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公开(公告)号:CN111936413B
公开(公告)日:2025-01-28
申请号:CN201980022934.6
申请日:2019-03-07
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81C1/00
Abstract: MEMS元件(100),具有:‑衬底(10);‑布置在所述衬底(10)上的第一钝化层(20);‑布置在所述第一钝化层(20)上的金属层(30);‑在所述金属层(30)上并且在所述第一钝化层(20)上布置的第二钝化层(40);和‑凸模元件(60),其中,在所述凸模元件(60)上并且在所述第二钝化层(40)上布置有能导电的扩散阻隔层(50),其中,在所述凸模元件(60)上布置有第一键合元件(70)。
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公开(公告)号:CN111164401B
公开(公告)日:2021-12-03
申请号:CN201880062680.6
申请日:2018-07-16
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种微机械设备(1a;1b;1c),该微机械设备具有载体衬底(2);传感器装置(3),该传感器装置与所述载体衬底(2)的表面区段(4)间隔开地借助于弹簧元件(9)布置在所述载体衬底(2)处,使得所述传感器装置(3)能够相对于所述表面区段(4)振动;和至少一个布置在所述传感器装置(3)和/或所述载体衬底(2)的所述表面区段(4)处的停止器元件(51、52),该停止器元件限制所述传感器装置(3)朝着所述表面区段(4)的方向的偏移。
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公开(公告)号:CN111936413A
公开(公告)日:2020-11-13
申请号:CN201980022934.6
申请日:2019-03-07
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81C1/00
Abstract: MEMS元件(100),具有:‑衬底(10);‑布置在所述衬底(10)上的第一钝化层(20);‑布置在所述第一钝化层(20)上的金属层(30);‑在所述金属层(30)上并且在所述第一钝化层(20)上布置的第二钝化层(40);和‑凸模元件(60),其中,在所述凸模元件(60)上并且在所述第二钝化层(40)上布置有能导电的扩散阻隔层(50),其中,在所述凸模元件(60)上布置有第一键合元件(70)。
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公开(公告)号:CN111836949A
公开(公告)日:2020-10-27
申请号:CN201880091093.X
申请日:2018-11-30
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor: M·基翁特克 , M·施瓦茨 , S·斯里哈里 , J·卢伊格罗克范德韦尔弗
IPC: F01N3/20
Abstract: 本发明涉及一种用于对储存在储存箱(10)中的能冻结的运行/辅助材料(12)进行调温的设备,所述运行/辅助材料用于压燃式内燃机中的废气后处理。加热体(56)的注塑包封部(22)在覆盖区域(58)内形成抽吸通道(28)的抽吸通道壁(50)。
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公开(公告)号:CN111373126B
公开(公告)日:2022-04-12
申请号:CN201880075666.X
申请日:2018-10-15
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor: M·施瓦茨 , P·泽曼 , J·卢伊格罗克范德韦尔弗
IPC: F01N3/00
Abstract: 本发明涉及一种加热设备(1),该加热设备用于加热用于内燃机的废气后处理系统中的运行材料和/或辅助材料的储备箱,所述加热设备包括至少一个能电加热的加热电阻(2)和至少一个导热体(3)。根据本发明,两个导热体(3)限界间隙(4),所述加热电阻(2)布置在该间隙中,并且这两个导热体(3)为了优化所述加热电阻(2)到两个导热体(3)上的热耦合借助于磁体(5)相互拉紧。本发明还涉及一种用于制造加热设备(1)的方法。
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公开(公告)号:CN113474281B
公开(公告)日:2024-10-29
申请号:CN202080010981.1
申请日:2020-01-20
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81B7/00
Abstract: 本发明涉及一种MEMS传感器,所述MEMS传感器包括:可偏移地布置的功能层;用于将所述功能层的偏移转换为电信号的转换装置,其中,所述转换装置包括至少一个电元件,其中,所述至少一个电元件与第一区域至少部分地电连接,其中,所述第一区域与第二区域至少部分地电连接,其中,第一和第二区域和/或第一区域和所述至少一个电元件能够在截止方向和导通方向上电运行;以及控制装置,其中,所述控制装置构造为使所述至少一个电元件和所述第一区域和/或所述第一区域和所述第二区域在导通方向上至少部分地为提供热能而运行。
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公开(公告)号:CN110177757B
公开(公告)日:2023-04-04
申请号:CN201780083649.6
申请日:2017-12-15
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81B7/00
Abstract: 本发明公开了一种用于制造具有与载体机械脱耦的区域的衬底的方法,所述区域具有掷筛一个在其上布置的构件,其中,至少一个凹槽在衬底的正面被引入,蚀刻图案在衬底的背面被准备并且被这样各向异性的蚀刻,使得在衬底的背面上产生垂直通道并且随后在衬底的背面上引入空腔,其中,衬底正面上的至少一个凹槽与衬底背面上的空腔连接并且至少两个凹槽或凹槽的至少两个区段在衬底正面与空腔之间的至少一个区域中通过至少一个蚀空部相互连接。
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公开(公告)号:CN111373126A
公开(公告)日:2020-07-03
申请号:CN201880075666.X
申请日:2018-10-15
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor: M·施瓦茨 , P·泽曼 , J·卢伊格罗克范德韦尔弗
IPC: F01N3/00
Abstract: 本发明涉及一种加热设备(1),该加热设备用于加热用于内燃机的废气后处理系统中的运行材料和/或辅助材料的储备箱,所述加热设备包括至少一个能电加热的加热电阻(2)和至少一个导热体(3)。根据本发明,两个导热体(3)限界间隙(4),所述加热电阻(2)布置在该间隙中,并且这两个导热体(3)为了优化所述加热电阻(2)到两个导热体(3)上的热耦合借助于磁体(5)相互拉紧。本发明还涉及一种用于制造加热设备(1)的方法。
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公开(公告)号:CN111164401A
公开(公告)日:2020-05-15
申请号:CN201880062680.6
申请日:2018-07-16
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种微机械设备(1a;1b;1c),该微机械设备具有载体衬底(2);传感器装置(3),该传感器装置与所述载体衬底(2)的表面区段(4)间隔开地借助于弹簧元件(9)布置在所述载体衬底(2)处,使得所述传感器装置(3)能够相对于所述表面区段(4)振动;和至少一个布置在所述传感器装置(3)和/或所述载体衬底(2)的所述表面区段(4)处的停止器元件(51、52),该停止器元件限制所述传感器装置(3)朝着所述表面区段(4)的方向的偏移。
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公开(公告)号:CN109205546A
公开(公告)日:2019-01-15
申请号:CN201810728951.9
申请日:2018-07-05
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: G01L9/0054 , G01L9/0047 , G01L9/0048 , G01L19/0092 , G01L2019/0053 , G01P15/123 , G01P15/18 , B81B3/0027 , B81B2201/0264 , B81C1/00134 , B81C1/00158
Abstract: 本发明涉及一种微机械传感器(100),具有:-传感器框(10);-借助于至少一个弹簧元件(20)附接到所述传感器框(10)上的压力传感器芯(30),该压力传感器芯具有压力传感器膜片(31);和-至少一个布置在所述弹簧元件(20)中的检测装置(21a...21d),借助于所述检测装置能够检测所述压力传感器芯(30)的至少一个限定的几何加速度偏移。
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