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公开(公告)号：CN1173608C
公开(公告)日：2004-10-27
申请号：CN97129706.1
申请日：1997-12-31
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
IPC: H05H1/34 , H01J37/08 , H01J37/317
CPC classification number: H01J27/08 , H01J2237/08 , H01J2237/31701
Abstract: 离子注入机用的离子源，包括限定气体电离区的导电室壁的气封室，其出口允许离子射出。基板使气封室对着将射出的离子形成离子束的结构配置。阴极一部分伸入气封室的开口中。阴极包括置有灯丝的内部区域的阴极体。阴极体包括内管件、同轴的外管件和端帽。端帽具有带径向延伸凸缘的横截面减小的主体部分。端帽压入内管件。给灯丝供电以加热该端帽，使其发射电子至电离区。该灯丝受阴极体保护，可免受气体电离区中激发等离子体的影响。
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