公开(公告)号：KR1020030094938A

公开(公告)日：2003-12-18

申请号：KR1020020032298

申请日：2002-06-10

Applicant: 고등기술연구원연구조합

Inventor： 김호상 ,  이종호

IPC: G05B19/18

CPC classification number: G01B7/012 ,  B23Q17/20

Abstract: PURPOSE: A contact type probe device of a turning system for ultra-precision machining is provided to enhance the accuracy by compensating periodically errors of a numerical control machine. CONSTITUTION: A contact type probe device of a turning system for ultra-precision machining includes a probe housing(110), a pressure control valve(120), a movable member(130), a stator(140), a contact ball(150), and a static capacity sensor(160). The probe housing(110) includes an air control hole for controlling the pressure of air and an exhaust hole for exhausting the air. The pressure control valve(120) is used for controlling the pressure of air by opening or shutting the air exhaust hole. The movable member(130) is installed at the inside of a lower side of the probe housing(110). The stator(140) is installed on an outer circumference of the movable member(130) to form an air bearing. The contact ball(150) is installed at a lower end of the movable member(130). The static capacity sensor(160) is installed at an upper portion of the inside of the probe housing(110).

Abstract translation: 目的：提供用于超精密加工的车削系统的接触式探头装置，通过补偿数控机床的周期性误差来提高精度。 构成：用于超精密加工的转动系统的接触式探针装置包括探针壳体（110），压力控制阀（120），可动构件（130），定子（140），接触球（150） ）和静态容量传感器（160）。 探针壳体（110）包括用于控制空气压力的空气控制孔和用于排出空气的排气孔。 压力控制阀（120）用于通过打开或关闭排气孔来控制空气的压力。 可移动构件（130）安装在探针壳体（110）的下侧的内侧。 定子（140）安装在可动件（130）的外圆周上以形成空气轴承。 接触球（150）安装在可动件（130）的下端。 静电容量传感器160被安装在探针壳体110的内部的上部。