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公开(公告)号：CN111715501A
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN202010192790.3
申请日：2020-03-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及微机电系统器件及电子设备。在接合第一部件及第二部件并将用于连通设置于第一部件及第二部件之间的密封空间与外部空间的连通部设置于第二部件时，第一部件和第二部件有可能破损。为此，微机电系统器件具备：第一部件；第二部件，在与所述第一部件之间形成密封空间；以及第三部件，配置于所述第一部件与所述第二部件之间，并接合于所述第一部件及所述第二部件，所述第三部件比所述第一部件及所述第二部件的刚度小，所述第三部件设有连通所述密封空间与外部空间的连通部。
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公开(公告)号：CN106994829A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201611213589.9
申请日：2016-12-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/081 , B06B1/0622 , B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2002/14491 , B41J2202/03 , H01L41/0973 , B41J2/14201 , H01L41/04
Abstract: 本发明提供振动板结构以及压电元件应用设备。在由压电体层以及夹着该压电体层的一对电极构成的压电元件与基板之间设置的振动板具备设置于上述基板侧且由氧化硅膜构成的第一层、以及由杨氏模量比氧化硅的杨氏模量大的陶瓷构成的第二层，当在将上述第一层的杨氏模量设为Ev1、厚度设为dv1、上述第二层的杨氏模量设为Ev2，厚度设为dv2时的下式(1)Ev1×dv12+Ev2×dv22……(1)的值为恒定的条件下，将下式(2)Ev1×dv13+Ev2×dv23……(2)的值为最小值+2％以内的范围的dv1以及dv2的组合设为(Dv1，Dv2)的情况下，上述第一层的厚度为Dv1，上述第二层的厚度为Dv2。
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公开(公告)号：CN102189791A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110046853.5
申请日：2011-02-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 大泽荣治
IPC: B41J2/045 , B41J2/135 , H01L41/083
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , B41J2/1635 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2002/14491 , B41J2202/03 , H01L41/0478 , H01L41/0805 , H01L41/0973 , H01L41/318
Abstract: 本发明涉及压电元件、液体喷射头及液体喷射装置。该压电元件具备第1电极(60)、被设置在第1电极(60)上的压电体层(70)、被设置在压电体层(70)上的由镧镍氧化物组成的金属氧化膜(200)、被设置在金属氧化膜(200)上的第2电极(80)。金属氧化膜(200)具有钙钛矿结构，并且镧相对镍的摩尔比为1.2～1.5。由此提高了压电元件的压电特性。
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公开(公告)号：CN101633266A
公开(公告)日：2010-01-27
申请号：CN200910164626.5
申请日：2009-07-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , B41J2/1642 , B41J2/1646 , B41J2202/03
Abstract: 本发明提供能够良好印刷、蚀刻特性优异的液体喷头及其制造方法。液体喷头(50)包括：具有压力室(521)的压力室基板(52)；设置在所述压力室基板一侧的振动板(55)；设置在所述振动板的上方且与所述压力室对应的位置的压电元件(54)；设置在所述压力室基板的另一侧并具有与所述压力室连通的喷嘴孔的喷嘴板(51)。所述压电元件具有：下部电极(4)、形成在所述下部电极的上方的取向层(7)、形成在所述取向层上方的压电体层(5)、形成在所述压电体层的上方的上部电极(6)。所述取向层(7)包括镍酸镧的混晶，所述混晶所含的镍酸镧用式La x Ni y O z 表示时，x是1至3中的任一个整数，y是1或2，且z是2至7中的任一个整数。
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公开(公告)号：CN116156992A
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202211544864.0
申请日：2022-11-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种电子器件，在贯通电极的制造过程中，不容易使密封板的贯通孔收缩而在振动板产生裂纹。电子器件(1)具备：第一基板(4)，包括第一面(4a)，元件(7)配置于第一面(4a)，与元件(7)连接的公共端子(11)配置于第一面(4a)；以及第二基板(3)，具有第二面(3a)和第三面(3b)，第二面(3a)与第一面(4a)对置配置，第二基板(3)在与公共端子(11)对应的位置具有从第二面(3a)贯通至第三面(3b)的第一贯通孔(13)，在第一贯通孔(13)中设置有与公共端子(11)导通的第一贯通电极(15)，在第一贯通电极(15)的一部分设置有空隙(33)。
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公开(公告)号：CN115702804A
公开(公告)日：2023-02-17
申请号：CN202210932243.3
申请日：2022-08-04
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及超声波器件、超声波诊断装置。提供使用倒装法安装并能够得到期望的特性的超声波器件。超声波器件具备：第一基板，包括供连接到压电元件的第一电极配置的第一面；第二基板，包括供第二电极配置的第二面；中间基板，配置在所述第一基板与所述第二基板之间，并包括接合到所述第一面的第三面和与所述第二面相对的第四面；以及粘接部，所述中间基板具备从所述第三面贯通到所述第四面的贯通孔和设置在所述贯通孔并连接到所述第一电极的第三电极，所述第二电极连接所述第三电极，并经由所述第三电极与所述第一电极电连接，所述粘接部在所述第二基板与所述中间基板之间以相互分离的岛状设置多个，所述粘接部的至少一个设置为围绕所述第三电极。
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公开(公告)号：CN110467022B
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN201910383431.3
申请日：2019-05-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 大泽荣治
Abstract: 本发明提供一种重叠进纸检测装置、重叠进纸检测方法以及电子设备，重叠进纸检测装置具备：发送电路基板(51)，设置有发送超声波(56)的超声波发送器(31)；超声波接收器(27)，接收超声波(56)；控制部，控制所述超声波发送器以及所述超声波接收器，超声波发送器(31)在与发送电路基板(51)的厚度方向交叉的方向上发送超声波(56)，超声波发送器(31)和超声波接收器(27)中的任一方具有多个超声波元件，所述控制部在多个所述超声波元件中设定要操作的所述超声波元件。
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公开(公告)号：CN111487203A
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN202010072532.1
申请日：2020-01-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本申请涉及类别判定装置、电子设备以及类别判定方法。在基于对象物的分光强度的类别判定中，能够进行基于对象物所包含的组成物、组成比的类别判定，但无法进行基于对象物的厚度差异的类别判定。类别判定装置具备：光检测部，检测来自对象物的光，并获取光信息；超声波检测部，实施向所述对象物发送超声波并接收经过所述对象物后的超声波的超声波测定，并获取超声波信息；以及类别判定部，基于所述光信息以及所述超声波信息，判定所述对象物的类别。
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公开(公告)号：CN110407001A
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201910340282.2
申请日：2019-04-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 大泽荣治
Abstract: 一种重叠输送检测装置以及电子设备，该重叠输送检测装置(50)具备：发射电路基板(51)，设置有发射超声波(56)的超声波发射器(31)；以及超声波接收器(27)，具有接收超声波(56)的接收面(66a)，超声波发射器(31)在与发射电路基板(51)的厚度方向交叉的方向上发射超声波(56)，与超声波(56)行进方向正交的超声波(56)截面的面积大于从超声波(56)的行进方向观察下的接收面(66a)的面积。
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