公开(公告)号：KR100839222B1

公开(公告)日：2008-06-19

申请号：KR1020060130473

申请日：2006-12-19

Applicant: 고려대학교 산학협력단

Inventor： 박성찬 ,  하정숙 ,  박승민

IPC: H01L21/203

CPC classification number: C23C14/24 ,  C23C14/14

Abstract: A pulsed laser deposition apparatus and a method for forming magnetic nano dot arrays using the same are provided to freely change a magnetic property of a composite metal nano dot array by using a single target. A pulsed laser deposition apparatus includes a substrate(190), a target(180), a target holder(160), a vacuum chamber(150), and an optical source(110). The substrate is a block copolymer template, on which a nano dot array pattern is formed. The target contains a material for a film to be formed on the substrate. The target holder mounts the target. The vacuum chamber receives the substrate, the target, and the target holder therein. The optical source emits a laser beam for vaporizing the material of the target. Plural metal layers with different kinds are formed on the same surface of the target.

Abstract translation: 提供脉冲激光沉积装置和使用其形成磁性纳米点阵列的方法，以通过使用单个目标自由地改变复合金属纳米点阵列的磁性能。 脉冲激光沉积装置包括基板（190），靶（180），靶保持器（160），真空室（150）和光源（110）。 基材是嵌段共聚物模板，其上形成纳米点阵列图案。 靶包含用于在基板上形成的膜的材料。 目标持有人安装目标。 真空室在其中接收基板，目标和目标支架。 光源发射用于蒸发靶材料的激光束。 在目标的相同表面上形成具有不同种类的多个金属层。