公开(公告)号：KR101816450B1

公开(公告)日：2018-01-11

申请号：KR1020160138174

申请日：2016-10-24

Applicant: 고려대학교 산학협력단

Inventor： 심준형 ,  장동영

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/455 ,  C23C16/52 ,  C23C16/44

CPC classification number: C23C16/4486 ,  C23C16/4412 ,  C23C16/4481 ,  C23C16/45502 ,  C23C16/52

Abstract: 에어로졸화학기상증착방법에따르면, 증착챔버내에에어로졸상태의전구체및 캐리어가스를포함하는소스가스를공급한다. 상기소스가스에대하여열기체를이용하여사이클론기류를형성하여상기증착챔버내의분말들을분산시킨다. 이후, 상기분말및 상기전구체를상호화학결합시켜, 기재의표면상에코어셀분말을형성한다.