公开(公告)号：CN1401070A

公开(公告)日：2003-03-05

申请号：CN01804835.8

申请日：2001-04-24

Applicant: 爱德万测试株式会社

Inventor： 松本纯 ,  中村隆幸 ,  平野基司

IPC: G01B15/00 ,  H01J37/28

CPC classification number: G01B15/00 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2816

Abstract: 本发明提供了一种可以高精度地对长度测量对象上的预定部分实施长度测量的电子束长度测量装置和长度测量方法。本发明提供的一种电子束长度测量装置可以具有形成有包括基准部分的基准尺寸图样的基准基板(13)；搭载基准基板(13)和长度测量对象(12)用的显微镜载物台(14)；使电子束在包含基准基板(13)上的基准部分的预定位置处实施扫描，依据二次电子变化状况对电子束照射至基准部分处的照射时间实施检测，进而依据该时间和基准部分的长度对时间与长度间的对应关系实施检测的校正控制部(64)；以及使电子束在长度测量对象(12)上实施扫描，依据二次电子变化状况对电子束照射至长度测量对象(12)上预定部分处的照射时间实施检测，进而依据对应关系对长度测量对象上预定部分的长度实施检测的长度测量控制部(58)。