所

Inventor： 于国强 ,  郭鹏 ,  韩秀峰 ,  郭朝晖 ,  孙晓玉 ,  周向前

IPC: G03F7/20 ,  G01R31/00

CPC classification number: H01J37/09 ,  G01R33/093 ,  G01R33/096 ,  H01F7/202 ,  H01F7/204 ,  H01F41/00 ,  H01J37/141 ,  H01J2237/0262 ,  H01J2237/0264 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/31754 ,  H01L43/12

Abstract: 一种纳米图形化系统及其磁场施加装置，该纳米图形化系统包括真空腔、样品台和磁场施加装置，该磁场施加装置包括电源、磁场产生装置和一对磁极，所述磁场产生装置包括线圈和导磁软铁芯，所述电源与所述线圈连接，所述线圈缠绕在所述导磁软铁芯上以产生磁场，所述导磁软铁芯为半闭合框形结构，所述磁极分别安装在所述半闭合框形结构的两末端，所述纳米图形化系统的真空腔内设置有样品台，所述磁极相对于所述样品台设置在所述真空腔内，所述线圈和所述导磁软铁芯设置在所述真空腔外，所述导磁软铁芯将所述线圈产生的磁场引导进入所述真空腔内，所述磁极用以对所述样品台上的样品进行定位以及局域磁场的施加。

公开(公告)号：CN102103966B

公开(公告)日：2013-02-06

申请号：CN201010528286.2

申请日：2006-11-28

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司 ,  以色列实用材料有限公司

Inventor： 赖纳·克尼佩梅尔 ,  斯特凡·舒伯特

IPC: H01J37/145

CPC classification number: H01J37/141 ,  H01J37/145 ,  H01J37/20 ,  H01J37/21 ,  H01J37/24 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/04922 ,  H01J2237/04926 ,  H01J2237/12 ,  H01J2237/1215 ,  H01J2237/14 ,  H01J2237/1405 ,  H01J2237/141 ,  H01J2237/1415 ,  H01J2237/2817

Abstract: 本发明涉及一种粒子光学组件。一种物镜排布结构(100)包括：第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)，每一个极靴都大致旋转对称。第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)设置在物面(101)的同一侧。第一极靴的一端部(124)与第二极靴(125)的一端部(126)分开以形成第一间隙，并且第三极靴的一端部(164)与第二极靴(125)的一端部(126)分开以形成第二间隙。第一励磁线圈(129)在第一间隙中生成聚焦磁场，而第二励磁线圈(167)在第二间隙中生成补偿磁场。第一电源(141)和第二电源(169)分别向第一励磁线圈(129)和第二励磁线圈(167)提供电流。在第二极靴(125)中生成的磁通量(142)与在第二极靴(125)中生成的磁通量(166)按同一方向取向。

公开(公告)号：CN107017142A

公开(公告)日：2017-08-04

申请号：CN201610958663.3

申请日：2016-10-28

Applicant: 爱德万测试株式会社

Inventor： 阿部智彦 ,  小岛真一

IPC: H01J37/07 ,  H01J37/141 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/14 ,  H01J37/141 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/20285 ,  H01J2237/31774 ,  H01J37/07 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/1405

Abstract: 本发明的目的在于提供小型且分辨率较高的带电粒子束透镜装置、以及带电粒子束柱及带电粒子束曝光装置。提供一种带电粒子束透镜装置，具备：透镜部，形成在使带电粒子束通过的贯通孔的周围，且使带电粒子束收束或扩散；及支撑部，包围透镜部的外周；透镜部的与支撑部相接的外周部分及支撑部的与透镜部相接的内周部分的至少一者具有用来使冷却用流体沿着透镜部的外周流动的槽部。由此，能够提供小型且分辨率较高的带电粒子束透镜装置。

公开(公告)号：CN106165054A

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201580019322.3

申请日：2015-04-22

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 野间口恒典 ,  扬村寿英

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/12 ,  H01J37/141 ,  H01J37/145 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/04 ,  H01J37/065 ,  H01J37/09 ,  H01J37/12 ,  H01J37/14 ,  H01J37/141 ,  H01J37/145 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/04756 ,  H01J2237/14

Abstract: 电子线装置中，难以受到外部干扰的影响且兼得高空间分辨率和高亮度。电子线装置中，例如在产生电子线的电子源(101)与使电子线聚集在试料(114)上的物镜之间，在电子源(101)侧配置高电压的射线管(110)，并在低物镜侧配置低电压的射线管(112)。由此，即使是具备能动地向试料泄漏磁场的类型的物镜的SEM，也能够维持空间分辨率同时实现高亮度化。