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公开(公告)号：KR101568101B1
公开(公告)日：2015-11-12
申请号：KR1020150009444
申请日：2015-01-20
Applicant: 고려대학교 산학협력단
CPC classification number: G01L9/0051 , G01L7/08
Abstract: 본발명은스트레인게이지모듈및 그제종방법에관한것이다. 본발명에따른스트레인게이지모듈은일측에압력도입부가형성된다이어프램과, 상기다이어프램의타측에절연성접착제를통해접합되는적어도하나의스트레인게이지칩을포함하며; 상기스트레인게이지칩은제1 웨이퍼층과, 일측이상기절연성접착제를통해상기다이어프램의타측에접합되고, 타측이상기제1 웨이퍼층과접합되며, 상기절연성접착제보다절연파괴전압이높은재질로마련되는제2 웨이퍼층과, 상기제1 웨이퍼층의상기제2 웨이퍼층의반대측표면에형성되는스트레인게이지를포함하는것을특징으로한다. 이에따라, 스트레인게이지의감도저하를최소화하면서도높은절연파괴전압에서도견딜수 있고, 접합후에도스트레스로인한파손을방지하고, 글라스프릿의두께를증가시켜면서발생했던종래기술들의문제점이원천적으로제거될수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种应变计模块及其制造方法。 根据本发明的应变计组件包括：膜片，其一侧形成有压力引入单元; 以及使用绝缘粘合剂结合到隔膜的另一侧的至少一个应变计芯片。 应变片芯片包括：第一晶片层; 第二晶片层，其由具有比所述绝缘粘合剂更高的击穿电压的材料形成，所述绝缘粘合剂的一侧使用所述绝缘粘合剂结合到所述隔膜的另一侧，并且另一侧接合到所述第一晶片层; 以及形成在与第二晶片层相对的第一晶片层的表面上的应变计。 因此，应变仪的灵敏度降低最小化; 可以承受高的击穿电压; 阻止接合后的应力损伤; 并且可以完全消除由增加玻璃料的厚度引起的常规技术的问题。
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公开(公告)号：KR101387236B1
公开(公告)日：2014-04-25
申请号：KR1020120086541
申请日：2012-08-08
Applicant: 고려대학교 산학협력단
IPC: G01B7/16
Abstract: 스트레인 게이지가 개시된다. 스트레인 게이지는 절연 기판, 제1 전극 패드, 제2 전극 패드 및 저항체를 구비한다. 절연 기판은 유연성을 갖는다. 제1 및 제2 전극 패드는 절연 기판 상에 형성되고 서로 이격된다. 저항체는 제1 전극 패드와 전기적으로 연결된 제1 단부 및 제2 전극 패드와 전기적으로 연결된 제2 단부를 구비하고, 복수의 절곡부를 가지며, 랜덤하게 배향된 탄소나노튜브의 네트워크로 이루어진다. 이러한 스트레인 게이지는 현저하게 향상된 게이지율을 가질 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020080009176A
公开(公告)日：2008-01-25
申请号：KR1020060068799
申请日：2006-07-22
Applicant: 고려대학교 산학협력단
IPC: G01N33/53 , G01N33/50 , G01N33/554 , G01N33/544
Abstract: A bio-sensor is provided to significantly improve the sensitivity of a working electrode regarding a material to be detected even though it is prepared by using a screen printing method and maximize the activity of an enzyme oxidizing the material to be detected. An electrochemical bio-sensor comprises a substrate(100); a detecting portion(110) including a working electrode(111) in which an enzymatic reaction occurs and a relative electrode(112) for detecting the difference of an electrical output between the working electrode and the relative electrode; a connecting portion(120) which transmits an electrical signal from the detecting portion; and an insulating portion(130) which electrically insulates the detecting portion and the connecting portion, wherein the relative electrode includes a conducting wire layer, a carbon electrode layer formed on the conducting wire layer, and an enzyme reaction supplement material layer formed on the carbon electrode layer, and the working electrode includes a conducting wire layer, a carbon electrode layer formed on the conducting wire layer, an enzyme reaction material layer formed on the carbon electrode layer and including a carbon nano-tube, and an enzyme reaction supplement material layer formed on the enzyme reaction material layer. A method for preparing the bio-sensor comprises the steps of: (a) after patterning a pair of conducting wire layers on a substrate, applying carbon ink on both ends of the conducting wire layers and drying it; (b) partially applying an insulating ink on the conducting wire layers and the ink coated layer and drying it to form a pair of connecting portions and a pair of carbon ink coated portions; (c) coating an enzyme reaction material including a carbon nano-tube on one of the carbon ink coated portions and drying it; and (d) applying an enzymatic reaction supplement solution including an enzyme reaction supplement material to the carbon ink coated portion and then drying it to form a relative electrode and a working electrode, respectively.
