公开(公告)号：CN104204754B

公开(公告)日：2017-03-01

申请号：CN201380014771.X

申请日：2013-03-13

Applicant: 美新公司

Inventor： 赵阳 ,  刘海东 ,  蔡永耀 ,  李宗亚 ,  N·哈瓦特 ,  马军 ,  张峰 ,  段志伟 ,  蒋乐越

IPC: G01L9/12 ,  G01B7/16 ,  G11B5/127

CPC classification number: B23P17/04 ,  B32B3/16 ,  B32B7/04 ,  G01R33/0005 ,  G01R33/0052 ,  G01R33/02 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/73265 ,  H05K1/181 ,  H05K2201/10151 ,  H05K2201/10515 ,  H05K2201/1053 ,  H05K2201/10537 ,  H05K2201/2036 ,  Y02P70/611 ,  Y10T29/49796 ,  H01L2924/00014

Abstract: 提供了一种可折叠衬底，该可折叠衬底包括具有第一上表面的第一衬底部分和具有第二上表面的第二衬底部分。可折叠桥接部将第一衬底部分接合至第二衬底部分。所述可折叠桥接部包括从第一衬底部分延伸至第二衬底部分的接合带，以及与接合带的一部分对应的间隙，其中所述间隙通过去除原始晶圆衬底的复数个部分而被限定在第一衬底部分和第二衬底部分之间。在一个实施方式中，所述第一和第二部分包括磁场传感器，并且可折叠桥接部能够被弯曲从而以相对于彼此的预定角度布置所述两个部分。一旦被弯曲，传感器封装就能够被合并至磁场传感器组件中以便与其它控制电路相集成。

公开(公告)号：CN104204754A

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：CN201380014771.X

申请日：2013-03-13

Applicant: 美新公司

Inventor： 赵阳 ,  刘海东 ,  蔡永耀 ,  李宗亚 ,  N·哈瓦特 ,  马军 ,  张峰 ,  段志伟 ,  蒋乐越

IPC: G01L9/12 ,  G01B7/16 ,  G11B5/127

CPC classification number: B23P17/04 ,  B32B3/16 ,  B32B7/04 ,  G01R33/0005 ,  G01R33/0052 ,  G01R33/02 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/73265 ,  H05K1/181 ,  H05K2201/10151 ,  H05K2201/10515 ,  H05K2201/1053 ,  H05K2201/10537 ,  H05K2201/2036 ,  Y02P70/611 ,  Y10T29/49796 ,  H01L2924/00014

Abstract: 提供了一种可折叠衬底，该可折叠衬底包括具有第一上表面的第一衬底部分和具有第二上表面的第二衬底部分。可折叠桥接部将第一衬底部分接合至第二衬底部分。所述可折叠桥接部包括从第一衬底部分延伸至第二衬底部分的接合带，以及与接合带的一部分对应的间隙，其中所述间隙通过去除原始晶圆衬底的复数个部分而被限定在第一衬底部分和第二衬底部分之间。在一个实施方式中，所述第一和第二部分包括磁场传感器，并且可折叠桥接部能够被弯曲从而以相对于彼此的预定角度布置所述两个部分。一旦被弯曲，传感器封装就能够被合并至磁场传感器组件中以便与其它控制电路相集成。