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公开(公告)号：CN104245610A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201380020602.7
申请日：2013-04-16
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
IPC: C03B19/14
CPC classification number: C03B37/01446 , C03B19/1453 , C03B37/01453 , C03B37/018 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/20 , C03B2201/23
Abstract: 本发明公开了一种由含氟的合成石英玻璃制备圆柱形组件的方法，包括以下方法步骤：制备SiO2-烟灰体；从该烟灰体中除去羟基；用氟负载所述烟灰体；使所述负载氟的烟灰体后氯化和使所述烟灰体玻璃化以获得圆柱形组件。为了实现可重复的尤其是氟的轴向和径向特别均匀的分布，根据本发明在干燥时调节烟灰体中的羟基浓度为1-300重量-ppm和在用氟负载时调节至少1500重量-ppm的平均氟含量，并且在后氯化时用氯负载而使得在所述玻璃化之后在所述组件的合成石英玻璃中产生至少50重量-ppm的平均氯含量，进一步的条件是氟含量与氯含量的重量比小于30。
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公开(公告)号：CN103987670A
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN201280061708.7
申请日：2012-12-12
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
IPC: C03B37/014
CPC classification number: C03B37/014 , C03B37/01406 , C03B37/01413 , C03B2201/20 , C03B2201/84 , C03B2207/32 , C03B2207/36 , C03C13/008 , C03C2213/00
Abstract: 已知一种制备合成石英玻璃的方法，包括下面的方法步骤：(a)使含有含碳硅化合物的原料与氧气在反应区中反应成为SiO2颗粒，(b)将所述SiO2颗粒沉积在沉积表面上形成含有碳和羟基的多孔SiO2烟灰体，(c)干燥所述多孔的SiO2烟灰体，和(d)通过将所述烟灰体加热到玻璃化温度使其玻璃化成为合成石英玻璃。为了表明由其开始的方法实现了通过使用含碳原料通过含碳硅化合物热解或水解成本有效地生产石英玻璃，本发明描述了碳含量为1重量ppm至50重量ppm的烟灰体的制备。
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公开(公告)号：CN102099304B
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN200980128236.0
申请日：2009-07-16
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC classification number: C03B19/1095 , C03B17/04 , C03B19/095 , C03B19/106 , C03B2201/24 , Y02P40/57 , Y10T428/268 , Y10T428/2982
Abstract: 在一种公知的用于制造掺杂有氮的石英玻璃的方法中，制备SiO2粒子形式的或者由SiO2粒子产生的多孔的半成品形式的SiO2基本产品，在加热过程中在具有含氮的反应气体的气氛中将SiO2基本产品加工成其中含有化学键合的氮的石英玻璃。基于此提出一种方法，借此可在石英玻璃中实现氮掺杂，其中化学键合的氮的含量尽可能高。根据本发明，该目的的实现方式为，作为含有氮的反应气体，使用氮氧化物；使用在加热过程中具有至少为2×1015cm-3的氧缺乏空穴浓度的SiO2基本产品，其中SiO2基本产品由平均小粒大小在200nm~300μm（D50值）范围内的SiO2小粒构成。
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公开(公告)号：CN102906038A
公开(公告)日：2013-01-30
申请号：CN201180026244.1
申请日：2011-05-26
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC classification number: C03B19/1492 , C03C17/004 , C03C17/02 , C03C21/003 , C03C23/0025 , C03C2217/213 , C03C2218/1525
Abstract: 本发明的基本目的是，提供一种方法，用于制造具有由透明的、少气泡的、纯净的、具有较长使用寿命的石英玻璃制成的内层的一种石英玻璃坩埚。根据本发明的目的是由一种方法实现的，该方法包括以下方法步骤：(a)制备一个具有内侧面的、由石英玻璃制成的坩埚基体，(b)通过气相沉积在坩埚基体的内侧面的至少一个部分面积上制造一个多孔SiO2灰料层，将多孔的SiO2灰料层干燥以减少羟基含量，以及在贫氢的气氛中将灰料层烧结成由透明石英玻璃制成的内层，从而将内层的石英玻璃中的羟基含量设定为小于100重量ppm。
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公开(公告)号：CN103987667B
公开(公告)日：2016-10-19
申请号：CN201280062054.X
申请日：2012-12-13
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
IPC: C03B19/14
CPC classification number: C03B19/1415 , C03B2201/02 , C03B2207/32 , C03B2207/85 , Y02P40/57
Abstract: 本发明涉及一种用于制备合成石英玻璃的方法，其包括：气化作为液体SiO2原料 (105)的聚烷基硅氧烷，使SiO2原料蒸气(107)转化为SiO2颗粒，沉积所述SiO2颗粒而形成烟灰体(200)，和使烟灰体(200)玻璃化。根据本发明，加热的SiO2原料(105)的气化包括在膨胀室(125)中的喷射阶段，在其中SiO2原料 (105)雾化成为细小的微滴，其中所述微滴具有小于5 µm的平均直径，并且微滴的雾化在预热的载体气体流中进行，所述载体气体流具有超过180℃的温度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104395251A
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201380035421.1
