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公开(公告)号：CN107976557A
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：CN201710976930.4
申请日：2017-10-19
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: G01P15/03 , B81B2201/0235 , B81C1/00333 , B81C2203/0145 , G01P15/0802 , G01P2015/0831 , G01P15/08 , B81B3/0027 , B81B7/02 , B81C1/0019 , G01P15/18
Abstract: 一种微机械z加速度传感器(100)，所述微机械z加速度传感器具有：具有扭转弹簧(20)的振动质量元件(10)；其中，所述扭转弹簧(20)具有锚固元件(21)，所述扭转弹簧(20)借助所述锚固元件(21)连接到衬底上；其中，所述扭转弹簧(20)在两端处借助在所述振动质量元件(10)的平面内垂直于所述扭转弹簧(20)构造的梁状连接元件(30)与所述振动质量元件(10)连接。
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公开(公告)号：CN109073673A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201780028744.6
申请日：2017-05-04
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： J·克拉森 , D·古格尔 , G-N-C·乌尔里希 , M·林克-莱斯卡纳 , A·皮格勒尼耶
IPC: G01P15/125 , G01P15/18 , G01P15/08
Abstract: 本发明涉及一种微机械传感器(200)，具有：-衬底(1)；-在三个空间方向(x、y、z)上敏感的、能运动的质量元件(10)；-用于感测所述能运动的质量元件(10)的横向x偏移的两个x横向电极(20、21、22)；-用于感测所述能运动的质量元件(10)的横向y偏移的两个y横向电极(30、31、32)；-用于感测所述能运动的质量元件(10)的z偏移的z电极(33、34)；其中，-每个横向电极(20、21、22、30、31、32)借助于固定元件(40、50、60、70)固定在所述衬底(1)上；其中，-所有电极(20、21、22、30、31、32、33、34)的固定元件(40、50、60、70、120、130)构造得靠近使所述能运动的质量元件(10)附接于所述衬底(1)的附接元件(13)。
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公开(公告)号：CN105129727B
公开(公告)日：2018-10-26
申请号：CN201510306060.0
申请日：2015-06-05
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81C3/00
Abstract: 为了在两个半导体构件(10，20)的连接时实现具有不同的内部压力的腔(21，22)而提出，结构化所述两个待连接的构件表面中的至少一个，使得至少一个环绕的键合框区域相对于至少一个另外的环绕的键合框区域凹入或凸出。然后，应施加至少一个连接层到所述经结构化的构件表面上并且在所述构件表面的不同表面水平上由所述连接层结构化出至少两个环绕的键合框(31，32)。构件表面中的如此实现的表面轮廓能够实现顺序键合，其中，能够相继地在所述两个构件(10)之间严密密封地封闭多个腔(21，22)，使得在所述腔(21，22)的每一个中存在限定的内部压力。
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公开(公告)号：CN107976557B
公开(公告)日：2022-05-24
申请号：CN201710976930.4
申请日：2017-10-19
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 一种微机械z加速度传感器(100)，所述微机械z加速度传感器具有：具有扭转弹簧(20)的振动质量元件(10)；其中，所述扭转弹簧(20)具有锚固元件(21)，所述扭转弹簧(20)借助所述锚固元件(21)连接到衬底上；其中，所述扭转弹簧(20)在两端处借助在所述振动质量元件(10)的平面内垂直于所述扭转弹簧(20)构造的梁状连接元件(30)与所述振动质量元件(10)连接。
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公开(公告)号：CN109073673B
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN201780028744.6
申请日：2017-05-04
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： J·克拉森 , D·古格尔 , G-N-C·乌尔里希 , M·林克-莱斯卡纳 , A·皮格勒尼耶
IPC: G01P15/125 , G01P15/18 , G01P15/08
Abstract: 本发明涉及一种微机械传感器(200)，具有：‑衬底(1)；‑在三个空间方向(x、y、z)上敏感的、能运动的质量元件(10)；‑用于感测所述能运动的质量元件(10)的横向x偏移的两个x横向电极(20、21、22)；‑用于感测所述能运动的质量元件(10)的横向y偏移的两个y横向电极(30、31、32)；‑用于感测所述能运动的质量元件(10)的z偏移的z电极(33、34)；其中，‑每个横向电极(20、21、22、30、31、32)借助于固定元件(40、50、60、70)固定在所述衬底(1)上；其中，‑所有电极(20、21、22、30、31、32、33、34)的固定元件(40、50、60、70、120、130)构造得靠近使所述能运动的质量元件(10)附接于所述衬底(1)的附接元件(13)。
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Patent Agency Ranking
6.发明公开公开(公告)号：CN106458571A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580029574.4
申请日：2015-05-29
