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公开(公告)号：CN103633258B
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：CN201310379261.4
申请日：2013-08-27
Applicant: 环球展览公司
Inventor： 西达尔塔·哈里克思希纳·莫汉 , 保罗·E·伯罗斯
CPC classification number: H01L51/0003 , C23C14/04 , C23C14/12 , C23C14/228 , H01L51/0005 , H01L51/56
Abstract: 本发明涉及用于将材料薄膜沉积在衬底上的设备和方法。所述设备包括：多个喷嘴，其与载气和待沉积的材料流体连通；以及平移机构，其经配置以在沉积过程期间，使所述衬底和所述多个喷嘴中的至少一者相对于彼此移动，其中所述喷嘴中的至少两者包含不同几何形状。喷嘴群组中沉积元件的所述喷嘴中的至少一者可经配置以用小于所述元件的宽度的宽度将所述材料沉积在所述衬底上。
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公开(公告)号：CN106784310A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201611127654.6
申请日：2013-03-13
Applicant: 环球展览公司
Inventor： 西达尔塔·哈里克思希纳·莫汉 , 保罗·E·伯罗斯
Abstract: 本发明涉及一种用于通过喷嘴沉积有机材料的方法和所述方法中使用的装置。所述方法包含将包括所述有机材料的蒸气经由入口引入喷嘴中，将所述蒸气从所述喷嘴远端的出口喷出，所述出口具有横截面积A1；所述喷出之后，将所述有机材料沉积于衬底上，其中所述蒸气穿过在所述入口与所述出口之间在离所述出口轴向距离L1处的所述喷嘴的一部分，所述喷嘴的所述部分具有横截面积A2，其中A1/A2为约16或16以上。使用所述喷嘴的所述方法有效降低或避免接近所述衬底的所述喷嘴末端的压力突然下降。
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公开(公告)号：CN103872084A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201310681568.X
申请日：2013-12-12
Applicant: 环球展览公司
CPC classification number: H01L51/5246 , H01L2251/5338
Abstract: 本申请案涉及制作柔性有机电子装置的方法。一种制作柔性有机电子装置的方法包含：形成包含第一柔性衬底的第一部分，其中所述第一部分是在第一组条件下形成以提供障壁系统；分开形成包括沉积于第二柔性衬底上的至少一个有机电子装置区的第二部分，其中所述第二部分是在第二组条件下形成，所述第二组条件不同于所述第一组条件；以及将所述第一部分放置于所述第二部分上(但不一定与之接触)，以覆盖所述有机电子装置区。在将所述第一部分放置于所述第二部分上之前，不将所述有机电子装置区放置成与另一固体材料物理接触。
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公开(公告)号：CN107574407B
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201710683144.5
申请日：2013-08-27
Applicant: 环球展览公司
Inventor： 西达尔塔·哈里克思希纳·莫汉 , 保罗·E·伯罗斯
Abstract: 本发明涉及用于将材料薄膜沉积在衬底上的设备和方法。所述设备包括：多个喷嘴，其与载气和待沉积的材料流体连通；以及平移机构，其经配置以在沉积过程期间，使所述衬底和所述多个喷嘴中的至少一者相对于彼此移动，其中所述喷嘴中的至少两者包含不同几何形状。喷嘴群组中沉积元件的所述喷嘴中的至少一者可经配置以用小于所述元件的宽度的宽度将所述材料沉积在所述衬底上。
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公开(公告)号：CN103303016B
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201310079479.8
申请日：2013-03-13
Applicant: 环球展览公司
Inventor： 西达尔塔·哈里克思希纳·莫汉 , 保罗·E·伯罗斯
CPC classification number: B05B1/34 , B05D1/60 , H01L51/0008 , H01L51/56
Abstract: 本发明涉及一种用于通过喷嘴沉积有机材料的方法和所述方法中使用的装置。所述方法包含将包括所述有机材料的蒸气经由入口引入喷嘴中，将所述蒸气从所述喷嘴远端的出口喷出，所述出口具有横截面积A1；所述喷出之后，将所述有机材料沉积于衬底上，其中所述蒸气穿过在所述入口与所述出口之间在离所述出口轴向距离L1处的所述喷嘴的一部分，所述喷嘴的所述部分具有横截面积A2，其中A1/A2为约16或16以上。使用所述喷嘴的所述方法有效降低或避免接近所述衬底的所述喷嘴末端的压力突然下降。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103872084B
