公开(公告)号：CN116609918A

公开(公告)日：2023-08-18

申请号：CN202310612979.7

申请日：2023-05-29

Applicant: 苏州矽行半导体技术有限公司

Inventor： 蔡雄飞 ,  孙川 ,  姜玉涛 ,  朱怡

IPC: G02B7/14

Abstract: 本发明提供了一种物镜切换装置，属于半导体晶圆的光学量测领域，物镜切换装置包括驱动模组、物镜移动件、多个不同参数的物镜、物镜锁定环和平衡导轨模块；多个物镜通过物镜锁定环连接至物镜移动件上，物镜移动件设置在驱动模组上；多个物镜在驱动模组的驱动下随物镜移动件移动实现切换；通过本申请的物镜切换装置，可以在不增强单个物镜参数或使用范围的情况下，通过切换不同参数的物镜实现晶圆检测的物镜需求范围，降低了成本，提高了两侧范围，便于在半导体晶圆光学检测领域中推广应用。

公开(公告)号：CN116646234A

公开(公告)日：2023-08-25

申请号：CN202310630153.3

申请日：2023-05-31

Applicant: 苏州矽行半导体技术有限公司

Inventor： 蔡雄飞 ,  王少卿 ,  朱怡

IPC: H01J65/04 ,  H01J61/30 ,  B82Y20/00 ,  B82Y30/00 ,  G01J3/10 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明提供了一种激光支持等离子体的宽光谱光源系统，属于半导体量检测领域，涉及等离子体光源技术，宽光谱光源系统包括位于光源灯壳内的高压气体灯、带水冷机构的椭球镜、二向色镜、激光器、激光镜组、冷水机、压缩气源、惰性气体源；在所述椭球镜内表面、二向色镜以及光源灯壳的出光窗上设置使得邻接透明体折射率变化的结构层；通过本申请的宽光谱光源系统，可以提供稳定的高功率宽光谱出射光，同时设置了结构层可以降低光损耗，提高了整体效率，可以在半导体晶圆光学检测领域中推广应用。

公开(公告)号：CN220933260U

公开(公告)日：2024-05-10

申请号：CN202322776497.3

申请日：2023-10-17

Applicant: 苏州矽行半导体技术有限公司

Inventor： 蔡雄飞 ,  孙川 ,  姜玉涛 ,  朱怡

IPC: G02B7/14

Abstract: 本实用新型提供了一种物镜切换装置，属于半导体晶圆的光学量测领域，物镜切换装置包括驱动模组、物镜移动件、多个不同参数的物镜、物镜锁定环和平衡导轨模块；多个物镜通过物镜锁定环连接至物镜移动件上，物镜移动件设置在驱动模组上；多个物镜在驱动模组的驱动下随物镜移动件移动实现切换；通过本申请的物镜切换装置，可以在不增强单个物镜参数或使用范围的情况下，通过切换不同参数的物镜实现晶圆检测的物镜需求范围，降低了成本，提高了两侧范围，便于在半导体晶圆光学检测领域中推广应用。