用于使用光电离进行过程污染物检测的分压力计组件及相关联的方法

    公开(公告)号:CN119213308A

    公开(公告)日:2024-12-27

    申请号:CN202380035003.6

    申请日:2023-04-19

    Abstract: 一种光电离传感器组件包括壳体,其限定具有第一端和相对的第二端的腔室,并且该腔室对于分析物气体和非分析物气体是可渗透的。辐射源被构造成将光子发射到腔室中。第一、第二和第三电极位于腔室中。光子电离分析物气体,不足以电离非分析物气体,并且引起光电子从第三电极射出。控制器被构造成接收总压力的测量,并且电偏置电极以便以取决于总压力的比率收集第一电子和第二电子上的光电子。控制器被构造成确定在总压力下聚集在第一和第二电极上的光电子的比率,并且通过使用所确定的比率校正测量的电流来确定由于电离引起的电流的量。

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