公开(公告)号：CN102883828B

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：CN201180022421.9

申请日：2011-06-02

Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 ,  株式会社海上

Inventor： 辻内亨 ,  饭田康夫 ,  安井久一 ,  今关康博 ,  长谷川浩史

IPC: B08B3/12 ,  C23G3/00 ,  C23G5/00 ,  H01L21/304

CPC classification number: H01L21/02052 ,  B08B3/12 ,  H01L21/67057

Abstract: 本发明提供能够抑制在对被清洗物进行超声波清洗之后产生清洗不均的超声波清洗装置以及超声波清洗方法。本发明的一个实施方式的特征在于，超声波清洗装置具备：清洗槽(21)，其用于装入清洗液(23)；第一超声波振子(34a)以及第二超声波振子(34b)，它们向浸渍在所述清洗槽内的清洗液中的被清洗物(22)给予超声波振动；第一超声波振荡器(36)，其向所述第一超声波振子施加高频输出；第二超声波振荡器(37)，其向所述第二超声波振子施加高频输出；以及控制器(38)，其进行控制来使所述第一超声波振荡器以及第二超声波振荡器的至少一方的输出变动，所述超声波清洗装置使从所述第一超声波振子发出的第一超声波与从所述第二超声波振子发出的第二超声波干涉。

公开(公告)号：CN102883828A

公开(公告)日：2013-01-16

申请号：CN201180022421.9

申请日：2011-06-02

Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 ,  株式会社海上

Inventor： 辻内亨 ,  饭田康夫 ,  安井久一 ,  今关康博 ,  长谷川浩史

IPC: B08B3/12 ,  C23G3/00 ,  C23G5/00 ,  H01L21/304

CPC classification number: H01L21/02052 ,  B08B3/12 ,  H01L21/67057

Abstract: 本发明提供能够抑制在对被清洗物进行超声波清洗之后产生清洗不均的超声波清洗装置以及超声波清洗方法。本发明的一个实施方式的特征在于，超声波清洗装置具备：清洗槽(21)，其用于装入清洗液(23)；第一超声波振子(34a)以及第二超声波振子(34b)，它们向浸渍在所述清洗槽内的清洗液中的被清洗物(22)给予超声波振动；第一超声波振荡器(36)，其向所述第一超声波振子施加高频输出；第二超声波振荡器(37)，其向所述第二超声波振子施加高频输出；以及控制器(38)，其进行控制来使所述第一超声波振荡器以及第二超声波振荡器的至少一方的输出变动，所述超声波清洗装置使从所述第一超声波振子发出的第一超声波与从所述第二超声波振子发出的第二超声波干涉。