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公开(公告)号：KR1020170086987A
公开(公告)日：2017-07-27
申请号：KR1020160006705
申请日：2016-01-19
Applicant: 경희대학교 산학협력단
IPC: H01L21/02 , H01L21/205 , H05H1/46 , H01J37/32
Abstract: 본발명은초박막배리어및 그제조방법을개시한다. 본발명의실시예에따른초박막배리어는 2층의박막이교대로적층된구조의무기나노라미네이트막을포함하고, 본발명의실시예에따른초박막배리어의제조방법은저주파플라즈마원자층증착장치의챔버내에제1 소스가스를공급하여상기챔버내에탑재된기판상에제1 흡착층을형성하는단계; 상기챔버내에반응가스를공급하고저주파플라즈마를인가하여상기제1 흡착층과반응가스를반응시켜제1 박막을형성하는단계; 상기챔버내에제2 소스가스를공급하여상기제1 박막상에제2 흡착층을형성하는단계; 및상기챔버내에반응가스를공급하고저주파플라즈마를인가하여상기제2 흡착층과반응가스를반응시켜제2 박막을형성하는단계를포함하며, 상기제1 박막및 상기제2 박막은무기나노라미네이트막구조를이루는것을특징으로한다.
Abstract translation: 本发明公开了一种超薄屏障及其制造方法。 在根据本发明的实施例的超薄膜屏障的生产过程包括与所述第二层的薄膜交替无机纳米系列层压薄膜，超薄阻挡在根据本发明的一个实施例的低频等离子体原子层沉积设备的室中的层叠结构 提供第一源气体以在安装在所述室中的衬底上形成第一吸附层; 向反应室中供应反应气体并施加低频等离子体以使第一吸附层与反应气体反应以形成第一薄膜; 向腔室中提供第二源气体以在第一薄膜上形成第二吸附层; 和供给反应气体，并通过低频率等离子体是第二吸附层的反应和反应气体到腔室中，并形成一个第二薄膜，所述第一薄膜和所述第二薄膜是无机纳米叠层薄膜 其特征在于，形成所述结构。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020160072754A
公开(公告)日：2016-06-23
申请号：KR1020150006781
申请日：2015-01-14
Applicant: 경희대학교 산학협력단
IPC: C08J5/18 , C08J3/20 , C08K3/04 , C08L101/00 , C08J7/04
CPC classification number: C08J5/18 , C08J3/20 , C08J7/04 , C08K3/04 , C08K2201/011 , C08L101/00 , C08L2201/02
Abstract: 본발명의일 측에따라제조된고분자나노복합체를이용한방열시트는우수한열전도특성을나타내어전자기기내부에서발생되는열을효율적으로외부로방출할수 있다. 이로인해전자기기의수명을연장할수 있으며, 전자기기의효율을향상시킬수 있다. 또한, 본발명의일 측에따른고분자나노복합체를이용한방열시트제조방법은그래핀옥사이드를사용함으로써열전도특성이우수한방열시트를프리스탠딩방열시트로제공할수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及使用聚合物纳米复合材料的散热片及其制造方法。 使用聚合物纳米复合材料的散热片可以通过显示优异的导热性而有效地将从电子设备内部产生的热量发射到外部。 可延长电子设备的使用寿命，提高电子设备的效率。 此外，使用聚合物纳米复合材料的散热片的制造方法可以通过使用石墨烯氧化物来提供具有优异的导热性能的散热片作为独立散热片。
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公开(公告)号：KR101656600B1
公开(公告)日：2016-09-12
申请号：KR1020150006781
申请日：2015-01-14
Applicant: 경희대학교 산학협력단
IPC: C08J5/18 , C08J3/20 , C08K3/04 , C08L101/00 , C08J7/04
Abstract: 본발명의일 측에따라제조된고분자나노복합체를이용한방열시트는우수한열전도특성을나타내어전자기기내부에서발생되는열을효율적으로외부로방출할수 있다. 이로인해전자기기의수명을연장할수 있으며, 전자기기의효율을향상시킬수 있다. 또한, 본발명의일 측에따른고분자나노복합체를이용한방열시트제조방법은그래핀옥사이드를사용함으로써열전도특성이우수한방열시트를프리스탠딩방열시트로제공할수 있다.
