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公开(公告)号：CN107686979A
公开(公告)日：2018-02-13
申请号：CN201710658426.X
申请日：2017-08-04
Applicant: 迈尔博尔格(德国)股份公司
IPC: C23C14/50 , C23C16/458 , H01L31/18 , H01L21/687
CPC classification number: H01L21/68771 , H01L21/67754 , H01L21/68735 , H01L21/6875 , C23C14/50 , C23C16/4581 , H01L21/68785 , H01L31/1804
Abstract: 本发明涉及一种用于基材支架(2)的适配装置(1、1’、1”)以及适配装置的应用，其中，所述基材支架包括由多个分别具有至少一个基材贴靠面(25)的板条(21、22、23、24)限界的开口(3)。按照本发明的适配装置的特征在于，其具有至少一个伸进基材支架的至少一个开口(3)中的具有基材贴靠面(12、12’、12”)的基材贴靠元件(11、11’、11”)，并且所述适配装置设置在基材支架的板条(21、22、23、24)的交叉区域内，使得与所述至少一个基材贴靠元件相邻的板条的邻接于所述至少一个基材贴靠元件之基材贴靠面的基材贴靠面(25)和所述至少一个基材贴靠元件之基材贴靠面(12、12’、12”)形成一个封闭的基材贴靠面。
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公开(公告)号：CN107112177A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201680005175.9
申请日：2016-01-06
Applicant: 迈尔博尔格(德国)股份公司
IPC: H01J27/02
CPC classification number: H01J37/08 , H01J27/024 , H01J2237/0653 , H01J2237/0656 , H01J2237/083
Abstract: 本发明涉及一种用于从载流子生成空间提取载流子的设备，其具有至少一个用于提取载流子的电极装置，其中，所述至少一个电极装置至少具有一个第一栅电极和一个第二栅电极，它们具有相对应的开口。所述第一和第二栅电极分别包含至少一个导电的第一栅电极区域，其中，所述第一栅电极的所述至少一个第一栅电极区域构成在第一层中，而所述第二栅电极的所述至少一个第一栅电极区域构成在第二层中。第一层和第二层沿粒子出射方向依次设置在电极装置内部并且相互间通过第一间距沿着粒子出射方向间隔开，其中，所述第一栅电极的所述至少一个第一栅电极区域在所述第一层中形成导电的第一层部分。此外，在所述第一层中构成有导电的第二层部分，该第二层部分与第一层部分电绝缘。所述第二层部分通过所述第一栅电极或所述第二栅电极的至少一个导电的第二栅电极区域形成，并且所述第二层部分与所述第二栅电极的所述至少一个第一栅电极区域导电连接。根据本发明的用于提取载流子的设备因此是可电气切换的提取栅电极装置，借助所述设备能够改变由提取的载流子构成的粒子射束的射束特性。
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公开(公告)号：CN107112177B
公开(公告)日：2019-03-12
申请号：CN201680005175.9
申请日：2016-01-06
Applicant: 迈尔博尔格(德国)股份公司
IPC: H01J27/02
CPC classification number: H01J37/08 , H01J27/024 , H01J2237/0653 , H01J2237/0656 , H01J2237/083
Abstract: 本发明涉及一种用于从载流子生成空间提取载流子的设备，其具有至少一个用于提取载流子的电极装置，其中，所述至少一个电极装置至少具有一个第一栅电极和一个第二栅电极，它们具有相对应的开口。所述第一和第二栅电极分别包含至少一个导电的第一栅电极区域，其中，所述第一栅电极的所述至少一个第一栅电极区域构成在第一层中，而所述第二栅电极的所述至少一个第一栅电极区域构成在第二层中。第一层和第二层沿粒子出射方向依次设置在电极装置内部并且相互间通过第一间距沿着粒子出射方向间隔开，其中，所述第一栅电极的所述至少一个第一栅电极区域在所述第一层中形成导电的第一层部分。此外，在所述第一层中构成有导电的第二层部分，该第二层部分与第一层部分电绝缘。所述第二层部分通过所述第一栅电极或所述第二栅电极的至少一个导电的第二栅电极区域形成，并且所述第二层部分与所述第二栅电极的所述至少一个第一栅电极区域导电连接。根据本发明的用于提取载流子的设备因此是可电气切换的提取栅电极装置，借助所述设备能够改变由提取的载流子构成的粒子射束的射束特性。
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