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公开(公告)号:CN101361184B
公开(公告)日:2011-04-13
申请号:CN200680051032.8
申请日:2006-11-13
Applicant: 电气化学工业株式会社
IPC: H01L23/373 , C04B35/565 , C04B41/88 , C22C29/06 , H01L23/12
CPC classification number: H01L23/13 , C04B35/565 , C04B35/71 , C04B41/009 , C04B41/5155 , C04B41/88 , C04B2111/00844 , C04B2235/3217 , C04B2235/3418 , C04B2235/402 , C04B2235/5436 , C04B2235/5472 , C04B2235/77 , C04B2235/9607 , C22C1/0475 , C22C1/051 , C22C29/065 , H01L23/15 , H01L23/3731 , H01L23/3733 , H01L23/3735 , H01L2924/0002 , Y10T428/12361 , Y10T428/12389 , Y10T428/12479 , Y10T428/12736 , Y10T428/12993 , Y10T428/2495 , Y10T428/24975 , Y10T428/249957 , Y10T428/249969 , Y10T428/249974 , C04B41/4521 , C04B41/4523 , C04B38/00 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供适合作为电源模块用底板的铝-碳化硅复合体。该电源模块用底板是以铝为主要成分的金属浸渗入平板状碳化硅多孔体所形成的铝-碳化硅复合体,其特征在于,仅在一主面具有由以铝为主要成分的金属形成的铝层,在作为另一主面的背面上铝-碳化硅复合体露出,其形状为长方形或在长方形上附加了将外周部的孔部包围的部分而形成的形状。通过在一主面上配置铝层来赋予可镀性,通过磨削加工背面使铝-碳化硅复合体露出来提高平面度,进而通过控制上述铝层的厚度来控制背面磨削加工后的翘曲形状。
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公开(公告)号:CN100487154C
公开(公告)日:2009-05-13
申请号:CN200480026296.9
申请日:2004-11-16
Applicant: 电气化学工业株式会社
Abstract: 本发明提供可以改善对熔融金属的润湿性、实现长寿命化的金属蒸发舟皿和使用它的金属的蒸发方法。金属蒸发发热体,其特征在于,在含有二硼化钛(TiB2)和/或二硼化锆(ZrB2)以及氮化硼(BN)构成的陶瓷烧结体的上表面在不与通电方向平行的方向上具有1条或2条以上的沟。该情况下,较好是不与通电方向平行的方向相对于通电方向呈20~160度,陶瓷烧结体具有凹部,在其底面形成沟,在陶瓷烧结体的上表面和/或凹部的底面由多条沟构成所需的图案。此外,金属的蒸发方法,其特征在于,使用该金属蒸发发热体,在使其沟的一部分或全部与金属接触的状态下,于真空中加热。
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公开(公告)号:CN101361184A
公开(公告)日:2009-02-04
申请号:CN200680051032.8
申请日:2006-11-13
Applicant: 电气化学工业株式会社
IPC: H01L23/373 , C04B35/565 , C04B41/88 , C22C29/06 , H01L23/12
CPC classification number: H01L23/13 , C04B35/565 , C04B35/71 , C04B41/009 , C04B41/5155 , C04B41/88 , C04B2111/00844 , C04B2235/3217 , C04B2235/3418 , C04B2235/402 , C04B2235/5436 , C04B2235/5472 , C04B2235/77 , C04B2235/9607 , C22C1/0475 , C22C1/051 , C22C29/065 , H01L23/15 , H01L23/3731 , H01L23/3733 , H01L23/3735 , H01L2924/0002 , Y10T428/12361 , Y10T428/12389 , Y10T428/12479 , Y10T428/12736 , Y10T428/12993 , Y10T428/2495 , Y10T428/24975 , Y10T428/249957 , Y10T428/249969 , Y10T428/249974 , C04B41/4521 , C04B41/4523 , C04B38/00 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供适合作为电源模块用底板的铝-碳化硅复合体。该电源模块用底板是以铝为主要成分的金属浸渗入平板状碳化硅多孔体所形成的铝-碳化硅复合体,其特征在于,仅在一主面具有由以铝为主要成分的金属形成的铝层,在作为另一主面的背面上铝-碳化硅复合体露出,其形状为长方形或在长方形上附加了将外周部的孔部包围的部分而形成的形状。通过在一主面上配置铝层来赋予可镀性,通过磨削加工背面使铝-碳化硅复合体露出来提高平面度,进而通过控制上述铝层的厚度来控制背面磨削加工后的翘曲形状。
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公开(公告)号:CN1849407A
公开(公告)日:2006-10-18
申请号:CN200480026296.9
申请日:2004-11-16
Applicant: 电气化学工业株式会社
Abstract: 本发明提供可以改善对熔融金属的润湿性、实现长寿命化的金属蒸发舟皿和使用它的金属的蒸发方法。金属蒸发发热体,其特征在于,在含有二硼化钛(TiB2)和/或二硼化锆(ZrB2)以及氮化硼(BN)构成的陶瓷烧结体的上表面在不与通电方向平行的方向上具有1条或2条以上的沟。该情况下,较好是不与通电方向平行的方向相对于通电方向呈20~160度,陶瓷烧结体具有凹部,在其底面形成沟,在陶瓷烧结体的上表面和/或凹部的底面由多条沟构成所需的图案。此外,金属的蒸发方法,其特征在于,使用该金属蒸发发热体,在使其沟的一部分或全部与金属接触的状态下,于真空中加热。
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