公开(公告)号：CN103534645A

公开(公告)日：2014-01-22

申请号：CN201280021766.7

申请日：2012-05-04

Applicant: 阿克伦大学

Inventor： A·卡里姆 ,  D·班德约帕希亚

IPC: G03F7/00

CPC classification number: G03F7/00 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002

Abstract: 一种用于在基底上产生图案化聚合物膜的方法，其包括以下步骤：用聚合物膜涂布基底；将图案化掩模放到所述聚合物膜的表面上，所述图案化掩模具有至少一个图案部分，所述图案部分所具有的尺寸小于所述聚合物膜的毛细波长；通过溶剂退火或涉及使所述聚合物膜的温度升高至其玻璃化转变温度以上的基于温度的退火，使所述聚合物膜退火，所述退火的步骤使得所述聚合物膜符合所具有的尺寸小于所述聚合物膜的所述毛细波长的所述至少一个图案部分的尺寸，从而形成图案化聚合物膜；以及将所述图案化掩模从所述图案化聚合物膜移除。

公开(公告)号：CN104395230A

公开(公告)日：2015-03-04

申请号：CN201380033534.8

申请日：2013-06-05

Applicant: 阿克伦大学

Inventor： G·辛格 ,  A·卡里姆

IPC: B82Y40/00 ,  B32B7/04 ,  B32B27/28

CPC classification number: B29C71/02 ,  B29C67/24 ,  B29C71/0072 ,  B29C2071/022 ,  B29K2096/04 ,  B29K2105/0085 ,  B29L2007/008 ,  B81C1/00031 ,  B81C2201/0149 ,  C08J5/18 ,  C08J2353/00 ,  C08J2383/10 ,  G03F7/0002

Abstract: 本发明提供定向取向嵌段共聚物薄膜和用于生产定向取向嵌段薄膜的区域退火工艺。所述区域退火工艺包括通过柔和剪切力工艺诱导水平取向嵌段共聚物的方法，以及借助于急剧动态区域退火来诱导垂直取向嵌段共聚物的方法。所述区域退火工艺能够实现定向取向嵌段薄膜的小规模及大规模生产。所述冷区退火工艺还能与图形外延方法组合使用。