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公开(公告)号：KR101720895B1
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：KR1020160007280
申请日：2016-01-20
Applicant: 경희대학교 산학협력단
IPC: H01L33/02 , H01L21/027 , H01L21/02 , G03F7/00
Abstract: 본발명은나노임프린팅방법을개시한다. 본발명의실시예에따른나노임프린팅방법은기판의표면을플라즈마처리하는단계; 상기플라즈마처리된기판상에폴리이미드및 실란화합물을포함하는접착프라이머층을형성하는단계; 상기접착프라이머층상에폴리이미드를포함하는레지스트층을형성하는단계; 및상기레지스트층을나노임프린트몰드를이용하여나노임프린트층으로형성하는단계를포함한다. 본발명의실시예에따르면기판과레지스트층사이에접착프라이머층을형성함으로써나노임프린트몰드로부터레지스트층을용이하게분리할수 있다.
Abstract translation: 本发明公开了一种纳米压印方法。 根据本发明实施例的纳米压印方法包括：等离子体处理基板的表面; 在经等离子体处理的基材上形成包含聚酰亚胺和硅烷化合物的粘合底层; 在粘合底层上形成含有聚酰亚胺的抗蚀剂层; 并且使用纳米压印模具将抗蚀剂层形成为纳米压印层。 根据本发明的实施方式，通过在基板和抗蚀剂层之间形成粘合剂底涂层，可以容易地将抗蚀剂层从纳米压印模具分离。
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公开(公告)号：KR101741354B1
公开(公告)日：2017-05-30
申请号：KR1020160006706
申请日：2016-01-19
Applicant: 경희대학교 산학협력단
Abstract: 본발명은플렉서블필름의제조방법을개시한다. 본발명의실시예에따른플렉서블필름의제조방법은유리기판상에그래핀층을형성하는단계; 상기그래핀층상에실란계물질이포함된폴리이미드층을형성하는단계; 및상기그래핀층및 상기유리기판으로부터상기폴리이미드층을분리하는단계를포함한다. 본발명의실시예에따르면실란계물질이포함된폴리이미드층과유리기판사이에그래핀층을삽입형성함으로써유리기판으로부터실란계물질이포함된폴리이미드층을용이하게분리할수 있다.
Abstract translation: 本发明公开了一种制造柔性膜的方法。 根据本发明实施例的制造柔性膜的方法包括：在玻璃基板上形成石墨烯层; 在石墨烯层上形成包含硅烷基材料的聚酰亚胺层; 并将聚酰亚胺层与石墨烯层和玻璃基板分离。 根据本发明的实施例，通过在含有硅烷基材料的聚酰亚胺层和玻璃基板之间插入石墨烯层，可以容易地将包含硅烷基材料的聚酰亚胺层与玻璃基板分离。
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公开(公告)号：KR101622508B1
公开(公告)日：2016-05-19
申请号：KR1020150007844
申请日：2015-01-16
Applicant: 경희대학교 산학협력단
Abstract: 본발명의일 측에따라제조된고분자나노복합층을포함하는복합시트는우수한열전도특성을나타내어전자기기내부에서발생되는열을효율적으로외부로방출할수 있다. 이로인해전자기기의수명을연장할수 있으며, 전자기기의효율을향상시킬수 있다. 또한, 본발명의일 측에따라제조된고분자나노복합층을포함하는복합시트는클레이(clay)를포함하여외부로부터의수분이투과되는것을방지할수 있으며, 이로인해전자기기의수명의연장시킬수 있다. 나아가, 본발명의복합시트는그래핀옥사이드와클레이를모두포함하면서도광투과율및 헤이즈(haze) 등의광학적물성도크게저하되지않기때문에투명성이필요한분야에서도다양하게적용될수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及包含聚合物纳米复合材料层的复合片及其制造方法。 本发明的方法包括以下步骤：制备粘土溶液和氧化石墨烯溶液; 通过将粘土溶液和氧化石墨烯溶液与聚合物粘合剂混合来产生混合物; 通过向混合物中加入氟基添加剂和消泡剂来生产涂布液; 以及通过将涂布液施加到基底上而形成聚合物纳米复合层。 包含根据本发明的一个方面制备的聚合物纳米复合材料层的复合片材具有优异的导热特性，并且能够有效地排放到电子设备中产生的外部热量。 因此，可以延长电子设备的寿命，并且可以提高电子设备的效率。 此外，包含根据本发明的一个方面制备的聚合物纳米复合材料层的复合片材能够通过含有粘土来防止水分从外部渗透，因此能够延长电子设备的使用寿命。 此外，本发明的复合片材既含有氧化石墨烯和粘土也不受光透射率和雾度等光学性能的显着下降，因此可以以各种方式应用于需要透明性的场。
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