-
公开(公告)号：KR101408116B1
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：KR1020080039469
申请日：2008-04-28
Applicant: 삼성전자주식회사 , 고려대학교 산학협력단
CPC classification number: H03H9/462 , B81B2201/0271 , B81C1/00142 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , H03H3/0072 , H03H9/2463
Abstract: 공진기 제조 방법이 개시된다. 본 방법에 따르면, 나노 임프린트 기술을 이용하여, 기판 상에서 서로 이격된 복수 개의 전극 패턴을 마련하는 단계 및 복수 개의 전극 패턴들에 연결된 연장 전극 패턴을 형성하고, 연장 전극 패턴들 사이에 걸쳐지는 나노 구조물을 형성하는 단계를 포함한다. 이에 따라, 나노 레벨의 공진 구조물을 가지는 NEMS 공진기를 용이하게 제조할 수 있다.
나노 임프린트, 나노 구조물, 공진기-
公开(公告)号：KR1020090113643A
公开(公告)日：2009-11-02
申请号：KR1020080039469
申请日：2008-04-28
Applicant: 삼성전자주식회사 , 고려대학교 산학협력단
CPC classification number: H03H9/462 , B81B2201/0271 , B81C1/00142 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , H03H3/0072 , H03H9/2463
Abstract: PURPOSE: A resonator and a manufacturing method thereof are provided to implement a resonant area of a nanometer level and an electrode area of a micrometer level using a micro process and a nano process together. CONSTITUTION: A resonator includes a plurality of electrode patterns(150), a plurality of extension electrode pattern(170), a nano structure(190), and a fixing electrode. The electrode patterns have a size of a micrometer level and are separately arranged on the substrate. The extension electrode pattern has the size of the nanometer level and is connected to the electrode patterns. The nano structure is extended between extension electrode patterns and is one of carbon nano tube, an oxide nano wire, and a polymer nano fiber. The fixing electrode is fixed on the extension electrode pattern.
Abstract translation: 目的：提供一种谐振器及其制造方法，以使用微处理和纳米工艺一起实现纳米级的谐振区域和微米级的电极面积。 构成：谐振器包括多个电极图案（150），多个延伸电极图案（170），纳米结构（190）和固定电极。 电极图案具有微米级别的尺寸并且分开布置在基底上。 延伸电极图案具有纳米级的尺寸并连接到电极图案。 纳米结构在延伸电极图案之间延伸，是碳纳米管，氧化物纳米线和聚合物纳米纤维之一。 固定电极固定在延伸电极图案上。
-
公开(公告)号：KR100963204B1
公开(公告)日：2010-06-10
申请号：KR1020070103757
申请日：2007-10-15
Applicant: 고려대학교 산학협력단
Abstract: 본 발명은 탄소나노튜브(Cabon Nano Tube, CNT)/전도성 고분자 박막의 이형 패턴을 가지는 플렉시블 투명전극 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기존의 포토리소그라피 공정을 사용하지 않고, 소프트 리소그라피 공정을 사용하여 전도성 고분자 박막 패턴을 형성한 뒤 자기 조립층(Self Assembled Monolayer, SAM) 처리를 실시하여 별도로 정렬할 필요없이 상부에 탄소나노튜브(CNT)를 형성시켜 이형의 패턴을 가지는 플렉시블 투명전극 제조 방법에 관한 것이다.
CNT, 전도성 고분자, 이형 패턴, SAM-
公开(公告)号：KR1020090038326A
公开(公告)日：2009-04-20
申请号：KR1020070103757
申请日：2007-10-15
Applicant: 고려대학교 산학협력단
CPC classification number: H01L29/413 , C01B32/158 , H01B13/0026 , H01L21/02601 , H01L21/0274
Abstract: A method for producing a flexible transparent electrode is provided to maximize dispersibility with a small amount of carbon nanotube and pattern a polymer thin film without any damages by forming carbon nanotube within a carbon nanotube thin film. A method for producing a flexible transparent electrode comprises the following steps of: patterning a self-assemblage layer(21) on a substrate(11) through a soft lithography process; coating the substrate with a conductive polymer solution in order to form a conductive polymer layer(31) even on additional areas except of the self-assemblage layer; and forming a carbon nanotube layer(41) on the conductive polymer layer using a carbon nanotube solution.
Abstract translation: 提供柔性透明电极的制造方法，通过少量的碳纳米管使分散性最大化，并且通过在碳纳米管薄膜内形成碳纳米管而不会损坏聚合物薄膜。 制造柔性透明电极的方法包括以下步骤：通过软光刻工艺在衬底（11）上构图自组装层（21）; 用导电聚合物溶液涂覆基材以便即使在除了自组装层之外的其它区域上形成导电聚合物层（31）; 以及使用碳纳米管溶液在所述导电聚合物层上形成碳纳米管层（41）。
-
-
-
Search Results
4
records
(took 0.017 seconds)