Abstract translation: 提供生物传感器，以便即使通过使用丝网印刷方法制备并且使氧化待检测材料的酶的活性最大化，工作电极对待检测材料的敏感性也显着提高。 电化学生物传感器包括基底（100）; 包括其中发生酶反应的工作电极（111）和用于检测工作电极和相对电极之间的电输出差异的相对电极（112）的检测部分（110） 从所述检测部发送电信号的连接部（120） 以及绝缘部（130），其将所述检测部和所述连接部电绝缘，其中所述相对电极包括导线层，形成在所述导线层上的碳电极层和形成在所述碳上的酶反应补充材料层 电极层，工作电极包括导线层，形成在导线层上的碳电极层，形成在碳电极层上并包含碳纳米管的酶反应材料层和酶反应补充材料层 形成在酶反应材料层上。 一种制备生物传感器的方法包括以下步骤：（a）在基板上构图一对导线层之后，在导线层的两端涂上碳墨并将其干燥; （b）在导线层和油墨涂覆层上部分地施加绝缘油墨并干燥以形成一对连接部分和一对碳墨涂覆部分; （c）将碳纳米管的酶反应材料涂布在碳墨涂覆部分之一上并干燥; 和（d）将包含酶反应补充材料的酶促反应补充溶液施加到碳墨涂覆部分上，然后分别干燥以形成相对电极和工作电极。
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公开(公告)号：KR101442426B1
公开(公告)日：2014-11-03
申请号：KR1020130116442
申请日：2013-09-30
Applicant: 고려대학교 산학협력단
Abstract: 스트레인 게이지는 패드 영역 및 적어도 두개의 게이지 영역들로 구획된 기판, 상기 패드 영역에 해당하는 상기 기판 상에 형성되며, 패드 패턴부를 구비하는 패드 구조물, 상기 게이지 영역에 해당하는 상기 기판 상에 배치되며, 상기 패드 구조물과 전기적으로 연결되어 스트레인 값에 따라 저항을 측정하고, 상호 이격되며 전기적으로 연결된 게이지 패턴부들을 구비하는 게이지 구조물 및 상호 인접하는 상기 게이지 패턴부들 사이에 상기 기판을 관통하는 제1 관통홀이 형성되고, 상기 제1 관통홀에는 상기 게이지 패턴부들을 상호 연결하는 제1 브릿지를 구비하는 브릿지 구조물을 포함한다.
Abstract translation: 应变计包括被分隔成垫区域和两个或更多表面区域的基底; 衬垫结构，其形成在与所述焊盘区域相对应的所述衬底上，并且设置有焊盘图案部分; 布置在对应于仪表面积的基板上的量规结构电连接到焊盘结构，根据应变值测量电阻，并且设置有彼此分离并电连接的量具图形部分; 以及桥接结构，其中通过所述基板的第一通孔形成在所述相邻的规格图案部分之间，将所述规格图案部分彼此连接的第一桥梁设置在所述第一通孔中。
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公开(公告)号：KR1020100059558A
公开(公告)日：2010-06-04
申请号：KR1020080118371
申请日：2008-11-26
Applicant: 고려대학교 산학협력단
Abstract: PURPOSE: A thermopile sensor package and a manufacturing method thereof are provided to reduce the volume and price of a thermopile sensor package by not using a can package. CONSTITUTION: A thermopile sensor package(100) comprises a first substrate(110), a thermopile sensor(120), a second substrate(135), a lens(137), and an optical filter(140). The first substrate has a membrane or a bridge(111') formed in a front groove. The thermopile sensor is loaded on the membrane or the bridge above the groove. The second substrate is etched at the rear portion corresponding to the thermopile sensor to form a window(133) defining a cavity, and the front surface of the first substrate is attached to the rear surface of the second substrate. The lens is formed on the front side of the second substrate. The optical filter is formed on the lens.
Abstract translation: 目的：提供一种热电堆传感器封装及其制造方法，以通过不使用罐封装来减少热电堆传感器封装的体积和价格。 构造：热电堆传感器封装（100）包括第一基板（110），热电堆传感器（120），第二基板（135），透镜（137）和滤光器（140）。 第一基板具有形成在前槽中的膜或桥（111'）。 热电堆传感器装载在膜上或槽上方的桥上。 在对应于热电堆传感器的后部蚀刻第二衬底以形成限定空腔的窗口（133），并且第一衬底的前表面附接到第二衬底的后表面。 透镜形成在第二基板的前侧。 滤光器形成在透镜上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100894500B1
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：KR1020050039545
申请日：2005-05-12
Applicant: 고려대학교 산학협력단
Abstract: 써모파일 센서 및 그 제조방법이 제공된다.
