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公开(公告)号：CN101661989A
公开(公告)日：2010-03-03
申请号：CN200910167553.5
申请日：2009-08-24
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L41/08 , H01L41/187 , H01L41/24 , G01P3/44
CPC classification number: B81B3/0081 , B81B2201/0207 , B81B2201/0235 , B81B2201/032 , G01C19/56 , G01C25/00 , H01L41/0933 , H01L41/1132 , H01L41/1136 , H01L41/316 , Y10T29/42
Abstract: 本发明公开了压电装置、角速度传感、电子设备以及压电装置制造方法，其中，压电装置包括：基板、第一电极膜、压电膜和第二电极膜。第一电极膜形成在基板上。压电膜通过Pb 1+X (Zr Y Ti 1-Y )O 3+X (0≤X≤0.3，0≤Y≤0.55)来表示并且通过X射线衍射法测量的烧绿石相的峰值强度相对于钙钛矿相的(100)平面取向、(001)平面取向、(110)平面取向、(101)平面取向以及(111)平面取向的峰值强度的和为10％以下，压电膜以400nm以上1,000nm以下的膜厚形成在第一电极膜上。第二电极膜层压在压电膜上。通过本发明，由于具有了良好的压电特性和耐热性，所以可以提供高可靠性。
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公开(公告)号：CN101436642B
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：CN200810181471.1
申请日：2008-11-14
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L41/08 , H01L41/187 , G01P3/44
Abstract: 本发明提供压电特性和耐热性优良的压电元件、角速度传感器以及压电元件的制造方法。压电元件包括压电膜和电极膜。压电膜由Pb1+X(ZrYTi1-Y)O3+X表示的锆钛酸铅构成，其中，X大于等于0且小于等于0.3，Y大于等于0且小于等于0.55，压电膜具有拉伸应力。电极膜将电压施加给压电膜。
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公开(公告)号：CN101661989B
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：CN200910167553.5
申请日：2009-08-24
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L41/08 , H01L41/187 , H01L41/24 , G01P3/44
CPC classification number: B81B3/0081 , B81B2201/0207 , B81B2201/0235 , B81B2201/032 , G01C19/56 , G01C25/00 , H01L41/0933 , H01L41/1132 , H01L41/1136 , H01L41/316 , Y10T29/42
Abstract: 本发明公开了压电装置、角速度传感、电子设备以及压电装置制造方法，其中，压电装置包括：基板、第一电极膜、压电膜和第二电极膜。第一电极膜形成在基板上。压电膜通过Pb1+X(ZrYTi1-Y)O3+X(0≤X≤0.3，0≤Y≤0.55)来表示并且通过X射线衍射法测量的烧绿石相的峰值强度相对于钙钛矿相的(100)平面取向、(001)平面取向、(110)平面取向、(101)平面取向以及(111)平面取向的峰值强度的和为10％以下，压电膜以400nm以上1,000nm以下的膜厚形成在第一电极膜上。第二电极膜层压在压电膜上。通过本发明，由于具有了良好的压电特性和耐热性，所以可以提供高可靠性。
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公开(公告)号：CN101436642A
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：CN200810181471.1
申请日：2008-11-14
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L41/08 , H01L41/187 , G01P3/44
Abstract: 本发明提供压电特性和耐热性优良的压电元件、角速度传感器以及压电元件的制造方法。压电元件包括压电膜和电极膜。压电膜由Pb1+X(ZrYTi1－Y)O3+X表示的锆钛酸铅构成，其中，X大于等于0且小于等于0.3，Y大于等于0且小于等于0.55，压电膜具有拉伸应力。电极膜将电压施加给压电膜。
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