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公开(公告)号：KR100431889B1
公开(公告)日：2004-05-17
申请号：KR1020010040031
申请日：2001-07-05
Applicant: 고등기술연구원연구조합 , 주식회사 우광유니텍
IPC: H01L21/3065
Abstract: PURPOSE: A method and an apparatus for performing a dry cleaning/ashing process are provided to remove effectively organic materials from a surface of a substrate by promoting generation of oxygen radicals and restraining generation of ozone. CONSTITUTION: A discharge tube(110) is formed with an earth electrode(111a) including a dielectric(112), a working electrode(111b) including a heating plate(113) a nozzle(114) for injecting gases, a pressure gauge(118), and a gas exhaust valve(119). A substrate(117) is loaded on the heating plate(113). The electric power is applied between the earth electrode(111a) and the working electrode(111b) by a power supply portion(120). A reactive gas supply portion is formed with a reactive gas tank(131), a reactive gas valve(132), a flow rate controller(133), a mixing valve(146), a valve(147), and a connection tube. A carrier gas supply portion is formed with a carrier gas tank(141), a carrier gas valve(142), a flow rate controller(143), a mixing valve(146), a valve(147), and a connecting tube. An additional gas supply portion is formed with a barrel(150) for storing sources(152) and a connecting tube. A thermal sensor(153) is installed at the barrel(150). The first heating portion(151) is installed at the barrel(150) in order to heat the sources(152). The second heating portion(156) is used for heating the connecting tube.
Abstract translation: 目的：提供一种用于执行干洗/灰化处理的方法和装置，以通过促进氧自由基的产生和抑制臭氧的产生而有效地从基底表面去除有机材料。 发明内容本发明的目的在于提供一种放电管（110），其具有包含电介质（112）的接地电极（111a），包括加热板（113）的工作电极（111b），用于喷射气体的喷嘴（114） 118）和排气阀（119）。 衬底（117）装载在加热板（113）上。 通过电源部分（120）将电力施加在接地电极（111a）和工作电极（111b）之间。 反应气体供应部分由反应气体罐（131），反应气体阀（132），流量控制器（133），混合阀（146），阀（147）和连接管形成。 载气供给部由载气罐141，载气阀142，流量控制器143，混合阀146，阀147及连接管构成。 附加的气体供应部分形成有用于存储源（152）和连接管的筒（150）。 热传感器（153）安装在筒（150）处。 第一加热部分（151）安装在筒（150）处以加热源（152）。 第二加热部分（156）用于加热连接管。
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公开(公告)号：KR100339812B1
公开(公告)日：2002-06-07
申请号：KR1019990048355
申请日：1999-11-03
Applicant: 고등기술연구원연구조합
Abstract: 본발명에서는피처리물의온도를정확하게실측할수 있는직접온도측정장치를제공하는것이목적이며, 본발명은질화로의내부에서플라즈마를이용하여피처리물에질화층을형성시킬때 피처리물의온도를측정하는장치에서, 피처리물에직접접촉되는열전대, 이열전대와연결되는광원과광검출자로구성된옵토커플러, 이옵토커플러에연결되어상기광원과광검출자에공급되는전원을각각직류로공급하고, 공급된직류전압은전원분리를위해서스위칭되어교류로변환후 변압기를거치면서전원분리되며, 변환된교류를다시직류로변환시키는직류/직류변환기모듈및 직류/직류변환기모듈에연결되는직류전원기로이루어진다. 이에따라열전대, 옵토커플러, 직류/직류변환기모듈및 직류전원기를이용하여정확하게피처리물의온도를측정함으로써피처리물에형성되는질화를정확하게예측할수 있게되고제어도용이하게실시할수 있다.
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公开(公告)号：KR100268033B1
公开(公告)日：2000-10-16
申请号：KR1019970078364
申请日：1997-12-30
Applicant: 고등기술연구원연구조합
IPC: G11B7/1378 , G11B7/09
Abstract: PURPOSE: An optical pickup device is provided to compensate an off-axis aberration generated by a descending between a central axis of SIL(Solid Immersion Lens) and an optical axis in the optical pickup device. CONSTITUTION: An SIL(100) comprises a refraction surface(110) facing a recording medium(20), and a grating(120) formed on a hemispherical surface facing the refraction surface. Moreover, first and second split beam detectors(200,300) are stored in the refraction surface of the SIL. The grating refracts optical beam from a light source toward the recording medium. Then, the beam is diffracted to the optical detectors to form a refraction optical beam. Herein, the SIL grating is formed through etching by using a material having a similar refraction ratio with the refraction ratio of the material composing the SIL.
