公开(公告)号：KR102227003B1

公开(公告)日：2021-03-11

申请号：KR1020170054192A

申请日：2017-04-27

Applicant: 고려대학교 산학협력단

Inventor： 김지현 ,  오수연 ,  권용범

IPC: H01L21/306 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/30604 ,  H01L21/02041 ,  H01L21/02172 ,  H01L21/0231

Abstract: 본 발명은 산화갈륨의 식각방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 산화갈륨 식각방법은 (a) 식각액(20)이 채워진 반응기(10)를 준비하는 단계(S100), (b) 식각액(20) 내에 산화갈륨(1)을 담지하는 단계(S200), (c) 산화갈륨(1)에 자외선을 조사하여 산화갈륨(1)의 표면을 식각하는 단계(S300)를 포함한다.

公开(公告)号：KR102009579B1

公开(公告)日：2019-08-09

申请号：KR1020170183100

申请日：2017-12-28

Applicant: 고려대학교 산학협력단

Inventor： 김지현 ,  변은교 ,  권용범

IPC: H01L31/0392 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/18

公开(公告)号：KR102227003B1

公开(公告)日：2021-03-11

申请号：KR1020170054192

申请日：2017-04-27

Applicant: 고려대학교 산학협력단

Inventor： 김지현 ,  오수연 ,  권용범

IPC: H01L21/306 ,  H01L21/02

Abstract: 본발명은산화갈륨의식각방법에관한것으로, 본발명에따른산화갈륨식각방법은 (a) 식각액(20)이채워진반응기(10)를준비하는단계(S100), (b) 식각액(20) 내에산화갈륨(1)을담지하는단계(S200), (c) 산화갈륨(1)에자외선을조사하여산화갈륨(1)의표면을식각하는단계(S300)를포함한다.

公开(公告)号：KR101971398B1

公开(公告)日：2019-04-22

申请号：KR1020180055762

申请日：2018-05-16

Applicant: 고려대학교 산학협력단

Inventor： 김지현 ,  권용범 ,  변은교

IPC: H01L31/0392 ,  H01L31/0445 ,  H01L31/068 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/0352 ,  H01L31/18