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201310681568.X
申请日：2013-12-12
Applicant: 环球展览公司
CPC classification number: H01L51/5246 , H01L2251/5338
Abstract: 本申请案涉及制作柔性有机电子装置的方法。一种制作柔性有机电子装置的方法包含：形成包含第一柔性衬底的第一部分，其中所述第一部分是在第一组条件下形成以提供障壁系统；分开形成包括沉积于第二柔性衬底上的至少一个有机电子装置区的第二部分，其中所述第二部分是在第二组条件下形成，所述第二组条件不同于所述第一组条件；以及将所述第一部分放置于所述第二部分上(但不一定与之接触)，以覆盖所述有机电子装置区。在将所述第一部分放置于所述第二部分上之前，不将所述有机电子装置区放置成与另一固体材料物理接触。
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公开(公告)号：CN106784310B
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN201611127654.6
申请日：2013-03-13
Applicant: 环球展览公司
Inventor： 西达尔塔·哈里克思希纳·莫汉 , 保罗·E·伯罗斯
Abstract: 本发明涉及一种用于通过喷嘴沉积有机材料的方法和所述方法中使用的装置。所述方法包含将包括所述有机材料的蒸气经由入口引入喷嘴中，将所述蒸气从所述喷嘴远端的出口喷出，所述出口具有横截面积A1；所述喷出之后，将所述有机材料沉积于衬底上，其中所述蒸气穿过在所述入口与所述出口之间在离所述出口轴向距离L1处的所述喷嘴的一部分，所述喷嘴的所述部分具有横截面积A2，其中A1/A2为约16或16以上。使用所述喷嘴的所述方法有效降低或避免接近所述衬底的所述喷嘴末端的压力突然下降。
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公开(公告)号：CN107574407A
公开(公告)日：2018-01-12
申请号：CN201710683144.5
申请日：2013-08-27
Applicant: 环球展览公司
Inventor： 西达尔塔·哈里克思希纳·莫汉 , 保罗·E·伯罗斯
Abstract: 本发明涉及用于将材料薄膜沉积在衬底上的设备和方法。所述设备包括：多个喷嘴，其与载气和待沉积的材料流体连通；以及平移机构，其经配置以在沉积过程期间，使所述衬底和所述多个喷嘴中的至少一者相对于彼此移动，其中所述喷嘴中的至少两者包含不同几何形状。喷嘴群组中沉积元件的所述喷嘴中的至少一者可经配置以用小于所述元件的宽度的宽度将所述材料沉积在所述衬底上。
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公开(公告)号：CN103633258A
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN201310379261.4
申请日：2013-08-27
Applicant: 环球展览公司
Inventor： 西达尔塔·哈里克思希纳·莫汉 , 保罗·E·伯罗斯
CPC classification number: H01L51/0003 , C23C14/04 , C23C14/12 , C23C14/228 , H01L51/0005 , H01L51/56 , B05B1/02 , B05B13/04
Abstract: 本发明涉及用于将材料薄膜沉积在衬底上的设备和方法。所述设备包括：多个喷嘴，其与载气和待沉积的材料流体连通；以及平移机构，其经配置以在沉积过程期间，使所述衬底和所述多个喷嘴中的至少一者相对于彼此移动，其中所述喷嘴中的至少两者包含不同几何形状。喷嘴群组中沉积元件的所述喷嘴中的至少一者可经配置以用小于所述元件的宽度的宽度将所述材料沉积在所述衬底上。
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公开(公告)号：CN103303016A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310079479.8
申请日：2013-03-13
Applicant: 环球展览公司
Inventor： 西达尔塔·哈里克思希纳·莫汉 , 保罗·E·伯罗斯
CPC classification number: B05B1/34 , B05D1/60 , H01L51/0008 , H01L51/56
Abstract: 本发明涉及一种用于通过喷嘴沉积有机材料的方法和所述方法中使用的装置。所述方法包含将包括所述有机材料的蒸气经由入口引入喷嘴中，将所述蒸气从所述喷嘴远端的出口喷出，所述出口具有横截面积A1；所述喷出之后，将所述有机材料沉积于衬底上，其中所述蒸气穿过在所述入口与所述出口之间在离所述出口轴向距离L1处的所述喷嘴的一部分，所述喷嘴的所述部分具有横截面积A2，其中A1/A2为约16或16以上。使用所述喷嘴的所述方法有效降低或避免接近所述衬底的所述喷嘴末端的压力突然下降。
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