Abstract translation: 目的：提供一种光学拾取装置，以补偿由光学拾取装置中的SIL（固体浸没透镜）的中心轴与光轴之间的下降产生的离轴像差。 构成：SIL（100）包括面向记录介质（20）的折射表面（110）和形成在面向折射表面的半球形表面上的光栅（120）。 此外，第一和第二分束检测器（200,300）存储在SIL的折射表面中。 光栅将来自光源的光束折射到记录介质。 然后，将光束衍射到光学检测器以形成折射光束。 这里，通过使用具有与构成SIL的材料的折射率相似的折射率的材料通过蚀刻形成SIL光栅。
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公开(公告)号：KR100268032B1
公开(公告)日：2000-10-16
申请号：KR1019970078363
申请日：1997-12-30
Applicant: 고등기술연구원연구조합
IPC: G11B7/1378
Abstract: PURPOSE: An optical pickup device is provided to compensate for a spherical aberration caused by an error in a disk thickness. CONSTITUTION: A beam splitter(14) separates paths of optical beams inputted from a light source(10) and reflected on a recording medium(20). An object lens concentrates the optical beam on the recording medium. A half-mirror separates light flux of the separated optical beam. A first filter(110) selectively passes optical beam of a central portion of the light flux. A first detect unit(130) detects optical amount of the optical beam from the first filter. A second filter(210) selectively passes the optical beam of a surrounding portion of the light flux. A second detect unit(230) detects optical amount of the optical beam from the second filter. A spherical aberration compensating lens(350) of a disk shape includes a lower surface parallel to the surface of the recording medium and a tape upper surface. A rotating unit rotates the spherical aberration compensating lens for identifying optical amounts detected in the detect units.
Abstract translation: 目的：提供一种光学拾取装置来补偿由盘厚度误差引起的球面像差。 构成：分束器（14）分离从光源（10）输入并在记录介质（20）上反射的光束的路径。 物镜将光束聚焦在记录介质上。 半透镜分离分离光束的光通量。 第一滤光器（110）选择性地通过光束的中心部分的光束。 第一检测单元（130）检测来自第一滤波器的光束的光量。 第二过滤器（210）选择性地通过光通量的周围部分的光束。 第二检测单元（230）检测来自第二滤波器的光束的光量。 圆盘形球面像差补偿透镜（350）包括平行于记录介质表面的下表面和带上表面。 旋转单元旋转球面像差补偿透镜，用于识别在检测单元中检测的光学量。
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公开(公告)号：KR2020000013594U
公开(公告)日：2000-07-15
申请号：KR2019980026808
申请日：1998-12-28
Applicant: 고등기술연구원연구조합
Abstract: 본 고안은 질소 플라즈마(plasma)를 사용하여 철강재를 질화처리하는 이온질화장치의 아크방지 및 열차단장치에 관한 것으로서, 더욱 자세하게는 시료의 표면에 손상을 입히는 음극주위의 아크를 방지하도록 구조를 개선한 음극장치에 관한 것이다.
본 고안의 이온질화장치의 아크방지 및 열차단장치에 의하면, 시료대를 지지하는 지지대가 외부에 피복된 절연부와, 진공조 내부 부분에 일정간격을 두고 수평으로 적층시킨 다수개의 절연판을 구비하고 있으므로, 진공조내부에서 스퍼터링(sputtering)된 입자들이 시료대나 지지대에 들러붙어서 발생하는 아크로 인한 국부방전을 방지할 수 있으며, 아크발생에 의하여 전원공급장치에 과전류가 흐르게 되는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 이온질화장치가 정상적으로 가동될 수 있는 일정온도까지 상승하는 승온시간을 단축할 수 있으며, 시료대 내부에 열선을 설치함으로 인하여 시료대의 제작과 전기회로구성의 어려움을 해결함으로써 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100424417B1
公开(公告)日：2004-03-24
申请号：KR1020010034108
申请日：2001-06-16
Applicant: 고등기술연구원연구조합
IPC: D06M10/00
Abstract: PURPOSE: An apparatus and a method for deep coloring fibers by forming a polymerization on the surface of fibers having a relatively high refractive index through a plasma discharge at atmospheric pressure are provided. Therefore, this method permits deep coloring and mass production without changing a texture and reduces treatment cost of fibers and environmental pollution. CONSTITUTION: The fiber deep coloring apparatus comprises: a fiber transfer means(10); a reacting means(20) for forming a polymerization membrane at atmospheric pressure; and a gas supply means(30) for mixing inactive gas inducing plasma charge in the reacting means and a deep coloring source for forming a polymerization membrane. The fiber transfer means comprises: a supply roller(11) for supplying fabrics to the reactive means; a winding roller(12) for winding the deep colored fabrics; a transfer roller(13) for transferring fabrics between the supply roller and winding roller; and a tension control roller(15). The reacting means comprises a reactor(21) and a plurality of electrodes(22) for generating plasma discharge.
