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公开(公告)号：JP2016126017A
公开(公告)日：2016-07-11
申请号：JP2015255017
申请日：2015-12-25
Applicant: 長野計器株式会社
IPC: G01L9/00
CPC classification number: G01L9/0051
Abstract: 【課題】複数の歪ゲージ間の出力にばらつきが少なく、出力調整が容易なセンサモジュールを提供すること。 【解決手段】ダイアフラム部10の平面部に形成された検出部20は、複数の歪ゲージ3と、歪ゲージ3のうち隣合う歪ゲージ3の間にそれぞれ接続された抵抗素子接続部4と、抵抗素子接続部4の一部を覆う導電体部6とを有し、抵抗素子接続部4のうち導電体部6から露出する第一直線部分411,421,431,441及び第二直線部分412,422,432,442と、導電体部6の第一直線部分411,421,431,441及び第二直線部分412,422,432,442を横切る辺61A、61B,62A,62B,63A,63B,64A,64Bとが直交する。抵抗素子接続部4と導電体部6とにX方向又はY方向に沿ったパターンずれが生じても、抵抗素子接続部4のうち導電体部6から露出した部分の面積は変化しない。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种传感器模块，其中多个应变片之间的输出变化小，并且可以调节输出。解决方案：形成在隔膜部分10的平面部分中的检测部分20 具有多个应变片3，连接在应变计3中的各相邻应变计3之间的电阻元件连接部4和覆盖电阻元件连接部4的一部分的导电体6，第一直线部411,421 电导体6露出的电阻元件连接部4的第二直线部412,422,432,442以及电导体6的侧面61A，61B，62A，62B，63A，63B，64A，64B 穿过第一直线段411,421,431,441和与直角相交的第二直线段412,422,432,442。 即使在电阻元件连接部4和电导体6中发生沿方向X或方向Y的图案偏移时，电导体6露出的电阻元件连接部4的部分的面积也不变化。图示： 图1
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2020183945A
公开(公告)日：2020-11-12
申请号：JP2020071350
申请日：2020-04-10
Inventor： 小玉 博志 , 吉田 直樹 , 宮下 香織 , 武田 英嗣 , 友松 義浩 , ▲柳▼澤 泰史 , 山田 信明 , 緑川 祐介 , 釜鳴 志朗 , 横山 賢一 , 豊田 稲男 , 竹内 久幸 , 新美 直久 , 高橋 雅和 , 浦 靖武 , 浅野 剛次 , 蒲田 幸広
IPC: G01L9/04
Abstract: 【課題】信頼性を向上させることができる圧力センサを提供する。 【解決手段】圧力媒体が導入される圧力導入孔12が形成されると共に、圧力媒体の圧力に応じて変形可能なダイアフラム13が形成されたステム10と、ダイアフラム13上に絶縁膜20を介して配置され、ダイアフラム13の変形に応じた検出信号を出力する歪み検出素子30と、を備える。歪み検出素子30は、ポリシリコンで構成される部分を有する構成とする。そして、絶縁膜20と歪み検出素子30との間に、ポリシリコンよりも電気抵抗率が高く、かつ絶縁膜よりも結晶性が高くされた低ドープ層23を配置する。 【選択図】図4
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公开(公告)号：JP2020183944A
公开(公告)日：2020-11-12
申请号：JP2020071349
申请日：2020-04-10
Inventor： 高橋 雅和 , 竹内 久幸 , 新美 直久 , 浦 靖武 , 浅野 剛次 , 豊田 稲男 , 横山 賢一 , 釜鳴 志朗 , 蒲田 幸広 , 山田 信明 , 友松 義浩 , ▲柳▼澤 泰史 , 緑川 祐介 , 小玉 博志 , 吉田 直樹 , 宮下 香織 , 武田 英嗣
IPC: G01L19/00
Abstract: 【課題】信頼性を向上させることができる圧力センサを提供する。 【解決手段】圧力媒体が導入される圧力導入孔12が形成されると共に、圧力媒体の圧力に応じて変形可能なダイアフラム13が形成されたステム10と、ダイアフラム13に配置され、ダイアフラム13の変形に応じた検出信号を出力する歪み検出素子30と、を備える。そして、ステム10は、ダイアフラム13側を構成する第1ステム101と、圧力導入孔12における開口端側を構成する第2ステム102とを有し、第1ステム101と第2ステム102とが溶接部103を介して接合されることで構成されるようにする。また、第2ステム102は、溶接部103と開口端との間に、溶接部103が形成される部分よりも内壁面と外壁面との間の厚さが薄くされた薄肉部121を有するようにする。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP6297986B2
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：JP2015005021
申请日：2015-01-14
Applicant: 長野計器株式会社
IPC: G01L9/02
CPC classification number: G01L9/0058 , G01L9/0044 , G01L9/0055 , G01L9/006
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公开(公告)号：JP2016130688A
公开(公告)日：2016-07-21
申请号：JP2015005021
申请日：2015-01-14
Applicant: 長野計器株式会社
IPC: G01L9/02
CPC classification number: G01L9/0058 , G01L9/0044 , G01L9/0055 , G01L9/006
Abstract: 【課題】複数の抵抗素子の抵抗値の差を少なくして出力調整が容易となるセンサモジュールを提供すること。 【解決手段】ダイアフラム部の平面部に流動性の導電材料を塗布して形成される検出部を備え、検出部は、抵抗素子3と、抵抗素子3の互いに反対側に位置する一部がそれぞれ重なるように接続される抵抗素子用電極4と、抵抗素子用電極4にそれぞれ接続される線状導体とを有する。抵抗素子用電極4は、互いに対向する内側辺が直線とされた直線辺部40Sと、直線辺部40Sの両端のうち少なくとも一方が線状導体に接続された端縁部40Eとを有し、直線辺部40Sの全ては、内側辺40Lがそれぞれ平行となるように配置され、抵抗素子3は直線辺部40Sに接続され、端縁部40Eは抵抗素子3に接続されることなく露出している。 【選択図】図2
Abstract translation: 要解决的问题：提供包括多个电阻元件的传感器模块，其具有减小的欧姆值差异并促进输出调整。解决方案：传感器模块包括通过将流体导电材料施加到隔膜的平面部分而形成的检测部件 部分。 检测部分包括：电阻元件3; 电阻元件电极4，其连接彼此相对定位的电阻元件3的彼此堆叠的部分; 分别连接到电阻元件电极4的线状导体。电阻元件电极4包括：具有彼此相反的直的内侧的直边部40S; 以及作为与直线导体连接的直侧部40S的两端中的至少一方的端缘40E。 所有的直边部分40S被布置成使得内侧40L彼此平行。 电阻元件3连接到直边部分40S，并且端部边缘40E未连接到电阻元件3并暴露。图2
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