公开(公告)号：CN104634501A

公开(公告)日：2015-05-20

申请号：CN201410616099.8

申请日：2014-11-05

Applicant: 盛思锐股份公司

Inventor： C-H·林 ,  T·L·唐 ,  W·S·苏 ,  C·M·林 ,  R·赫梅尔 ,  U·巴特世 ,  M·赫玛斯道夫

IPC: G01L9/12

CPC classification number: G01L9/0073 ,  B23P19/04 ,  B81B7/0051 ,  B81B7/0054 ,  B81B2201/0264 ,  B81B2207/012 ,  B81B2207/095 ,  B81C2203/0792 ,  G01L9/12 ,  G01L19/0084 ,  G01L19/145 ,  G01L19/146 ,  Y10T29/49165 ,  Y10T29/49904

Abstract: 一种压力传感器，包括：第一基底(1)和附连到第一基底(1)的盖(4)。盖(4)包括处理电路(241)、腔室(41)以及可变形隔膜(42)，该隔膜隔离腔室(41)和通向压力传感器外界的开口。提供感应装置，其将可变形隔膜(42)对开口处的压力响应转换为信号，信号能够被处理电路(241)处理。盖(4)附连到第一基底(1)，可变形隔膜(42)面向第一基底(1)，且间隙(6)设置在可变形隔膜(42)和第一基底(1)之间，该间隙(6)有助于开口。第一基底(1)包括附连盖(4)的支承部分(7)、将压力传感器电连接到外部装置的接触部分(8)，以及用以从接触部分(8)中悬置出支承部分(7)的一个或多个悬置元件(9)。