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公开(公告)号：TW202010861A
公开(公告)日：2020-03-16
申请号：TW108121192
申请日：2019-06-19
Applicant: 荷蘭商ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V.
Inventor： 納莎里維奇 邁可辛 亞歷山德羅維奇 , NASALEVICH, MAXIM ALEKSANDROVICH , 克萊茵 亞歷山大 路德維希 , KLEIN, ALEXANDER LUDWIG , 克爾甘諾凡 艾夫喬尼亞 , KURGANOVA, EVGENIA , 諾登布 雅努 威稜 , NOTENBOOM, ARNOUD WILLEM , 凡 柔 彼德 珍 , VAN ZWOL, PIETER-JAN , 凡爾斯 大衛 凡迪奈德 , VLES, DAVID FERDINAND
Abstract: 本發明揭示一種護膜，其包含：一芯，該芯包含除了碳化矽以外之一材料；一碳化矽黏著層；及一釕罩蓋層，該釕罩蓋層與該碳化矽黏著層接觸。本發明亦描述一種製備一護膜之方法，該方法包含以下步驟：(i)設置一護膜芯；(ii)在該護膜芯上設置一碳化矽黏著層；及(iii)將一釕罩蓋層設置成與該碳化矽黏著層接觸。本發明亦提供碳化矽在一EUV護膜中作為一黏著層之用途，以及一種總成。
Abstract in simplified Chinese: 本发明揭示一种护膜，其包含：一芯，该芯包含除了碳化硅以外之一材料；一碳化硅黏着层；及一钌罩盖层，该钌罩盖层与该碳化硅黏着层接触。本发明亦描述一种制备一护膜之方法，该方法包含以下步骤：(i)设置一护膜芯；(ii)在该护膜芯上设置一碳化硅黏着层；及(iii)将一钌罩盖层设置成与该碳化硅黏着层接触。本发明亦提供碳化硅在一EUV护膜中作为一黏着层之用途，以及一种总成。
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公开(公告)号：TW201910552A
公开(公告)日：2019-03-16
申请号：TW107124727
申请日：2018-07-18
Applicant: 荷蘭商ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V.
Inventor： 克爾甘諾凡 艾夫喬尼亞 , KURGANOVA, EVGENIA , 吉斯波爾思 艾利那斯 喬漢斯 瑪麗亞 , GIESBERS, ADRIANUS JOHANNES MARIA , 納莎里維奇 邁可辛 亞歷山德羅維奇 , NASALEVICH, MAXIM ALEKSANDROVICH , 諾登布 雅努 威稜 , NOTENBOOM, ARNOUD WILLEM , 彼得 瑪莉亞 , PETER, MARIA , 凡 柔 彼德 珍 , VAN ZWOL, PIETER-JAN , 凡爾斯 大衛 凡迪奈德 , VLES, DAVID FERDINAND , 福爾特赫伊曾 威廉 彼德 , VOORTHUIJZEN, WILLEM-PIETER
Abstract: 本發明提供一種製造用於一微影設備之一表膜的方法，該方法包含：使用輻射加熱來局部加熱該表膜，且在該表膜之兩側上沈積塗佈材料，且本發明提供根據此方法製造之表膜。本發明亦揭示具有雙面六方氮化硼塗層之一多層石墨烯表膜在一微影設備中之用途。
Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种制造用于一微影设备之一表膜的方法，该方法包含：使用辐射加热来局部加热该表膜，且在该表膜之两侧上沉积涂布材料，且本发明提供根据此方法制造之表膜。本发明亦揭示具有双面六方氮化硼涂层之一多层石墨烯表膜在一微影设备中之用途。
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3.发明专利使用及製作遮罩組件及監測該遮罩組件之護膜的方法、遮罩、遮罩組件、遮罩組件容器、護膜組件、及護膜組件容器 有权使用及制作遮罩组件及监测该遮罩组件之护膜的方法、遮罩、遮罩组件、遮罩组件容器、护膜组件、及护膜组件容器
公开(公告)号：TWI687759B
公开(公告)日：2020-03-11
申请号：TW105103361
申请日：2016-02-02
Applicant: 荷蘭商ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B. V.
Inventor： 布朗司 德克 瑟華提思 傑卓達 , BROUNS, DERK SERVATIUS GERTRUDA , 迪 葛瑞夫 丹尼司 , DE GRAAF, DENNIS , 迪 克夫 羅伯特斯 寇尼勒斯 馬汀納斯 , DE KRUIF, ROBERTUS CORNELIS MARTINUS , 簡森 保羅 , JANSSEN, PAUL , 可魯依寧嘉 馬提亞斯 , KRUIZINGA, MATTHIAS , 諾登布 雅努 威稜 , NOTENBOOM, ARNOUD WILLEM , 史密斯 丹尼爾 安德魯 , SMITH, DANIEL ANDREW , 凡布魯吉 畢兒翠斯 路意斯 瑪莉 喬瑟夫 凱翠恩 , VERBRUGGE, BEATRIJS LOUISE MARIE-JOSEPH K , 威立 詹姆士 諾門 , WILEY, JAMES NORMAN
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