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公开(公告)号:CN101053060A
公开(公告)日:2007-10-10
申请号:CN200580037965.7
申请日:2005-09-08
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
CPC classification number: H01J65/044 , C03C3/06 , C03C4/0085 , C03C2201/11 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , H01J61/302
Abstract: 一种用于发射紫外线和/或真空紫外线辐射的无电极灯和过程包含由超纯和/或低缺陷石英材料形成的封壳以及设置在封壳内部区域中的紫外线和/或真空紫外线发射性材料。由超纯和/或无缺陷石英材料形成的无电极灯在使用期间使退化最小化。