缺陷检查系统和方法
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106415248B

    公开(公告)日:2020-08-18

    申请号:CN201480058331.9

    申请日:2014-10-13

    Abstract: 提供缺陷检测系统用于样品的表面中的缺陷的检查。使用光源阵列,其具有从不同的方向向样品提供光的不同光源。光照的主方向利用最高强度限定,并且该方向随时间的推移而演变。通过提供变化的定向光照,而不是全面光照,检测缺陷变得更容易。

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