公开(公告)号：CN102596829A

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN201080050475.1

申请日：2010-09-14

Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司

Inventor： A.舒斯特 ,  R.佐瓦 ,  M.特罗默 ,  U.佩珀

IPC: C03B19/14 ,  C03B37/014

CPC classification number: C03B19/1492 ,  C03B37/01493 ,  Y10T428/22 ,  Y10T428/2918

Abstract: 在一种已知用于生产石英玻璃圆柱体的方法中，通过在一个支撑物的一个圆柱形罩面上沉积SiO2颗粒来生产一个多孔的灰料管，该支撑物围绕该圆柱形罩面的纵轴旋转并且具有一个由碳化硅制造的层（SiC层），该灰料管被烧结成该石英玻璃圆柱体。为了由此出发而提出一种具有高断裂强度的支撑物，其中该支撑物一方面能够容易地移出而另一方面对灰料体造成了较小的污染危险，根据本发明提出：在沉积SiO2颗粒之前，将SiC层在高温下含氧的气氛中进行如下的处理，即通过氧化来形成一个具有至少0.1µm厚度的SiO2保护层。

公开(公告)号：CN102596829B

公开(公告)日：2014-11-26

申请号：CN201080050475.1

申请日：2010-09-14

Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司

Inventor： A.舒斯特 ,  R.佐瓦 ,  M.特罗默 ,  U.佩珀

IPC: C03B19/14 ,  C03B37/014

CPC classification number: C03B19/1492 ,  C03B37/01493 ,  Y10T428/22 ,  Y10T428/2918

Abstract: 在一种已知用于生产石英玻璃圆柱体的方法中，通过在一个支撑物的一个圆柱形罩面上沉积SiO2颗粒来生产一个多孔的灰料管，该支撑物围绕该圆柱形罩面的纵轴旋转并且具有一个由碳化硅制造的层（SiC层），该灰料管被烧结成该石英玻璃圆柱体。为了由此出发而提出一种具有高断裂强度的支撑物，其中该支撑物一方面能够容易地移出而另一方面对灰料体造成了较小的污染危险，根据本发明提出：在沉积SiO2颗粒之前，将SiC层在高温下含氧的气氛中进行如下的处理，即通过氧化来形成一个具有至少0.1μm厚度的SiO2保护层。