Abstract translation: 目的：提供了一种通过在大气压下通过等离子体放电在具有相对高折射率的纤维的表面上形成聚合而使纤维深染的设备和方法。 因此，该方法允许深色和大量生产而不改变质地并降低纤维的处理成本和环境污染。 构成：纤维深染装置包括：纤维转移装置（10）; 在大气压下形成聚合膜的反应装置（20） 以及气体供应装置（30），用于在反应装置中混合诱导等离子体电荷的惰性气体和用于形成聚合膜的深色源。 纤维传送装置包括：供应辊（11），用于将织物供应到反应装置; 用于卷绕深色织物的卷绕辊（12） 转印辊（13），用于在供应辊和卷绕辊之间转移织物; 和张力控制辊（15）。 反应装置包括反应器（21）和多个用于产生等离子体放电的电极（22）。
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公开(公告)号：KR200242910Y1
公开(公告)日：2001-11-15
申请号：KR2019980028589
申请日：1998-12-31
Applicant: 고등기술연구원연구조합
IPC: C23C8/24
Abstract: 본 고안은 질소 플라즈마(plasma)를 사용하여 철강재를 질화처리하는 장치에 관한 것으로서, 더욱 자세하게는 고주파유도방전에 의해 발생하는 플라즈마를 이용하여 코일스프링 형상의 철강재를 질화처리하는 고주파유도방전 플라즈마를 이용한 질화처리장치에 관한 것이다.
본 고안의 고주파유도방전 플라즈마를 이용한 질화처리장치에 의하면, 고주파유도방전시 필요한 안테나를 처리하고자 하는 코일스프링으로 대체하여 플라즈마 발생부와 표면처리부를 같은 위치에 놓이게 하여 유도방전 플라즈마의 특징인 고밀도 플라즈마로부터 공정의 수율을 높일수 있고, 고주파전극에 직류 음전압을 인가함으로써 시료에 입사하는 질소이온의 충돌에너지를 조절하여 질화처리를 제어할 수 있으며, 질화챔버주위에 전자석을 설치하여 질화챔버에 자속을 인가함으로써 자장의 플라즈마 구속효과와 플라즈마파동의 일종인 헬리콘파동에 의한 플라즈마 가열효과에 의해 플라즈마의 밀도를 증가시킬 수 있어서 질화공정의 수율을 증대시킬 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR2020000015197U
公开(公告)日：2000-07-25
申请号：KR2019980028589
申请日：1998-12-31
Applicant: 고등기술연구원연구조합
IPC: C23C8/24
Abstract: 본 고안은 질소 플라즈마(plasma)를 사용하여 철강재를 질화처리하는 장치에 관한 것으로서, 더욱 자세하게는 고주파유도방전에 의해 발생하는 플라즈마를 이용하여 코일스프링 형상의 철강재를 질화처리하는 고주파유도방전 플라즈마를 이용한 질화처리장치에 관한 것이다.
