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公开(公告)号：CN107407590A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201680011497.4
申请日：2016-02-19
Applicant: 美新公司
IPC: G01F25/00
Abstract: 本发明提供了一种用于测量流体的流率而无需对该特定流体进行流量传感器校准的MEMS热式流量传感器或热式流量计。对于已知热扩散率的校准流体，通过绘制传感器输出电压对体积流率除以流体热扩散率的曲线来确定响应曲线，并将该响应曲线存储在存储器中。采用转换因子来提供未知流体的正确流率的测量。该转换因子来自校准流体的热时间常数与被测量流体的热时间常数的比率，在零流量下测量这些时间常数。这些时间常数被存储在存储器中。
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公开(公告)号：CN104204754B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201380014771.X
申请日：2013-03-13
Applicant: 美新公司
CPC classification number: B23P17/04 , B32B3/16 , B32B7/04 , G01R33/0005 , G01R33/0052 , G01R33/02 , H01L2224/48091 , H01L2224/73265 , H05K1/181 , H05K2201/10151 , H05K2201/10515 , H05K2201/1053 , H05K2201/10537 , H05K2201/2036 , Y02P70/611 , Y10T29/49796 , H01L2924/00014
Abstract: 提供了一种可折叠衬底，该可折叠衬底包括具有第一上表面的第一衬底部分和具有第二上表面的第二衬底部分。可折叠桥接部将第一衬底部分接合至第二衬底部分。所述可折叠桥接部包括从第一衬底部分延伸至第二衬底部分的接合带，以及与接合带的一部分对应的间隙，其中所述间隙通过去除原始晶圆衬底的复数个部分而被限定在第一衬底部分和第二衬底部分之间。在一个实施方式中，所述第一和第二部分包括磁场传感器，并且可折叠桥接部能够被弯曲从而以相对于彼此的预定角度布置所述两个部分。一旦被弯曲，传感器封装就能够被合并至磁场传感器组件中以便与其它控制电路相集成。
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公开(公告)号：CN104204754A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201380014771.X
申请日：2013-03-13
Applicant: 美新公司
CPC classification number: B23P17/04 , B32B3/16 , B32B7/04 , G01R33/0005 , G01R33/0052 , G01R33/02 , H01L2224/48091 , H01L2224/73265 , H05K1/181 , H05K2201/10151 , H05K2201/10515 , H05K2201/1053 , H05K2201/10537 , H05K2201/2036 , Y02P70/611 , Y10T29/49796 , H01L2924/00014
Abstract: 提供了一种可折叠衬底，该可折叠衬底包括具有第一上表面的第一衬底部分和具有第二上表面的第二衬底部分。可折叠桥接部将第一衬底部分接合至第二衬底部分。所述可折叠桥接部包括从第一衬底部分延伸至第二衬底部分的接合带，以及与接合带的一部分对应的间隙，其中所述间隙通过去除原始晶圆衬底的复数个部分而被限定在第一衬底部分和第二衬底部分之间。在一个实施方式中，所述第一和第二部分包括磁场传感器，并且可折叠桥接部能够被弯曲从而以相对于彼此的预定角度布置所述两个部分。一旦被弯曲，传感器封装就能够被合并至磁场传感器组件中以便与其它控制电路相集成。
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公开(公告)号：CN104755948B
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：CN201380052975.2
申请日：2013-10-10
Applicant: 美新公司
IPC: G01R33/00
CPC classification number: G01R33/0206 , G01R33/00 , G01R33/0005 , G01R33/096
Abstract: 提供了一种三轴磁性传感器或磁力计。利用螺旋条状纹式AMR结构的两个磁性传感器惠斯通电桥被制作在凸块结构的相反侧，该凸块结构形成在基板上，以提供相对于基板的平坦表面处于预定角度的表面。电桥组件沿Y轴定向，并且各电桥被互连使得可以通过处理电桥信号来产生Y和Z通道信号。X通道信号由设置在基板的水平面上的X轴传感器提供。
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公开(公告)号：CN104755948A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201380052975.2
申请日：2013-10-10
Applicant: 美新公司
IPC: G01R33/00
CPC classification number: G01R33/0206 , G01R33/00 , G01R33/0005 , G01R33/096
Abstract: 提供了一种三轴磁性传感器或磁力计。利用螺旋条状纹式AMR结构的两个磁性传感器惠斯通电桥被制作在凸块结构的相反侧，该凸块结构形成在基板上，以提供相对于基板的平坦表面处于预定角度的表面。电桥组件沿Y轴定向，并且各电桥被互连使得可以通过处理电桥信号来产生Y和Z通道信号。X通道信号由设置在基板的水平面上的X轴传感器提供。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：TWI664707B
公开(公告)日：2019-07-01
申请号：TW102108906
申请日：2013-03-13
Applicant: 美新公司 , MEMSIC, INC.
