公开(公告)号：CN106415248B

公开(公告)日：2020-08-18

申请号：CN201480058331.9

申请日：2014-10-13

Applicant: 飞利浦灯具控股公司

Inventor： S.蒯 ,  M.C.贾伊格 ,  W.周

IPC: G01N21/88

Abstract: 提供缺陷检测系统用于样品的表面中的缺陷的检查。使用光源阵列，其具有从不同的方向向样品提供光的不同光源。光照的主方向利用最高强度限定，并且该方向随时间的推移而演变。通过提供变化的定向光照，而不是全面光照，检测缺陷变得更容易。

公开(公告)号：CN106415248A

公开(公告)日：2017-02-15

申请号：CN201480058331.9

申请日：2014-10-13

Applicant: 飞利浦灯具控股公司

Inventor： S.蒯 ,  M.C.贾伊格 ,  W.周

IPC: G01N21/88

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01N21/8803 ,  G01N2021/8809 ,  G01N2201/0633 ,  G01N2201/12 ,  H04N5/225

Abstract: 提供缺陷检测系统用于样品的表面中的缺陷的检查。使用光源阵列，其具有从不同的方向向样品提供光的不同光源。光照的主方向利用最高强度限定，并且该方向随时间的推移而演变。通过提供变化的定向光照，而不是全面光照，检测缺陷变得更容易。