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公开(公告)号:JP2016070813A
公开(公告)日:2016-05-09
申请号:JP2014201516
申请日:2014-09-30
Applicant: 長野計器株式会社
CPC classification number: G01L9/0051 , G01L19/0084 , G01L9/0044 , G01L9/0055
Abstract: 【課題】測定精度を低下させることなく組立作業を容易に行える物理量測定装置を提供すること。 【解決手段】センサモジュール2と、センサモジュール2を収納するハウジング1と、ハウジング1に設けられたコネクタ3と、コネクタ3に設けられたターミナル端子4と、センサモジュール2とコネクタ3の間の空間に配置されターミナル端子4とパッドとの間に設けられた弾性を有する導電性部材51とを備えている。センサモジュール2は、ダイアフラム部21の周縁部に筒状部22が一体に形成されたセラミック製のモジュール本体20と、ダイアフラム部21の平面21Aに形成された検知部と、筒状部22のダイアフラム部21の平面21Aより径方向外側に隣接した平面22Bにそれぞれ設けられたパッド及び電子部品25とを備えている。パッドと導電性部材51とは接続されている。 【選択図】図2
Abstract translation: 要解决的问题:提供一种便于组装工作而不降低测量精度的物理量测量装置。解决方案:一种装置包括:传感器模块2; 用于容纳传感器模块2的壳体1; 设置在壳体1上的连接器3; 设置在连接器3上的端子4; 以及放置在传感器模块2和连接器3之间的空间中并设置在端子4和垫之间的弹性导电构件51。 传感器模块2包括:陶瓷模块体20,其具有围绕隔膜部分21的周边整体形成的圆柱形部分22; 形成在隔膜部分21的平面21A上的检测器; 以及分别设置在与圆筒部22的隔膜部21的平面21A相邻的平面22B的平面22B上的焊盘和电气部件25.焊盘和导电部件51连接。图2
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公开(公告)号:JP2020183945A
公开(公告)日:2020-11-12
申请号:JP2020071350
申请日:2020-04-10
Inventor: 小玉 博志 , 吉田 直樹 , 宮下 香織 , 武田 英嗣 , 友松 義浩 , ▲柳▼澤 泰史 , 山田 信明 , 緑川 祐介 , 釜鳴 志朗 , 横山 賢一 , 豊田 稲男 , 竹内 久幸 , 新美 直久 , 高橋 雅和 , 浦 靖武 , 浅野 剛次 , 蒲田 幸広
IPC: G01L9/04
Abstract: 【課題】信頼性を向上させることができる圧力センサを提供する。 【解決手段】圧力媒体が導入される圧力導入孔12が形成されると共に、圧力媒体の圧力に応じて変形可能なダイアフラム13が形成されたステム10と、ダイアフラム13上に絶縁膜20を介して配置され、ダイアフラム13の変形に応じた検出信号を出力する歪み検出素子30と、を備える。歪み検出素子30は、ポリシリコンで構成される部分を有する構成とする。そして、絶縁膜20と歪み検出素子30との間に、ポリシリコンよりも電気抵抗率が高く、かつ絶縁膜よりも結晶性が高くされた低ドープ層23を配置する。 【選択図】図4
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公开(公告)号:JP6301230B2
公开(公告)日:2018-03-28
申请号:JP2014201516
申请日:2014-09-30
Applicant: 長野計器株式会社
CPC classification number: G01L9/0051 , G01L9/0044 , G01L9/0055 , G01L19/0084
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公开(公告)号:JP2020183944A
公开(公告)日:2020-11-12
申请号:JP2020071349
申请日:2020-04-10
Inventor: 高橋 雅和 , 竹内 久幸 , 新美 直久 , 浦 靖武 , 浅野 剛次 , 豊田 稲男 , 横山 賢一 , 釜鳴 志朗 , 蒲田 幸広 , 山田 信明 , 友松 義浩 , ▲柳▼澤 泰史 , 緑川 祐介 , 小玉 博志 , 吉田 直樹 , 宮下 香織 , 武田 英嗣
IPC: G01L19/00
Abstract: 【課題】信頼性を向上させることができる圧力センサを提供する。 【解決手段】圧力媒体が導入される圧力導入孔12が形成されると共に、圧力媒体の圧力に応じて変形可能なダイアフラム13が形成されたステム10と、ダイアフラム13に配置され、ダイアフラム13の変形に応じた検出信号を出力する歪み検出素子30と、を備える。そして、ステム10は、ダイアフラム13側を構成する第1ステム101と、圧力導入孔12における開口端側を構成する第2ステム102とを有し、第1ステム101と第2ステム102とが溶接部103を介して接合されることで構成されるようにする。また、第2ステム102は、溶接部103と開口端との間に、溶接部103が形成される部分よりも内壁面と外壁面との間の厚さが薄くされた薄肉部121を有するようにする。 【選択図】図1
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公开(公告)号:JP2018087826A
公开(公告)日:2018-06-07
申请号:JP2018034684
申请日:2018-02-28
Applicant: 長野計器株式会社
Abstract: 【課題】測定精度を低下させることなく組立作業を容易に行えるセンサモジュールを提供する。 【解決手段】ダイアフラム部21及びダイアフラム部21の周縁部に一体に形成された筒状部22を有するセラミック製のモジュール本体20と、ダイアフラム部21のうち被測定流体が接触する面とは反対側に位置する平面21Aに形成されダイアフラム部21の変位を検知する検知部と、ダイアフラム部21の平面21Aより径方向外側に隣接した筒状部22の平面22Bに形成されるパッド24と、筒状部22の平面22Bに配置され、検知部及びパッド24に電気的に接続される電子部品25と、を有し、電子部品25は、ダイアフラム部21の平面21Aに対してパッド24とは反対側に配置され、筒状部22の外周部には筒状部22の軸方向と平行に位置決め用の外周溝20Aが形成されている。 【選択図】図4
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