申请日：2013-07-02
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
IPC: C03B19/14
CPC classification number: C03B19/1415 , C03B2201/02 , C03B2207/36 , C03B2207/50 , C03B2207/52 , C03B2207/66 , C03B2207/70 , C03B20/00
Abstract: 一种用于通过生成灰粉体来生成由石英玻璃制成的柱体的方法，其中使用至少两个沉积燃烧器来将用于质量沉积的SiO2颗粒沉积在围绕其纵向轴线旋转的基材上，并且灰粉体被玻璃化以形成石英玻璃柱体，在生成灰粉体之前，实施包括以下步骤的方法：a)生成第一测试灰粉体，其中使用所述至少两个沉积燃烧器来将用于质量沉积的SiO2颗粒沉积在围绕其纵向轴线旋转的基材上；b)确定所述第一测试灰粉体沿轴向方向的密度分布；c)生成第二测试灰粉体，其中根据所确定的第一测试灰粉体的轴向密度分布，来设定第二测试灰粉体的轴向密度分布，优选变得更均匀；d)使所述第二测试灰粉体玻璃化，以便形成测试石英玻璃柱体；e)确定所述测试石英玻璃柱体沿轴向方向的质量分布；f)根据所确定的测试石英玻璃柱体的轴向质量分布，设定待借助于所述沉积燃烧器沉积在基材上的SiO2颗粒的质量沉积，使得借助于所述沉积燃烧器生成的玻璃化的灰粉体的质量分布相对于所述测试石英玻璃柱体的轴向质量分布得到改善和/或变得更均匀。
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公开(公告)号：CN102596829A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201080050475.1
申请日：2010-09-14
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
IPC: C03B19/14 , C03B37/014
CPC classification number: C03B19/1492 , C03B37/01493 , Y10T428/22 , Y10T428/2918
Abstract: 在一种已知用于生产石英玻璃圆柱体的方法中，通过在一个支撑物的一个圆柱形罩面上沉积SiO2颗粒来生产一个多孔的灰料管，该支撑物围绕该圆柱形罩面的纵轴旋转并且具有一个由碳化硅制造的层（SiC层），该灰料管被烧结成该石英玻璃圆柱体。为了由此出发而提出一种具有高断裂强度的支撑物，其中该支撑物一方面能够容易地移出而另一方面对灰料体造成了较小的污染危险，根据本发明提出：在沉积SiO2颗粒之前，将SiC层在高温下含氧的气氛中进行如下的处理，即通过氧化来形成一个具有至少0.1µm厚度的SiO2保护层。
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公开(公告)号：CN102099304A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN200980128236.0
申请日：2009-07-16
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC classification number: C03B19/1095 , C03B17/04 , C03B19/095 , C03B19/106 , C03B2201/24 , Y02P40/57 , Y10T428/268 , Y10T428/2982
Abstract: 在一种公知的用于制造掺杂有氮的石英玻璃的方法中，制备SiO2粒子形式的或者由SiO2粒子产生的多孔的半成品形式的SiO2基本产品，在加热过程中在具有含氮的反应气体的气氛中将SiO2基本产品加工成其中含有化学键合的氮的石英玻璃。基于此提出一种方法，借此可在石英玻璃中实现氮掺杂，其中化学键合的氮的含量尽可能高。根据本发明，该目的的实现方式为，作为含有氮的反应气体，使用氮氧化物；使用在加热过程中具有至少为2×1015cm-3的氧缺乏空穴浓度的SiO2基本产品，其中SiO2基本产品由平均小粒大小在200nm~300μm（D50值）范围内的SiO2小粒构成。
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公开(公告)号：CN104661972B
公开(公告)日：2017-05-03
申请号：CN201380050400.7
申请日：2013-09-06
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
IPC: C03B23/047 , C03B37/014 , C03B19/14
CPC classification number: C03B37/018 , C03B19/1461 , C03B23/047 , C03B37/01446 , C03B37/027 , C03B2201/12 , C03C3/04 , C03C3/06 , C03C2201/12 , C03C2203/46 , C03C2203/54
Abstract: 本发明涉及氟化灰料体的方法，其包括以下步骤：a)提供灰料体，和b)将所述灰料体在(1280‑n*250)℃至(1220‑n*100)℃的温度下用包含CnF2n+2和氢的气体混合物处理，其中n=1或者2。
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公开(公告)号：CN104245610B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201380020602.7
申请日：2013-04-16
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
IPC: C03B19/14
CPC classification number: C03B37/01446 , C03B19/1453 , C03B37/01453 , C03B37/018 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/20 , C03B2201/23
Abstract: 本发明公开了一种由含氟的合成石英玻璃制备圆柱形组件的方法，包括以下方法步骤：制备SiO2?烟灰体；从该烟灰体中除去羟基；用氟负载所述烟灰体；使所述负载氟的烟灰体后氯化和使所述烟灰体玻璃化以获得圆柱形组件。为了实现可重复的尤其是氟的轴向和径向特别均匀的分布，根据本发明在干燥时调节烟灰体中的羟基浓度为1?300重量?ppm和在用氟负载时调节至少1500重量?ppm的平均氟含量，并且在后氯化时用氯负载而使得在所述玻璃化之后在所述组件的合成石英玻璃中产生至少50重量?ppm的平均氯含量，进一步的条件是氟含量与氯含量的重量比小于30。
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