公开(公告)号：CN117053921A

公开(公告)日：2023-11-14

申请号：CN202310544693.X

申请日：2023-05-15

Applicant: 真实仪器公司

Inventor： J·科利斯 ,  C·皮兰特 ,  A·奎尼

IPC: G01J3/02 ,  H01L27/148 ,  G01J3/28

Abstract: 本公开涉及一种用于改进光学装置的背景校正和校准的系统、设备和方法。本公开提供用于通过标识和表征表示从光学测量系统的光学传感器收集的数据的电数据中的平稳和瞬变信号来改进对光学数据的处理的特征。在一个实例中，公开一种光学测量系统，其包含：(1)具有存储对应于所接收光学信号的电荷的多个像素的光学传感器的像素区域，(2)提供所述光学传感器固有的信号电平的一或多个减少照明区；以及(3)经配置以在所述系统的活动操作期间使用来自所述一或多个减少照明区的所述信号电平的表征调整来自所述像素区域的所述像素的所述电荷的数字表示的一或多个处理器。

公开(公告)号：CN117411461A

公开(公告)日：2024-01-16

申请号：CN202310875068.3

申请日：2023-07-17

Applicant: 真实仪器公司

Inventor： C·皮兰特

IPC: H03H17/02 ,  H01L21/66 ,  H01L21/67 ,  G01N21/63 ,  G06F18/10

Abstract: 本申请涉及用于半导体处理系统的改进的控制。本公开提供具有时延、可重复性、稳定性、信号可检测性和其他益处的改进的光学数据的处理。改进的处理可用于更准确且一致地监测和控制半导体工艺。在一个实例中，处理光谱数据的方法包含：(1)收集一或多个波长上的光学发射光谱数据的时间有序序列，(2)从光学发射光谱数据的所述时间有序序列提取一或多个属性，(3)分析所述一或多个属性的特性，(4)确定所述一或多个属性的调节，(5)根据预定滤波器集合、所述调节和所述特性来处理所述一或多个属性，及(6)基于所述一或多个属性的所述处理而选择用于处理所述光谱数据的滤波器配置。