변위 확대 기구를 사용한 초정밀 가공용 장행정 공구대
    1.
    发明授权
    변위 확대 기구를 사용한 초정밀 가공용 장행정 공구대 有权
    使用位移扩展工具进行超精密加工的长冲程仪

    公开(公告)号:KR100903199B1

    公开(公告)日:2009-06-18

    申请号:KR1020070088468

    申请日:2007-08-31

    Abstract: 본 발명의 변위 확대 기구를 사용한 초정밀 가공용 장행정 공구대는 압전 액츄에이터(20)와, 상기 압전 액츄에이터(20)의 작동에 의해 직선이동되는 이송부(24)와, 상기 이송부(24)의 직선이동시 상기 압전 액츄에이터(20)와 이송부(24)를 연결하도록 상기 압전 액츄에이터(20)와 이송부(24)의 연결부에 형성된 탄성 힌지(26)와, 상기 압전 액츄에이터(20)와 이송부(24) 사이에 피봇점(32)을 중심으로 각각 회전가능하게 개재된 한쌍의 레버(30)와, 상기 이송부(24)에 예압을 가하도록 설치되는 한쌍의 스프링(40)을 포함한다.
    본 발명에 의하면, 지렛대의 원리가 적용된 탄성 힌지의 변위 확대 기구가 사용됨에 따라 압전 액츄에이터의 기본 변위를 증폭시키게 되며, 지렛대의 회전축과 초기 변위 확대 부위가 한 평면에 위치함으로서, 변위의 확대 과정에서 발생가능한 변위 손실이 최소화되며, 병렬 형태의 탄성 힌지 가이드에 의해 공구의 직선 이송이 가능한 효과를 가진다.

    변위 확대 기구를 사용한 초정밀 가공용 장행정 공구대
    2.
    发明公开
    변위 확대 기구를 사용한 초정밀 가공용 장행정 공구대 有权
    使用位移扩展工具进行超精密加工的长冲程仪

    公开(公告)号:KR1020090022824A

    公开(公告)日:2009-03-04

    申请号:KR1020070088468

    申请日:2007-08-31

    Abstract: A long stroke instrument for super precision machining using a displacement enlarging tool is provided to minimize the loss of displacement in the course of enlarging a process by locating an axis of rotation of a lever and an initial displacement enlarging part on one plane. A long stroke instrument for super precision machining using a displacement enlarging tool comprises a piezoelectric actuator(20), a movable part moving straightforward by the activation of the piezoelectric actuator; an elastic hinge(26) formed in a joining part in order to connect the piezoelectric actuator and the movable part when the movable part moves straightforward; a pair of levers(30) interposed between the piezoelectric actuator and the movable part in order to rotate around the pivot point; and a pair of springs applying pre-load to the movable part.

    Abstract translation: 提供一种用于使用位移放大工具进行超精密加工的长行程仪器,以通过将杆的旋转轴线和初始位移放大部件放置在一个平面上来最大限度地减小在扩大过程中的位移损失。 一种用于使用位移放大工具进行超精密加工的长行程仪器包括压电致动器(20),通过激活压电致动器直接移动的可移动部件; 形成在接合部分中的弹性铰链(26),以便当可移动部件直接移动时连接压电致动器和可移动部件; 插入在所述压电致动器和所述可动部之间的一对杆(30),以围绕所述枢转点旋转; 以及对可动部件施加预加载的一对弹簧。

    레이저 가공 시편 틸트 보상 장치
    3.
    发明授权
    레이저 가공 시편 틸트 보상 장치 有权
    레이저가공시편틸트보상장치

    公开(公告)号:KR100927639B1

    公开(公告)日:2009-11-20

    申请号:KR1020070088469

    申请日:2007-08-31

    Abstract: A laser processing work-piece tilt compensation device is provided to accurately grasp the slope of work-piece by focusing laser beam on the work-piece. A laser processing work-piece tilt compensation device comprises a laser beam source(10) scanning the laser beam to a work-piece(2); a first focusing lens(20) focusing the scanned laser beam from the laser beam source on the work-piece; a PSD sensor(30) detecting the slope of work-piece with the laser beam reflected from the work-piece; a beam splitter(40) converting a route of the laser beam reflected from the work-piece into the PSD sensor; and a second focusing lens(50) focusing the reflection laser beam, in which route is transformed, on the PSD sensor.

    Abstract translation: 提供激光加工工件倾斜补偿装置,以通过将激光束聚焦在工件上来准确地抓住工件的倾斜度。 一种激光加工工件倾斜补偿装置,包括:激光束源(10),将激光束扫描到工件(2); 第一聚焦透镜(20),将来自激光束源的扫描激光束聚焦在工件上; PSD传感器(30),其利用从工件反射的激光束来检测工件的倾斜度; 分束器(40),将从工件反射的激光束的路线转换成PSD传感器; 和第二聚焦透镜(50),其在PSD传感器上聚焦反射激光束,其中路线被变换。

    레이저 가공 시편 틸트 보상 장치
    4.
    发明公开
    레이저 가공 시편 틸트 보상 장치 有权
    用于激光加工工具的倾斜补偿装置

    公开(公告)号:KR1020090022825A

    公开(公告)日:2009-03-04

    申请号:KR1020070088469

    申请日:2007-08-31

    Abstract: A laser processing work-piece tilt compensation device is provided to accurately grasp the slope of work-piece by focusing laser beam on the work-piece. A laser processing work-piece tilt compensation device comprises a laser beam source(10) scanning the laser beam to a work-piece(2); a first focusing lens(20) focusing the scanned laser beam from the laser beam source on the work-piece; a PSD sensor(30) detecting the slope of work-piece with the laser beam reflected from the work-piece; a beam splitter(40) converting a route of the laser beam reflected from the work-piece into the PSD sensor; and a second focusing lens(50) focusing the reflection laser beam, in which route is transformed, on the PSD sensor.

    Abstract translation: 提供激光加工工件倾斜补偿装置,通过将激光束聚焦在工件上,精确地掌握工件的斜率。 激光加工工件倾斜补偿装置包括将激光束扫描到工件(2)的激光束源(10); 将来自激光束源的扫描激光束聚焦在工件上的第一聚焦透镜(20) PSD传感器(30),用从工件反射的激光束检测工件的斜率; 将从工件反射的激光束的路线转换成PSD传感器的分束器(40) 以及第二聚焦透镜(50),其中路径被变换的反射激光束聚焦在PSD传感器上。

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