公开(公告)号：CN102577638B

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201080046764.4

申请日：2010-07-29

Applicant: 西门子公司

Inventor： T.齐玛 ,  G.加恩威特纳 ,  G.施米德 ,  D.塔洛塔

IPC: H05K1/16 ,  H05K3/00 ,  C01G1/02 ,  H01G4/12 ,  B22F1/00

CPC classification number: H05K1/162 ,  B05D1/185 ,  H01B3/002 ,  H01B3/10 ,  H01G4/1227 ,  H01G11/48 ,  H05K2201/0175 ,  H05K2201/0195 ,  H05K2201/0209 ,  H05K2201/0224 ,  H05K2201/0257 ,  Y02E60/13

Abstract: 本发明涉及介电保护层，其中包埋有纳米颗粒以增加介电常数，该纳米颗粒由保护壳包裹以防止团聚，从而获得了用于沉积超薄膜的小粒径。

公开(公告)号：CN102577638A

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201080046764.4

申请日：2010-07-29

Applicant: 西门子公司

Inventor： T.齐玛 ,  G.加恩威特纳 ,  G.施米德 ,  D.塔洛塔

IPC: H05K1/16 ,  H05K3/00 ,  C01G1/02 ,  H01G4/12 ,  B22F1/00

CPC classification number: H05K1/162 ,  B05D1/185 ,  H01B3/002 ,  H01B3/10 ,  H01G4/1227 ,  H01G11/48 ,  H05K2201/0175 ,  H05K2201/0195 ,  H05K2201/0209 ,  H05K2201/0224 ,  H05K2201/0257 ,  Y02E60/13

Abstract: 本发明涉及介电保护层，其中包埋有纳米颗粒以增加介电常数，该纳米颗粒由保护壳包裹以防止团聚，从而获得了用于沉积超薄膜的小粒径。