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公开(公告)号：CN104396002B
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201380034660.5
申请日：2013-05-01
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/683
CPC classification number: B25J9/10 , B25J15/0616 , B25J19/0029 , B25J19/0041 , H01L21/67736 , H01L21/67754 , H01L21/6838
Abstract: 一种工件操作系统及应用于其中的端末效应器。端末效应器以高速操作工件，其中工件例如为太阳能电池。端末效应器可无限制地旋转。端末效应器具有夹具支架，其能够支持多个夹具，夹具可安排成任何配置，例如为4x1的线性阵列。每一夹具和抽吸系统相连通，其中，在一些实施例中，每一夹具可以选择性地启用或停用。也提供多个电性元件，例如为邻近传感器，其被安装在转动的夹具支架。在另一实施例中，使用了具有多个侧面的端末效应器，每一侧面包含多个夹具。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104396002A
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201380034660.5
申请日：2013-05-01
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/683
CPC classification number: B25J9/10 , B25J15/0616 , B25J19/0029 , B25J19/0041 , H01L21/67736 , H01L21/67754 , H01L21/6838
Abstract: 一种旋转式端末效应器被揭示，其用以高速操作工件，其中工件例如为太阳能电池。旋转式端末效应器可无限制地旋转。旋转式端末效应器具有夹具支架，其能够支持多个夹具，夹具可安排成任何配置，例如为4×1的线性阵列。每一夹具和抽吸系统相连通，其中，在一些实施例中，每一夹具可以选择性地启用或停用。也提供多个电性元件，例如为邻近传感器，其被安装在转动的夹具支架。在另一实施例中，使用了具有多个侧面的端末效应器，每一侧面包含多个夹具。
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公开(公告)号：CN103988290B
公开(公告)日：2018-03-30
申请号：CN201280059757.7
申请日：2012-11-02
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/67
CPC classification number: B65G49/00 , B65G47/918 , B65G49/061 , B65G2203/041 , H01L21/67213 , H01L21/67733 , H01L21/67736 , H01L21/67754
Abstract: 此工件处理系统的一实施例包括输送带与加载互锁区，第一交换机械臂在建造台与加载互锁区之间持有并传送工件，支架机械臂在每个输送带与第一交换机械臂之间传送工件。在一实例中，利用支架机械臂，将已加工工件从第一交换机械臂传送至第一输送带，并将未加工工件从第二输送带传送至第一交换机械臂。第二交换机械臂可与第一交换机械臂一起用来从加载互锁区负载并卸载工件。
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公开(公告)号：CN102668057B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201080055596.5
申请日：2010-11-09
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/687 , B65G49/06
CPC classification number: H01L21/67739 , G21K5/10 , H01L21/67742 , H01L21/67766 , H01L21/68707
Abstract: 一种系统，用以将工件装载至处理腔室而在矩阵配置中处理的系统，包括输送机、工件旅舍、选取片。配置输送机而以线性方式运输多个工件；配置工件旅舍以从输送机接收多工件。此工件旅舍包括以N行M层排列的单元矩阵；配置选取片以插入旅舍并自旅舍退回，以将多个基材从第一层卸载至选取片的单一列上，并重复此卸载操作以形成矩阵，此矩阵包括多个列而配置在选取片上的基材。在一例中，此工件旅舍具有交错的配置，此交错的配置提供了各个旅舍单元的各别可达性。
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公开(公告)号：CN103988290A
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN201280059757.7
申请日：2012-11-02
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/67
CPC classification number: B65G49/00 , B65G47/918 , B65G49/061 , B65G2203/041 , H01L21/67213 , H01L21/67733 , H01L21/67736 , H01L21/67754
Abstract: 此工件处理系统的一实施例包括输送带与加载互锁区，第一交换机械臂在建造台与加载互锁区之间持有并传送工件，支架机械臂在每个输送带与第一交换机械臂之间传送工件。在一实例中，利用支架机械臂，将已加工工件从第一交换机械臂传送至第一输送带，并将未加工工件从第二输送带传送至第一交换机械臂。第二交换机械臂可与第一交换机械臂一起用来从加载互锁区负载并卸载工件。
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公开(公告)号：CN102668057A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201080055596.5
申请日：2010-11-09
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/687 , B65G49/06
CPC classification number: H01L21/67739 , G21K5/10 , H01L21/67742 , H01L21/67766 , H01L21/68707
Abstract: 一种系统，用以将工件装载至处理腔室而在矩阵配置中处理的系统，包括输送机、工件旅舍、选取片。配置输送机而以线性方式运输多个工件；配置工件旅舍以从输送机接收多工件。此工件旅舍包括以N行M层排列的单元矩阵；配置选取片以插入旅舍并自旅舍退回，以将多个基材从第一层卸载至选取片的单一列上，并重复此卸载操作以形成矩阵，此矩阵包括多个列而配置在选取片上的基材。在一例中，此工件旅舍具有交错的配置，此交错的配置提供了各个旅舍单元的各别可达性。
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