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公开(公告)号：WO2016178452A1
公开(公告)日：2016-11-10
申请号：PCT/KR2015/005501
申请日：2015-06-02
Applicant: 경희대학교산학협력단
CPC classification number: C23F1/10
Abstract: 귀금속이 아닌 그래핀을 촉매로 사용하여 경제적인 비용 부담을 낮추고, 독성이 높은 강산성의 용액을 사용하지 않아 상대적으로 안전한 그래핀을 촉매로 한 실리콘의 화학적 식각 방법을 제공한다.
Abstract translation: 提供了使用石墨烯作为催化剂的硅的化学蚀刻方法，其降低了由不是贵金属的石墨烯催化剂所使用的经济成本负担，并且相对安全，因为不使用任何高毒性 强酸性溶液。
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