본 발명에 따른 써모파일 센서는 기판(1); 상기 기판위에 형성되어 있는 단일층의 다이아프레임 막(10); 상기 다이아프레임 막(10) 상의 소정영역에 형성되어 온도를 감지하며, 하부에는 등방성 동공(13)이 형성되어 마이크로 브릿지 구조를 가지는 복수의 열전쌍(4); 상기 열전쌍(4) 상부에 형성되어 있는 절연막(5); 및 흑체(6)로 구성되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 써모파일 센서는 제조공정효율이 높고, 소자의 크기를 대폭 감소시킬 수 있으며, 감도 및 출력이 우수하다는 장점이 있고, 본 발명에 따른 써모파일 센서의 제조방법은 공정수가 대폭 감소되기 때문에 제조공정효율이 우수하고 제조단가를 절감시킬 수 있다.
써모파일 센서-
公开(公告)号：KR101094342B1
公开(公告)日：2011-12-19
申请号：KR1020090041964
申请日：2009-05-14
Applicant: 고려대학교 산학협력단
Abstract: 본 발명은 습도센서에 관한 것으로서, 서로 이격되어 기판 상부에 형성된 하부전극 및 본딩패드; 상기 하부전극의 일측으로부터 상기 기판 상에서 연장된 하부전극단자; 상기 하부전극 상에 형성되어 상기 본딩패드와 접촉하도록 연장된 감습막; 및 상기 감습막 및 상기 본딩패드 상면에 형성된 상부전극;을 포함하고, 상기 본딩패드와 접촉하는 상기 감습막의 일단은 요철부로 이루어진 것을 특징으로 하며, 두꺼운 감습막에 의한 단차로 인해 발생될 수 있는 상부전극의 부분적인 개방 및 접촉불량을 방지하여 상부전극의 전극저항을 감소시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020060116930A
公开(公告)日：2006-11-16
申请号：KR1020050039545
申请日：2005-05-12
Applicant: 고려대학교 산학협력단
CPC classification number: G01K7/02 , H01L21/02532 , H01L21/0254 , H01L31/09
Abstract: A thermopile sensor and a method for using the same are provided to drastically reduce the size of an element and improve the efficiency of manufacturing processes. A thermopile sensor includes a substrate, a diaphragm film, a plurality of thermocouples(4), and a black body. The diaphragm film of a single layer is formed on the substrate. A plurality of thermocouples is formed at a predetermined region of the diaphragm film to detect a temperature, and has a micro-bridge structure with an isotropic cavity(13) at the lower part. And, an insulation film is formed at the upper part of the thermocouples.
Abstract translation: 提供了一种热电堆传感器及其使用方法，以大大减小元件的尺寸并提高制造工艺的效率。 热电堆传感器包括基板，隔膜膜，多个热电偶（4）和黑体。 在基板上形成单层膜片。 多个热电偶形成在膜片的预定区域以检测温度，并且在下部具有具有各向同性腔（13）的微桥结构。 并且，在热电偶的上部形成绝缘膜。
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公开(公告)号：KR1020140003085A
公开(公告)日：2014-01-09
申请号：KR1020120070643
申请日：2012-06-29
Applicant: 고려대학교 산학협력단
IPC: G01N27/22
Abstract: The capacitive humidity sensor of the present invention comprises an insulation substrate, a lower electrode positioned on the insulation substrate and having electric conductivity, a humidity sensitive membrane pattern positioned on the lower electrode and enabling outer moisture to permeate, and an upper electrode positioned on the humidity sensitive membrane pattern and made of a porous carbon nanotube.
Abstract translation: 本发明的电容式湿度传感器包括绝缘基板，位于绝缘基板上并具有导电性的下电极，位于下电极上的湿敏膜图案，能够使外部水分渗透，上电极位于 湿度敏感膜图案，由多孔碳纳米管制成。
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公开(公告)号：KR1020130084832A
公开(公告)日：2013-07-26
申请号：KR1020120005719
申请日：2012-01-18
Applicant: 고려대학교 산학협력단
IPC: G01B7/16
Abstract: PURPOSE: A strain gauge and a manufacturing method thereof are provided to equip a resistor which is comprised of the network of the randomly aligned carbon nanotube, thereby improving the gauge factor of the strain gauge. CONSTITUTION: A strain gauge (100) includes an insulating substrate (110), a first and a second electrode pads (131,133) and a resistor (150). The first and the second electrode pads are formed separately on the insulating substrate. The resistor comprises a first end unit and a second end unit. The first end unit is electrically connected with the first electrode pad. The second end unit is electrically connected with the second electrode pad. The resistor has a plurality of bent unit. The resistor is comprised of the network of the randomly aligned carbon nanotube.
Abstract translation: 目的：提供一种应变片及其制造方法，以配备由随机排列的碳纳米管的网络构成的电阻器，从而提高应变计的规格系数。 构成：应变计（100）包括绝缘基板（110），第一和第二电极焊盘（131,133）和电阻器（150）。 第一和第二电极焊盘分别形成在绝缘基板上。 电阻器包括第一端单元和第二端单元。 第一端部单元与第一电极焊盘电连接。 第二端单元与第二电极焊盘电连接。 电阻器具有多个弯曲单元。 该电阻由随机排列的碳纳米管的网络组成。
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