公开(公告)号：CN102183334A

公开(公告)日：2011-09-14

申请号：CN201110039698.4

申请日：2011-01-04

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： T·考奇 ,  M·米勒 ,  D·梅因霍尔德 ,  B·罗萨姆 ,  K·埃利安 ,  S·科尔布

IPC: G01L9/12

CPC classification number: B81C1/00071 ,  B81B2201/0264 ,  G01L9/0042

Abstract: 一种用于提供压力传感器衬底的方法包括：创建第一空腔，所述第一空腔在衬底内部在与衬底的主表面垂直的第一方向上延伸并且在衬底内部在与第一方向垂直的第二方向上延伸进入衬底的第一通气区域；创建第二空腔，所述第二空腔在衬底内部在第一方向上延伸，在第二方向上平行于第一空腔延伸，并且不延伸进入第一通气区域；以及将第一空腔开口于第一通气区域中。

公开(公告)号：CN102183334B

公开(公告)日：2013-11-27

申请号：CN201110039698.4

申请日：2011-01-04

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： T·考奇 ,  M·米勒 ,  D·梅因霍尔德 ,  B·罗萨姆 ,  K·埃利安 ,  S·科尔布

IPC: G01L9/12

CPC classification number: B81C1/00071 ,  B81B2201/0264 ,  G01L9/0042

Abstract: 一种用于提供压力传感器衬底的方法包括：创建第一空腔，所述第一空腔在衬底内部在与衬底的主表面垂直的第一方向上延伸并且在衬底内部在与第一方向垂直的第二方向上延伸进入衬底的第一通气区域；创建第二空腔，所述第二空腔在衬底内部在第一方向上延伸，在第二方向上平行于第一空腔延伸，并且不延伸进入第一通气区域；以及将第一空腔开口于第一通气区域中。