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公开(公告)号：CN102713722A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201080060757.X
申请日：2010-12-24
Applicant: 船井电机株式会社
CPC classification number: G02B26/0841
Abstract: 该振动反射镜元件（100）具有：反射镜部（10）；第一驱动部（41），其形成为悬臂梁状，包括形成在第一方向上的一侧的第一固定端（41a）和形成在另一侧的第一自由端（41b），而且延伸成直线状；第一反射镜支撑部（46），其能够以使反射镜部（10）倾斜的状态支撑该反射镜部（10）；第二驱动部（51），其形成为悬臂梁状，并且包括形成在第一方向上的另一侧的第二固定端（51a）和形成在一侧的第二自由端（51b），与第一驱动部具有以反射镜的中心为对称点而点对称的关系；第二反射镜支撑部（56），其与第一反射镜支撑部具有以反射镜的中心为对称点而点对称的关系，并且能够以使反射镜部倾斜的状态支撑该反射镜部。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103097937A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201180043074.8
申请日：2011-08-19
Applicant: 船井电机株式会社
CPC classification number: G02B26/0841 , G02B7/1821 , G02B26/101
Abstract: 本发明提供一种能够容易地制造的具有用于检测驱动的检测用电极的振动反射镜器件。该振动反射镜器件（100）具有反射镜部（1）和用于驱动反射镜部的驱动部（4、5）；上述驱动部配置有用于通过被施加电压来使驱动部变形并驱动的驱动用电极（44、54）和用于检测驱动部的变形量的检测用电极（45、55）。
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公开(公告)号：CN101750735B
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN200910261591.7
申请日：2009-12-15
Applicant: 船井电机株式会社
IPC: G02B26/10
CPC classification number: G02B26/0841
Abstract: 本振动镜部件包括反射光线的镜面部分、与镜面部分连接用于以能振动的方向支承镜面部分的可扭转变形的梁部分、以及具有与梁部分连接的连接部分以通过可扭转变形的梁部分来驱动镜面部分的驱动部分。使在平面图中驱动部分的连接部分的宽度小于驱动部分除了连接部分之外的部分的宽度。
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公开(公告)号：CN101750735A
公开(公告)日：2010-06-23
申请号：CN200910261591.7
申请日：2009-12-15
Applicant: 船井电机株式会社
IPC: G02B26/10
CPC classification number: G02B26/0841
Abstract: 本振动镜部件包括反射光线的镜面部分、与镜面部分连接用于以能振动的方向支承镜面部分的可扭转变形的梁部分、以及具有与梁部分连接的连接部分以通过可扭转变形的梁部分来驱动镜面部分的驱动部分。使在平面图中驱动部分的连接部分的宽度小于驱动部分除了连接部分之外的部分的宽度。
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公开(公告)号：CN104094160B
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201380007932.2
申请日：2013-01-08
Applicant: 船井电机株式会社
CPC classification number: G02B26/101 , B81B3/0062 , B81B2201/042 , G02B26/0833 , G02B26/0841 , G02B26/0858 , G02B26/105 , G02B27/646
Abstract: 在MEMS器件(1)中，第一驱动部(40)被分割成第一驱动部分(41)和第二驱动部分(42)。第二驱动部(50)被分割成第三驱动部分(51)和第四驱动部分(52)。通过对第一驱动部分、第二驱动部分、第三驱动部分以及第四驱动部分分别相互独立地进行驱动控制，来使光学部件(10)倾斜。
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公开(公告)号：CN104094160A
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201380007932.2
申请日：2013-01-08
Applicant: 船井电机株式会社
CPC classification number: G02B26/101 , B81B3/0062 , B81B2201/042 , G02B26/0833 , G02B26/0841 , G02B26/0858 , G02B26/105 , G02B27/646
Abstract: 在MEMS器件(1)中，第一驱动部(40)被分割成第一驱动部分(41)和第二驱动部分(42)。第二驱动部(50)被分割成第三驱动部分(51)和第四驱动部分(52)。通过对第一驱动部分、第二驱动部分、第三驱动部分以及第四驱动部分分别相互独立地进行驱动控制，来使光学部件(10)倾斜。
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