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81B7/00
CPC classification number: B81B7/0048 , B81B2207/012 , B81B2207/07 , B81B2207/096 , H01L23/13 , H01L23/49827 , H01L2224/16225
Abstract: (331)仅布置在边缘区段(360)上。本发明提出一种用于在垂直混合集成元器件的结构中减小由装配引起的机械应力的内插器方案，该内插器方案能够实现元器件在元器件载体上的可靠的机械固定并且节省空间地电接通元器件。该内插器(301)包括面状的载体衬底(320)，在该正面布线平面中构造由用于在内插器(301)上装配元器件(100)的正面连接垫(321)，该载体衬底还具有至少一个背面布线平面(330)，在该背面布线平面中构造有用于在元器件载体(110)上的装配的背面连接垫(331)，其中，正面连接垫(321)和背面连接垫(331)相互错开地布置，该载体衬底还具有用于电连接至少一个正面布线平面(320)和至少一个背面布线平面(330)的电镀通孔(340)。根据本发明的载体衬底(310)包括至少一个边缘区段(360)和至少一个中间区段(350)，它们通过应力去耦结构(371)至(310)，该载体衬底具有至少一个正面布线平面
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公开(公告)号：CN106458570A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580029425.8
申请日：2015-05-29
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81B7/00
CPC classification number: B81B7/0048 , B81B2207/012 , B81B2207/07 , H01L2224/16225
Abstract: 本发明提出措施，该措施以简单的方式并且可靠地促进MEMS功能元件与MEMS构件结构机械去耦。所述MEMS构件(110)包括至少一个可偏转的功能元件(14)，该功能元件以层结构(12)在MEMS衬底(11)上实现，由此在层结构(12)与MEMS衬底(11)之间至少在功能元件(14)区域中产生中间空间(15)。根据本发明，在MEMS衬底(11)中以盲孔式的沟道结构(171)的形式构造应力去耦结构(17)，该沟道结构向着层结构(12)与MEMS衬底(11)之间的中间空间(15)敞开并且向MEMS衬底(11)中只延伸到预给定深度，使得MEMS衬底(11)至少在沟道结构(171)区域中在背面封闭。
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公开(公告)号：CN106458570B
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：CN201580029425.8
申请日：2015-05-29
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81B7/00
CPC classification number: B81B7/0048 , B81B2207/012 , B81B2207/07 , H01L2224/16225
Abstract: 本发明提出措施，该措施以简单的方式并且可靠地促进MEMS功能元件与MEMS构件结构机械去耦。所述MEMS构件(110)包括至少一个可偏转的功能元件(14)，该功能元件以层结构(12)在MEMS衬底(11)上实现，由此在层结构(12)与MEMS衬底(11)之间至少在功能元件(14)区域中产生中间空间(15)。根据本发明，在MEMS衬底(11)中以盲孔式的沟道结构(171)的形式构造应力去耦结构(17)，该沟道结构向着层结构(12)与MEMS衬底(11)之间的中间空间(15)敞开并且向MEMS衬底(11)中只延伸到预给定深度，使得MEMS衬底(11)至少在沟道结构(171)区域中在背面封闭。
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公开(公告)号：CN105606143A
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201510789373.6
申请日：2015-11-17
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01D11/18
CPC classification number: F16F1/18 , F16F1/26 , F16F2226/04 , F16F2230/0047 , F16F2238/022 , G01D11/18
Abstract: 微机械弹簧装置(100)，具有：-两个基本上相互平行地布置的弹簧腿(10)；和-至少一个止挡元件(10)，所述止挡元件布置用于阻止所述两个弹簧腿(10)相互止挡。
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公开(公告)号：CN105129727A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201510306060.0
申请日：2015-06-05
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81C3/00
CPC classification number: B81B7/0041 , B81B2203/0315 , B81C1/00269 , B81C1/00285 , B81C1/00293 , B81C2203/0118 , B81C2203/0145 , B81C2203/037
Abstract: 为了在两个半导体构件(10，20)的连接时实现具有不同的内部压力的腔(21，22)而提出，结构化所述两个待连接的构件表面中的至少一个，使得至少一个环绕的键合框区域相对于至少一个另外的环绕的键合框区域凹入或凸出。然后，应施加至少一个连接层到所述经结构化的构件表面上并且在所述构件表面的不同表面水平上由所述连接层结构化出至少两个环绕的键合框(31，32)。构件表面中的如此实现的表面轮廓能够实现顺序键合，其中，能够相继地在所述两个构件(10)之间严密密封地封闭多个腔(21，22)，使得在所述腔(21，22)的每一个中存在限定的内部压力。
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