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公开(公告)号:CN108656749A
公开(公告)日:2018-10-16
申请号:CN201810159615.7
申请日:2018-02-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14 , H01L41/083 , H01L41/18
Abstract: 本发明提供一种具有由向(100)面结晶取向的KNN构成的压电体层的压电元件以及压电元件应用装置。压电元件具有:基板;第一电极,其被形成在基板上;压电体层,其被形成在第一电极上,且为包含钾、钠、以及铌的多个压电体膜层叠而成的层叠体;第二电极,其被形成在压电体层上,压电体层中的钠浓度在多个压电体膜中的第一压电体膜的第一电极的附近处具有作为钠浓度的极大值的Na极大值,且从Na极大值起越靠近第二电极则越向钠浓度减少的方向倾斜,并且在第一压电体膜与被形成在其正上方的第二压电体膜的边界的附近处具有作为钠浓度的极小值的Na极小值。
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公开(公告)号:CN107004758A
公开(公告)日:2017-08-01
申请号:CN201480084053.4
申请日:2014-12-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/187 , C04B35/00 , H01L41/39
CPC classification number: C04B35/468 , C04B35/00 , C04B35/453 , C04B35/475 , C04B2235/32 , C04B2235/3236 , H01L41/187 , H01L41/1871 , H01L41/39
Abstract: 压电材料含有:第一成分,其在单独组成中为菱面体晶,居里温度为Tc1,且由具有钙钛矿型构造的非铅系的复合氧化物构成;第二成分,其在单独组成中为菱面晶以外的结晶,居里温度Tc2比上述Tc1低,且由具有钙钛矿型构造的非铅系的复合氧化物构成;以及第三成分,其在单独组成中为与上述第二成分相同的上述菱面体晶以外的结晶,居里温度Tc3为上述Tc1以上,具有钙钛矿型构造,且由与上述第二成分不同的非铅系的复合氧化物构成,在将上述第三成分相对于上述第二成分和上述第三成分的合计的摩尔比设为α,α×Tc3+(1‑α)×Tc2=Tc4的情况下,|Tc4‑Tc2|为50℃以下。
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公开(公告)号:CN104249561B
公开(公告)日:2016-04-20
申请号:CN201410119238.6
申请日:2014-03-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
CPC classification number: H01L41/183 , B41J2/055 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2202/03 , C04B35/4682 , C04B35/495 , C04B2235/3201 , C04B2235/3203 , C04B2235/3213 , C04B2235/3215 , C04B2235/3236 , C04B2235/3244 , C04B2235/3249 , C04B2235/3255 , C04B2235/3262 , C04B2235/3274 , C04B2235/3293 , C04B2235/3298 , C04B2235/441 , C04B2235/768 , C04B2237/76 , C04B2237/765 , G01H11/08 , H01L41/047 , H01L41/187 , H01L41/1871 , H01L41/1873 , H01L41/1878 , H02N2/001 , H02N2/186
Abstract: 提供压电材料以及使用它的压电元件、液体喷射头、液体喷射装置、超声波传感器、压电电机以及发电装置,其减少环境负担,在宽的使用环境温度范围内压电特性、介电特性高,居里温度也高。含有:第1成分,由为菱面体晶且居里温度Tc1的钙钛矿型结构复合氧化物构成;第2成分,由为菱面体晶以外的晶体且居里温度Tc2的钙钛矿型结构复合氧化物构成;第3成分,由为菱面体晶但与上述第1成分不同且居里温度Tc3的钙钛矿型结构复合氧化物构成,Tc2比Tc1高,Tc3为Tc2以上,(0.1×Tc1+0.9×Tc2)的值为280℃以下。
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公开(公告)号:CN100595942C
公开(公告)日:2010-03-24
申请号:CN200710091649.9
申请日:2007-04-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/047 , B41J2/14 , B41J2/045
CPC classification number: B41J2/1629 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2002/14491
Abstract: 一种驱动装置、液体喷头及液体喷射装置,该驱动装置,具备变位自如地设置在基板(10)上且由下电极(60)、压电体层(70)及上电极(80)构成的压电元件(300),并且,使所述下电极(60)的杨氏模量为200Gpa以上,从而防止因压电元件(300)的反复驱动引起的变位降低。
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公开(公告)号:CN1323979C
公开(公告)日:2007-07-04
申请号:CN200410062547.0
