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公开(公告)号：JP2020183944A
公开(公告)日：2020-11-12
申请号：JP2020071349
申请日：2020-04-10
Inventor： 高橋 雅和 , 竹内 久幸 , 新美 直久 , 浦 靖武 , 浅野 剛次 , 豊田 稲男 , 横山 賢一 , 釜鳴 志朗 , 蒲田 幸広 , 山田 信明 , 友松 義浩 , ▲柳▼澤 泰史 , 緑川 祐介 , 小玉 博志 , 吉田 直樹 , 宮下 香織 , 武田 英嗣
IPC: G01L19/00
Abstract: 【課題】信頼性を向上させることができる圧力センサを提供する。 【解決手段】圧力媒体が導入される圧力導入孔12が形成されると共に、圧力媒体の圧力に応じて変形可能なダイアフラム13が形成されたステム10と、ダイアフラム13に配置され、ダイアフラム13の変形に応じた検出信号を出力する歪み検出素子30と、を備える。そして、ステム10は、ダイアフラム13側を構成する第1ステム101と、圧力導入孔12における開口端側を構成する第2ステム102とを有し、第1ステム101と第2ステム102とが溶接部103を介して接合されることで構成されるようにする。また、第2ステム102は、溶接部103と開口端との間に、溶接部103が形成される部分よりも内壁面と外壁面との間の厚さが薄くされた薄肉部121を有するようにする。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2020183945A
公开(公告)日：2020-11-12
申请号：JP2020071350
申请日：2020-04-10
Inventor： 小玉 博志 , 吉田 直樹 , 宮下 香織 , 武田 英嗣 , 友松 義浩 , ▲柳▼澤 泰史 , 山田 信明 , 緑川 祐介 , 釜鳴 志朗 , 横山 賢一 , 豊田 稲男 , 竹内 久幸 , 新美 直久 , 高橋 雅和 , 浦 靖武 , 浅野 剛次 , 蒲田 幸広
IPC: G01L9/04
Abstract: 【課題】信頼性を向上させることができる圧力センサを提供する。 【解決手段】圧力媒体が導入される圧力導入孔12が形成されると共に、圧力媒体の圧力に応じて変形可能なダイアフラム13が形成されたステム10と、ダイアフラム13上に絶縁膜20を介して配置され、ダイアフラム13の変形に応じた検出信号を出力する歪み検出素子30と、を備える。歪み検出素子30は、ポリシリコンで構成される部分を有する構成とする。そして、絶縁膜20と歪み検出素子30との間に、ポリシリコンよりも電気抵抗率が高く、かつ絶縁膜よりも結晶性が高くされた低ドープ層23を配置する。 【選択図】図4
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公开(公告)号：JP2017219461A
公开(公告)日：2017-12-14
申请号：JP2016115168
申请日：2016-06-09
Applicant: 長野計器株式会社
IPC: G01L9/04
CPC classification number: G01L1/2287 , G01L9/0051
Abstract: 【課題】歪検出精度を良好に保つことができるとともに、製造作業を簡略化できる歪検出器を提供すること。 【解決手段】起歪部10Bと、起歪部10Bに形成される絶縁膜12と、絶縁膜12の上に形成され起歪部10Bにより発生した歪を電気信号として検出する歪ゲージ13と、歪ゲージ13に接続される電極配線14と、電極配線14から延設される電極パッド15と、電極パッド15に接続される配線ワイヤ16と、電極パッド15及び配線ワイヤ16を覆うことなく、歪ゲージ13の上を覆う絶縁性樹脂層17とを備えた。 【選択図】図1
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