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公开(公告)号：KR100864536B1
公开(公告)日：2008-10-21
申请号：KR1020070016663
申请日：2007-02-16
Applicant: 고려대학교 산학협력단
IPC: A61B5/04
Abstract: 폴리디메틸실록산을 이용한 미세전극 형성 방법 및 이에 의해 형성된 미세전극이 개시된다.
본 발명에 따른 폴리디메틸실록산을 이용한 미세전극 형성 방법은, 폴리디메틸실록산의 프리폴리머와 경화제를 20:1 내지 5:1의 질량비로 혼합한 블렌드를 실리콘 웨이퍼 상에 스핀코팅하여 폴리디메틸실록산 기판을 형성하는 단계, 상기 폴리디메틸실록산 기판을 표면 전처리하는 단계, 상기 표면 전처리된 폴리디메폴틸실록산 기판의 상부에 티타늄 층 및 금 층을 순차적으로 증착한 후 미세전극을 패터닝하는 단계, 상기 패터닝 된 미세전극의 상부에 포토레지스트를 형성하고, 상기 포토레지스트가 형성되지 않은 폴리디메틸실록산 기판의 상부에 폴리디메틸실록산을 스핀코팅하는 단계, 및 상기 패터닝 된 미세전극의 상부에 형성된 포토레지스트를 제거한 후, 상기 패터닝된 금 층의 상부에 금 전기도금을 수행하여 미세전극을 패키징하는 단계를 포함한다.
본 발명에 의하면, 포토리소그라피 공정 및 전극 부분의 도금을 통한 폴리디메틸실록산 미세전극의 패키징 방법을 제공함으로써 간단한 공정으로 인하여 비용을 절감시키고, 실패율을 감소시키며, 폴리디메틸실록산 기판의 전처리 및 증착 조건을 최적화시킴으로써 금속 미세패턴의 부착력을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1020080012120A
公开(公告)日：2008-02-11
申请号：KR1020070016663
申请日：2007-02-16
Applicant: 고려대학교 산학협력단
IPC: A61B5/04
Abstract: A method for forming a fine electrode using polydimethylsiloxane and the fine electrode formed by the same are provided to improve the adhesive force of the metal fine electrode by optimizing pre-treatment and deposition conditions of a polydimethylsiloxane substrate. A method for forming a fine electrode using polydimethylsiloxane includes the steps of: forming a polydimethylsiloxane substrate by spin-coating a blend on a silicon wafer, wherein the blend is a mixture of a polydimethylsiloxane prepolymer and a hardener in a predetermined mass ratio(110); pre-treating the polydimethylsiloxane substrate(120); patterning the fine electrode after sequentially depositing a titanium layer and a gold layer on the pre-treated polydimethylsiloxane substrate(130,140); forming a photoresist on the patterned fine electrode and spin-coating polydimethylsiloxane on the polydimethylsiloxane substrate without the photoresist(150,160); and packaging the fine electrode by performing gold electroplating on the patterned gold layer after removing the photoresist from the patterned fine electrode(170,180).
