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公开(公告)号：KR1020100003292A
公开(公告)日：2010-01-07
申请号：KR1020097022738
申请日：2008-04-14
Applicant: 가부시키가이샤 아루박
CPC classification number: H01J49/0031
Abstract: A control method of mass spectrometer comprises a step for supplying a current to a cathode electrode of an ion source having the cathode electrode and an anode electrode and ionizing the molecules of gas to be measured, a step for sorting ions generated from the ion source by mass charge ratio, and a step for detecting the ion current value of the sorted ions. When the partial pressure of the gas is measured based on the detection results of ion current value, a cathode current is supplied to the cathode electrode such that an emission current flowing between the cathode electrode and the anode electrode becomes constant. When the partial pressure of the gas is not measured, a constant current having a current value smaller than that of the cathode current at the time of measuring is supplied to the cathode electrode.
Abstract translation: 质谱仪的控制方法包括向具有阴极电极和阳极电极的离子源的阴极电极供给电流并使待测气体分子电离的步骤，用于分离由离子源产生的离子的步骤 质量电荷比，以及用于检测分选离子的离子电流值的步骤。 当基于离子电流值的检测结果测量气体的分压时，阴极电流被提供给阴极电极，使得在阴极电极和阳极电极之间流动的发射电流变得恒定。 当不测量气体的分压时，将具有比测量时的阴极电流的电流值小的电流值的恒定电流供给到阴极电极。
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公开(公告)号：KR101141782B1
公开(公告)日：2012-05-03
申请号：KR1020097024728
申请日：2008-04-14
Applicant: 가부시키가이샤 아루박
CPC classification number: G01N27/62 , G01L21/30 , H01J41/10 , H01J49/0027
Abstract: 이 질량 분석 유닛은 피측정 가스의 질량 전하비별 이온 전류값을 검출하여 분압을 측정하는 질량 분석부를 구비한 질량 분석 유닛으로서, 이 질량 분석 유닛의 특정 부위의 기능을 저하시키는 특정 가스의 질량 전하비의 기록을 미리 유지하는 제어부를 더 구비하고; 상기 질량 분석부에 의해 검출된 상기 특정 가스의 질량 전하비의 이온 전류값이 소정값 이상이 된 경우에 상기 제어부가 상기 특정 부위의 기능 저하를 나타내는 경고 신호를 출력한다.
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公开(公告)号：KR101122305B1
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：KR1020097022738
申请日：2008-04-14
Applicant: 가부시키가이샤 아루박
CPC classification number: H01J49/0031
Abstract: 질량 분석계의 제어 방법은 캐소드 전극 및 애노드 전극을 가진 이온원의 상기 캐소드 전극에 전류를 공급하여 피측정 가스의 분자를 이온화하는 공정과; 상기 이온원에서 생성된 이온을 질량 전하비마다 선별하는 공정과; 선별한 상기 이온의 이온 전류값을 검출하는 공정;을 구비한 질량 분석계의 제어 방법으로서, 상기 이온 전류값의 검출 결과에 기초하여 상기 피측정 가스의 분압을 측정하는 경우에는 상기 캐소드 전극과 상기 애노드 전극 사이를 흐르는 에미션 전류가 일정해지도록 상기 캐소드 전극에 캐소드 전류를 공급하고; 상기 피측정 가스의 분압을 측정하지 않는 경우에는 상기 캐소드 전류보다도 전류값이 작은 정전류를 상기 캐소드 전극에 공급한다.
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公开(公告)号：KR1020100007930A
公开(公告)日：2010-01-22
申请号：KR1020097024728
申请日：2008-04-14
Applicant: 가부시키가이샤 아루박
CPC classification number: G01N27/62 , G01L21/30 , H01J41/10 , H01J49/0027
Abstract: A mass spectrometry unit comprising a mass spectrometry section for measuring the partial pressure by detecting the ion current value for every mass charge ratio of gas to be measured is further provided with a control section for previously holding the record of the mass charge ratio of a specific gas which causes decline of the function at a specific part of the mass spectrometry unit. When the ion current value of mass charge ratio of the specific gas detected at the mass spectrometry section reaches a predetermined value, the control section outputs a signal warning the functional decline at the specific part.
Abstract translation: 包含用于通过检测待测气体的每个质荷比的离子电流值来测量分压的质谱分析单元还设置有控制部分，用于预先保存特定的气体的质量比的记录 导致在质谱分析单元的特定部分功能下降的气体。 当在质谱分析部分检测到的比气体的质量充电比的离子电流值达到预定值时，控制部分输出警告特定部分功能衰减的信号。
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