公开(公告)号：CN1849407A

公开(公告)日：2006-10-18

申请号：CN200480026296.9

申请日：2004-11-16

Applicant: 电气化学工业株式会社

Inventor： 五十岚厚树 ,  宫井明 ,  渡边祥二郎 ,  须崎纯一 ,  岩元健太郎

IPC: C23C14/24 ,  H05B3/14

Abstract: 本发明提供可以改善对熔融金属的润湿性、实现长寿命化的金属蒸发舟皿和使用它的金属的蒸发方法。金属蒸发发热体，其特征在于，在含有二硼化钛(TiB2)和/或二硼化锆(ZrB2)以及氮化硼(BN)构成的陶瓷烧结体的上表面在不与通电方向平行的方向上具有1条或2条以上的沟。该情况下，较好是不与通电方向平行的方向相对于通电方向呈20～160度，陶瓷烧结体具有凹部，在其底面形成沟，在陶瓷烧结体的上表面和/或凹部的底面由多条沟构成所需的图案。此外，金属的蒸发方法，其特征在于，使用该金属蒸发发热体，在使其沟的一部分或全部与金属接触的状态下，于真空中加热。

公开(公告)号：CN100487154C

公开(公告)日：2009-05-13

申请号：CN200480026296.9

申请日：2004-11-16

Applicant: 电气化学工业株式会社

Inventor： 五十岚厚树 ,  宫井明 ,  渡边祥二郎 ,  须崎纯一 ,  岩元健太郎

IPC: C23C14/24 ,  H05B3/14

Abstract: 本发明提供可以改善对熔融金属的润湿性、实现长寿命化的金属蒸发舟皿和使用它的金属的蒸发方法。金属蒸发发热体，其特征在于，在含有二硼化钛(TiB2)和/或二硼化锆(ZrB2)以及氮化硼(BN)构成的陶瓷烧结体的上表面在不与通电方向平行的方向上具有1条或2条以上的沟。该情况下，较好是不与通电方向平行的方向相对于通电方向呈20～160度，陶瓷烧结体具有凹部，在其底面形成沟，在陶瓷烧结体的上表面和/或凹部的底面由多条沟构成所需的图案。此外，金属的蒸发方法，其特征在于，使用该金属蒸发发热体，在使其沟的一部分或全部与金属接触的状态下，于真空中加热。