Inventor： 趙陽 , ZHAO, YANG , 劉海東 , LIU, HAIDONG , 蔡永耀 , CAI, YONGYAO , 李宗亞 , LI, ZONGYA , 馬軍 , MA, JUN , 張峰 , ZHANG, FENG , 段志偉 , DUAN, ZHIWEI , 蔣樂越 , JIANG, LEYUE
IPC: H01L23/522 , H01L23/528 , H05K1/18
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公开(公告)号：TWI519805B
公开(公告)日：2016-02-01
申请号：TW102105424
申请日：2013-02-08
Applicant: 美新公司 , MEMSIC, INC.
Inventor： 蔡永耀 , CAI, YONGYAO , 邱教明 , QIU, JIAOMING , 蔣樂越 , JIANG, LEYUE
IPC: G01R33/09
CPC classification number: G01R33/093 , G01R33/09 , G01R33/098
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公开(公告)号：TW201423136A
公开(公告)日：2014-06-16
申请号：TW102136893
申请日：2013-10-11
Applicant: 美新公司 , MEMSIC, INC.
Inventor： 蔡永耀 , CAI, YONGYAO , 蔣樂越 , JIANG, LEYUE , 柴拉奇 保羅 , ZAVRACKY, PAUL , 趙陽 , ZHAO, YANG , 顧碩 , GU, SHUO
CPC classification number: G01R33/0206 , G01R33/00 , G01R33/0005 , G01R33/096
Abstract: 本發明提供一種三軸磁感測器或磁力計。於形成於一基板上之一凸塊結構之相對側上製造使用螺旋條狀紋各向異性磁阻(AMR)結構之兩個磁感測器惠斯登電橋，以提供相對於該基板之平坦表面成一預定角度之表面。該電橋總成沿Y軸定向且該等電橋互連使得Y及Z通道信號可藉由處理電橋信號而產生。該等X通道信號由提供於該基板之水平表面上之一X軸感測器提供。
Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种三轴磁传感器或磁力计。于形成于一基板上之一凸块结构之相对侧上制造使用螺旋条状纹各向异性磁阻(AMR)结构之两个磁传感器惠斯登电桥，以提供相对于该基板之平坦表面成一预定角度之表面。该电桥总成沿Y轴定向且该等电桥互连使得Y及Z信道信号可借由处理电桥信号而产生。该等X信道信号由提供于该基板之水平表面上之一X轴传感器提供。
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公开(公告)号：TWI604209B
公开(公告)日：2017-11-01
申请号：TW102136893
申请日：2013-10-11
Applicant: 美新公司 , MEMSIC, INC.
Inventor： 蔡永耀 , CAI, YONGYAO , 蔣樂越 , JIANG, LEYUE , 柴拉奇 保羅 , ZAVRACKY, PAUL , 趙陽 , ZHAO, YANG , 顧碩 , GU, SHUO
CPC classification number: G01R33/0206 , G01R33/00 , G01R33/0005 , G01R33/096
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公开(公告)号：TW201337303A
公开(公告)日：2013-09-16
申请号：TW102105424
申请日：2013-02-08
Applicant: 美新公司 , MEMSIC, INC.
Inventor： 蔡永耀 , CAI, YONGYAO , 邱教明 , QIU, JIAOMING , 蔣樂越 , JIANG, LEYUE
IPC: G01R33/09
CPC classification number: G01R33/093 , G01R33/09 , G01R33/098
Abstract: 本發明揭示一種基於巨磁阻(GMR)或穿隧巨磁阻(TGMR)之多軸磁場感測器系統。較佳地，本發明提供一種用於感測沿著三個相互正交軸之磁通量之三軸感測器系統。該感測器系統或計磁儀可用於磁羅盤或其他磁場感測應用。基於GMR或TGMR之感測單元操作以感測裝置(XY)平面中之X及Y軸磁通量信號，而藉由使用經調適以將Z軸磁通量信號轉換成該XY平面中之磁通量信號之一連續環形或八邊形磁集中器來達成Z軸敏感度。使用來自X或Y軸感測器之磁通量信號透過信號處理來計算Z場分量。該磁集中器既用作一通量導引件(Z至XY平面)又用作一信號放大器。藉由將感測器單元對稱地放置於該集中器之兩側上來使串音最小化。
Abstract in simplified Chinese: 本发明揭示一种基于巨磁阻(GMR)或穿隧巨磁阻(TGMR)之多轴磁场传感器系统。较佳地，本发明提供一种用于传感沿着三个相互正交轴之磁通量之三轴传感器系统。该传感器系统或计磁仪可用于磁罗盘或其他磁场传感应用。基于GMR或TGMR之传感单元操作以传感设备(XY)平面中之X及Y轴磁通量信号，而借由使用经调适以将Z轴磁通量信号转换成该XY平面中之磁通量信号之一连续环形或八边形磁集中器来达成Z轴敏感度。使用来自X或Y轴传感器之磁通量信号透过信号处理来计算Z场分量。该磁集中器既用作一通量导引件(Z至XY平面)又用作一信号放大器。借由将传感器单元对称地放置于该集中器之两侧上来使串音最小化。
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