Abstract translation: 提供使用聚二甲基硅氧烷形成微细电极的方法和由其制成的微细电极，通过优化聚二甲基硅氧烷基板的预处理和沉积条件来改善金属细电极的粘合力。 使用聚二甲基硅氧烷形成微细电极的方法包括以下步骤：通过在硅晶片上旋涂共混物形成聚二甲基硅氧烷基材，其中所述共混物是预定质量比（110）的聚二甲基硅氧烷预聚物和固化剂的混合物， ; 预处理聚二甲基硅氧烷基材（120）; 在预处理的聚二甲基硅氧烷衬底（130,140）上依次沉积钛层和金层之后，图案化细电极; 在所述图案化的细电极上形成光致抗蚀剂，并在所述聚二甲基硅氧烷基材上旋转涂覆聚二甲基硅氧烷，而不用所述光致抗蚀剂（150,160）; 并且在从图案化的细电极（170,180）中除去光致抗蚀剂之后，通过在图案化的金层上进行金电镀来封装细电极。
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公开(公告)号：KR100889294B1
公开(公告)日：2009-03-17
申请号：KR1020070061453
申请日：2007-06-22
Applicant: 고려대학교 산학협력단
Abstract: 본 발명은 마이크로 로봇 및 그 제조방법에 관한 것으로, 특히 전기자극형 폴리머 (Electroactive Polymer: EAP)를 마이크로 유체소자 (Microfluidic chip)와 In-situ 광중합(Photopolymerization)을 이용하여 극소형 액튜에이터, 기타 몸체 및 감각기 등을 제작하기 위한 마이크로 로봇 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 매우 작게 할 수 있으면서도 외부에서 동력원의 공급이 가능하여 작동 유지 시간을 충분히 확보할 수 있으며, 액튜에이터에 의하여 이동 가능한 두부에 형광물질이나 효소 등의 다양한 반응 물질을 형성하여 줌으로써, 마이크로 로봇의 궤적 모니터링이나 주변 물질에 의한 반응 등 다양한 용도로 활용할 수 있도록 한 것이다.
본 발명은 하이드로겔에 acrylic acid를 첨가하여 제작된 물질을 In-situ 광중합을 통하여 액튜에이터 모양으로 제작하고, 다른 부분, 예를 들면 몸체는 하이드로겔만으로 된 물질로 제작하고, 효소나 형광물질을 몸체 부분에 부착 (immobilize) 하여 센서나 악물 전달용 담체(carrier)의 기능을 하도록 한 것이다.
이에 따라 본 발명은 전기장의 제어에 의하여 액튜에이터로 기능 가능함과 아울러, 두부에 형성된 반응 물질에 의하여 추적, 반응 등 다양한 효용을 제공하는 마이크로 로봇을 제조할 수 있게 되는 것이다.-
公开(公告)号：KR1020080112706A
公开(公告)日：2008-12-26
申请号：KR1020070061453
申请日：2007-06-22
Applicant: 고려대학교 산학협력단
Abstract: A micro robot including ultra small actuator and manufacturing method thereof are provided to be used for diagnosis or treatment by performing functions of sample picking and carrying while moving to a target by an electric field supplied at outside. A recess part is formed on a top of PDMS(Polydimethylsioxane), and is filled with a hydro gel. An enzyme or a fluorescent material is attached in a propriety place of a glass plate, and is covered on the recess part of the PDMS. A mask is covered on a part corresponding to a head. The enzyme or the fluorescent material is located inside the head. The part corresponding to the head is hardened by irradiating an ultra violet ray. A part which is not hardened is removed by PBS(Buffer Solution). The recess part of the PDMS is filled with liquor adding an acrylic acid to the hydro gel. A mask is covered on a part corresponding to a leg. The part corresponding to the leg is hardened by irradiating an ultra violet ray. A part which is not hardened is removed by PBS. A micro robot attaching to the glass plate is taken away.
Abstract translation: 提供了一种包括超小型致动器及其制造方法的微型机器人，用于通过在外部提供的电场移动到目标的同时执行采样和携带的功能来进行诊断或处理。 在PDMS（聚二甲基硅烷）的顶部形成凹部，并且填充有水凝胶。 酶或荧光物质附着在玻璃板的适当位置，并被覆盖在PDMS的凹部上。 在与头部对应的部分上覆盖掩模。 酶或荧光材料位于头部内。 通过照射紫外线使对应于头部的部分硬化。 通过PBS（缓冲溶液）除去未硬化的部分。 PDMS的凹部填充有向丙烯酸加入水凝胶的液体。 在对应于腿部的部分上覆盖面罩。 通过照射紫外线使对应于腿的部分硬化。 未硬化的部分被PBS除去。 附着在玻璃板上的微型机械手被带走。
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