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公开(公告)号：KR1020060116930A
公开(公告)日：2006-11-16
申请号：KR1020050039545
申请日：2005-05-12
Applicant: 고려대학교 산학협력단
CPC classification number: G01K7/02 , H01L21/02532 , H01L21/0254 , H01L31/09
Abstract: A thermopile sensor and a method for using the same are provided to drastically reduce the size of an element and improve the efficiency of manufacturing processes. A thermopile sensor includes a substrate, a diaphragm film, a plurality of thermocouples(4), and a black body. The diaphragm film of a single layer is formed on the substrate. A plurality of thermocouples is formed at a predetermined region of the diaphragm film to detect a temperature, and has a micro-bridge structure with an isotropic cavity(13) at the lower part. And, an insulation film is formed at the upper part of the thermocouples.
Abstract translation: 提供了一种热电堆传感器及其使用方法，以大大减小元件的尺寸并提高制造工艺的效率。 热电堆传感器包括基板，隔膜膜，多个热电偶（4）和黑体。 在基板上形成单层膜片。 多个热电偶形成在膜片的预定区域以检测温度，并且在下部具有具有各向同性腔（13）的微桥结构。 并且，在热电偶的上部形成绝缘膜。
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公开(公告)号：KR100894500B1
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：KR1020050039545
申请日：2005-05-12
Applicant: 고려대학교 산학협력단
Abstract: 써모파일 센서 및 그 제조방법이 제공된다.
본 발명에 따른 써모파일 센서는 기판(1); 상기 기판위에 형성되어 있는 단일층의 다이아프레임 막(10); 상기 다이아프레임 막(10) 상의 소정영역에 형성되어 온도를 감지하며, 하부에는 등방성 동공(13)이 형성되어 마이크로 브릿지 구조를 가지는 복수의 열전쌍(4); 상기 열전쌍(4) 상부에 형성되어 있는 절연막(5); 및 흑체(6)로 구성되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 써모파일 센서는 제조공정효율이 높고, 소자의 크기를 대폭 감소시킬 수 있으며, 감도 및 출력이 우수하다는 장점이 있고, 본 발명에 따른 써모파일 센서의 제조방법은 공정수가 대폭 감소되기 때문에 제조공정효율이 우수하고 제조단가를 절감시킬 수 있다.
써모파일 센서
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