公开(公告)号：CN102967730A

公开(公告)日：2013-03-13

申请号：CN201210308798.7

申请日：2012-08-27

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 渡边潤 ,  中仙道和之 ,  亀田高弘

IPC: G01P15/14

CPC classification number: B06B1/06 ,  G01P15/09 ,  G01P15/097

Abstract: 本发明提供一种能够提高检测精度、检测灵敏度等的物理量检测特性的物理量检测器。其中，加速度检测器（1）具有：板状的挠性部（基座部（10）、接合部（11）、可动部（12）），其具有压电性，并能够通过惯性力而弯曲；加速度检测元件（13），其被搭载于基座部（10）及可动部（12）的主面（10a、12a）上；质量部（15），其被搭载于可动部（12）上，并具有导电性；封装件（20），其用于收纳基座部（10）、接合部（11）、可动部（12）、加速度检测元件（13）和质量部（15），在加速度检测元件（13）上，设置有将检测到的加速度作为电信号来获取的配线（13f、13g），并且质量部（15）被保持为所需的电位。