申请日:2004-06-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 角浩二
IPC: C04B35/00 , C04B35/632 , C01G57/00
CPC classification number: B41J2/1645 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1626 , B41J2/1632 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , C23C18/1216 , C23C18/122 , H01L41/1876 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供了能够有效地防止条痕的产生,并且能够扩大溶胶组合物选择范围的用于形成铁电薄膜的组合物、铁电薄膜以及铁电薄膜的制造方法。通过使含有作为铁电薄膜形成材料的金属化合物的用于形成铁电薄膜的组合物包含下述的疏水性化合物,可以有效地抑制条痕的产生,并能够扩大溶胶组合物的选择范围,其中所述疏水性化合物具有与羟基反应的反应基团,同时除所述反应基团之外的余下部分的至少端部侧具有疏水性。
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公开(公告)号:CN1922743A
公开(公告)日:2007-02-28
申请号:CN200580006103.8
申请日:2005-06-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 角浩二
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2202/03 , H01L41/1876 , H01L41/318
Abstract: 提供了一种用于形成铁电薄膜的组合物,其是一种可应用于MOD法的、可长期维持有机金属化合物的优异的分散稳定性及储存稳定性的胶体状溶液;一种铁电薄膜;一种制造铁电薄膜的方法;以及一种液体喷射头。在根据MOD法形成铁电薄膜时使用一种用于形成铁电薄膜的组合物,所述组合物由可应用于MOD法的胶体状溶液制成,所述胶体状溶液包括包含构成铁电薄膜的金属的有机金属化合物,所述组合物包含非所述有机金属化合物中的结晶水的水。
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公开(公告)号:CN1577911A
公开(公告)日:2005-02-09
申请号:CN200410050093.5
申请日:2004-07-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/161 , B41J2/14233 , B41J2/1623 , B41J2/1626 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , F27B17/0025 , F27D5/0037 , H01L41/318 , Y10T29/42 , Y10T29/49128 , Y10T29/4913 , Y10T29/49401
Abstract: 本发明提供了一种可使铁电前驱体膜可靠脱脂并可获得良好结晶性的压电层的形成方法和其所使用的加热装置、以及具有良好结晶性的压电层和压电元件。本发明的压电层的形成方法包括:干燥工序,在衬底的下电极上至少形成一层铁电前驱体膜并使铁电前驱体膜干燥;脱脂工序,将衬底导入与被加热到一定温度的热板相对的区域,在由接近栓支承的状态下对铁电前驱体膜进行脱脂;烧结工序,将脱脂的铁电前驱体膜进一步烧结作为铁电膜;以及,通过重复进行预定次数的铁电前驱体膜的干燥工序、脱脂工序及烧结工序来形成压电层,并在进行脱脂工序时,调节热板与衬底之间的间隔,同时冷却与衬底的热板相反侧的空间温度,从而调节铁电前驱体膜的加热温度的工序。
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公开(公告)号:CN1162273C
公开(公告)日:2004-08-18
申请号:CN02120692.9
申请日:2002-03-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 角浩二
IPC: B41J2/045
CPC classification number: B41J2/04581 , B41J2/04588 , B41J2/04596
Abstract: 一种用于液体喷头的驱动装置,通过将电压施加在压电体上,压力腔收缩,导致液体喷出,其特征在于:(A)在液体喷出操作期间,具有超过所述压电体矫顽电场的电场的驱动信号被施加在所述压电体上,(B)当不进行液体喷出操作时,消除保持在所述压电体上的极性的脉冲被施加到所述压电体上。因而即使随着时间流逝,可以阻止不同元件之间产生差别,可以获得稳定的喷出特性。
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公开(公告)号:CN111823714A
公开(公告)日:2020-10-27
申请号:CN202010300803.4
申请日:2020-04-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种振动板的位移量较大的液体喷出头以及打印机。液体喷出头包括:喷嘴板,其设置有喷出液体的喷嘴孔;硅基板,其设置有压力产生室,所述压力产生室与所述喷嘴孔连通;振动板,其被设置于所述硅基板上;压电元件,其被设置于所述振动板上,并使所述压力产生室的容积发生变化,所述压电元件具有压电体层,所述压电体层包括含有铅、锆以及钛的钙钛矿型结构的复合氧化物,在所述压电体层的X射线衍射中,源自所述压电体层的(100)面的峰值的位置、与源自所述硅基板的(220)面的峰值的位置的差值小于25.00°。
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