公开(公告)号：CN107686979A

公开(公告)日：2018-02-13

申请号：CN201710658426.X

申请日：2017-08-04

Applicant: 迈尔博尔格(德国)股份公司

Inventor： 赵军 ,  E·安佐格

IPC: C23C14/50 ,  C23C16/458 ,  H01L31/18 ,  H01L21/687

CPC classification number: H01L21/68771 ,  H01L21/67754 ,  H01L21/68735 ,  H01L21/6875 ,  C23C14/50 ,  C23C16/4581 ,  H01L21/68785 ,  H01L31/1804

Abstract: 本发明涉及一种用于基材支架(2)的适配装置(1、1’、1”)以及适配装置的应用，其中，所述基材支架包括由多个分别具有至少一个基材贴靠面(25)的板条(21、22、23、24)限界的开口(3)。按照本发明的适配装置的特征在于，其具有至少一个伸进基材支架的至少一个开口(3)中的具有基材贴靠面(12、12’、12”)的基材贴靠元件(11、11’、11”)，并且所述适配装置设置在基材支架的板条(21、22、23、24)的交叉区域内，使得与所述至少一个基材贴靠元件相邻的板条的邻接于所述至少一个基材贴靠元件之基材贴靠面的基材贴靠面(25)和所述至少一个基材贴靠元件之基材贴靠面(12、12’、12”)形成一个封闭的基材贴靠面。