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发明公开
探针测试装置、探针测试系统和探针卡审中-公开

公开(公告)号：CN120044280A

公开(公告)日：2025-05-27

申请号：CN202411656670.9

申请日：2024-11-19

Applicant: 瑞萨电子株式会社

Inventor： 花井寿佳 , 谷村政明 , 铃木浩司

IPC: G01R1/067 , G01R1/073 , G01R31/28

Abstract: 本公开涉及探针测试装置、探针测试系统和探针卡。一种探针测试装置包括晶片台、温度传感器、温度调节机构和控制器。晶片台包括晶片安装表面，半导体晶片安装在晶片安装表面上。温度传感器包括暴露在晶片安装表面上的温度观测点，并且直接测量安装在晶片安装表面上的半导体晶片的后表面的温度。温度调节机构通过加热或冷却晶片台来调节晶片台的温度。控制器以使得由温度传感器测量的温度变为目标温度的方式来控制温度调节机构。

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