公开(公告)号：CN104508814A

公开(公告)日：2015-04-08

申请号：CN201380038318.2

申请日：2013-07-17

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 杰森·夏勒 ,  罗伯特·布然特·宝佩特

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67706 ,  B25J11/0095 ,  B25J15/0616 ,  B65G49/06 ,  B65G2207/10 ,  B65G2812/16 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67781 ,  H05F3/02 ,  H01L21/677 ,  H01L21/687 ,  H01L31/18

Abstract: 一种制造系统包含龙门架模块，具有用于将工件从传送机系统移动到工作区的末端执行器，例如，交换模块。交换模块从装载锁移除已处理的工件的矩阵且将未处理的工件的矩阵放置在其位置。接着通过龙门架模块将已处理的工件移动回到传送机。归因于操作速度，末端执行器可能累积过量静电荷。为了移除此累积电荷，接地导电刷子策略性地定位，以使得当末端执行器在正常操作期间移动时，其与刷子接触，移除末端执行器上的累积电荷，而不影响产量。在另一实施例中，当交换模块将矩阵移动到装载锁且从装载锁移动矩阵时，末端执行器在刷子上方移动。

公开(公告)号：CN104396002B

公开(公告)日：2016-12-14

申请号：CN201380034660.5

申请日：2013-05-01

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 杰森·夏勒 ,  罗伯特·B·宝佩特

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/683

CPC classification number: B25J9/10 ,  B25J15/0616 ,  B25J19/0029 ,  B25J19/0041 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67754 ,  H01L21/6838

Abstract: 一种工件操作系统及应用于其中的端末效应器。端末效应器以高速操作工件，其中工件例如为太阳能电池。端末效应器可无限制地旋转。端末效应器具有夹具支架，其能够支持多个夹具，夹具可安排成任何配置，例如为4x1的线性阵列。每一夹具和抽吸系统相连通，其中，在一些实施例中，每一夹具可以选择性地启用或停用。也提供多个电性元件，例如为邻近传感器，其被安装在转动的夹具支架。在另一实施例中，使用了具有多个侧面的端末效应器，每一侧面包含多个夹具。

公开(公告)号：CN104396002A

公开(公告)日：2015-03-04

申请号：CN201380034660.5

申请日：2013-05-01

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 杰森·夏勒 ,  罗伯特·B·宝佩特

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/683

CPC classification number: B25J9/10 ,  B25J15/0616 ,  B25J19/0029 ,  B25J19/0041 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67754 ,  H01L21/6838

Abstract: 一种旋转式端末效应器被揭示，其用以高速操作工件，其中工件例如为太阳能电池。旋转式端末效应器可无限制地旋转。旋转式端末效应器具有夹具支架，其能够支持多个夹具，夹具可安排成任何配置，例如为4×1的线性阵列。每一夹具和抽吸系统相连通，其中，在一些实施例中，每一夹具可以选择性地启用或停用。也提供多个电性元件，例如为邻近传感器，其被安装在转动的夹具支架。在另一实施例中，使用了具有多个侧面的端末效应器，每一侧面包含多个夹具。