본 고안의 고주파유도방전 플라즈마를 이용한 질화처리장치에 의하면, 고주파유도방전시 필요한 안테나를 처리하고자 하는 코일스프링으로 대체하여 플라즈마 발생부와 표면처리부를 같은 위치에 놓이게 하여 유도방전 플라즈마의 특징인 고밀도 플라즈마로부터 공정의 수율을 높일수 있고, 고주파전극에 직류 음전압을 인가함으로써 시료에 입사하는 질소이온의 충돌에너지를 조절하여 질화처리를 제어할 수 있으며, 질화챔버주위에 전자석을 설치하여 질화챔버에 자속을 인가함으로써 자장의 플라즈마 구속효과와 플라즈마파동의 일종인 헬리콘파동에 의한 플라즈마 가열효과에 의해 플라즈마의 밀도를 증가시킬 수 있어서 질화공정의 수율을 증대시킬 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR100258414B1
公开(公告)日：2000-07-01
申请号：KR1019970074293
申请日：1997-12-26
Applicant: 고등기술연구원연구조합
IPC: G11B7/08
Abstract: PURPOSE: A servo system of a light pickup unit having a disturbance forecasting device is provided to remove disturbance components as an eccentricity and a wobble of a disk. CONSTITUTION: When information from a signal surface of a disk being emitted by a laser beam corrected by an object lens is recorded and reproduced, an actuator(600) drives and controls the object lens in the upper/lower and left/right directions for controlling a focusing and a tracking in accordance with an actuator control signal offered by a control unit(300). At this time, a distance signal component(y(t)) of the object lens and the disk controlled by the actuator(600) and an error signal component(x(t)) are created, and the components are provided to the first subtracter(200) as an input through a line(620) and an input terminal(100). The first subtracter(200) provides a distance signal, an error signal from the y(t) and a difference signal subtracting the x(t) to the control unit(300) and the first adder(700). The control unit(300) capable of being embodied by a lead-lag compensator creates an actuator control signal a size and a phase thereof are compensated as a difference signal subtracted in the first subtracter(200). A disturbance component(d(t)) to be generated is estimated and the disturbance component(d(t)) is added to the actuator control signal compensated by the control unit(300), and the added value is offered to the actuator(600). An actuator control signal(u(t)) outputted from the control unit(300) is offered to the first adder(700) as the second input, and the control signal(u(t)) is added to the difference signal outputted from the first subtracter(200), and the added value is offered to a forecasting device(800). The forecasting device(800) forecasts a disturbance component to be inputted in the actuator(600) using an added signal of a difference signal component of the first subtracter(200) and the compensated actuator control signal of the control unit(300).
Abstract translation: 目的：提供具有干扰预测装置的光拾取单元的伺服系统，以便将干扰分量作为偏心度和盘的摆动来去除。 构成：当记录和再现由被物镜校正的激光束发射的盘的信号表面的信息时，致动器（600）驱动并控制物镜在上/下和左/右方向上的控制 根据由控制单元（300）提供的致动器控制信号进行聚焦和跟踪。 此时，产生物镜和由致动器（600）控制的盘的距离信号分量（y（t））和误差信号分量（x（t）），并且将这些分量提供给第一 减法器（200）作为通过线路（620）和输入端子（100）的输入。 第一减法器（200）提供距离信号，来自y（t）的误差信号和减去x（t）的差分信号到控制单元（300）和第一加法器（700）。 能够由超前滞后补偿器实现的控制单元（300）产生致动器控制信号，其尺寸和相位被补偿为在第一减法器（200）中减去的差分信号。 估计要产生的干扰分量（d（t）），并且将扰动分量（d（t））加到由控制单元（300）补偿的致动器控制信号中，并且将附加值提供给致动器 600）。 从控制单元（300）输出的致动器控制信号（u（t））作为第二输入被提供给第一加法器（700），并且控制信号（u（t））被加到从 第一减法器（200），并将附加值提供给预测装置（800）。 预测装置（800）使用第一减法器（200）的差分信号分量和控制单元（300）的经补偿的致动器控制信号的相加信号来预测要在致动器（600）中输入的干扰分量。
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公开(公告)号：KR1019990058277A
公开(公告)日：1999-07-15
申请号：KR1019970078368
申请日：1997-12-30
Applicant: 고등기술연구원연구조합
IPC: G11B7/1372 , G11B7/1353
Abstract: 본 발명은 기록 매체에 기록된 정보를 판독하는 광 픽업 장치를 초소형으로 구성한 것에 관한 것이다. 이를 위하여 본 발명은 광빔에 투명한 기판상에 광원과 광 검출기를 장착하고, 상기 광원과 광 검출기를 엔벨로프 형태로 에워싸고 있는 렌즈를 포함한다. 상기 렌즈는 상기 기판과 접하는 굴절면과 상기 굴절면과 대향하는 렌즈 표면상에 형성되어 상기 광원으로부터 방사된 광빔을 상기 기록 매체로 반사 및 회절시키고, 상기 기록 매체로부터 반사된 빔을 상기 광 검출기로 반사 및 회절시키는 반사면 및 회절면의 그레이팅(grating) 구조를 가지는 것을 특징으로 한다.
그러므로, 본 발명에 따라서 구성된 광 픽업 장치는 전형적인 광 픽업 장치에 비하여 간단하고 극히 작은 소형화를 이룰수 있으며, 광 기억 장치의 정보 전송 속도를 증가시킬 수 있다.
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